99% 氧化鋁陶瓷氣體分配座是一種高性能精密陶瓷元件，專為先進工業系統中的超穩定氣體流量控制而設計。它由高純度的 99% 氧化鋁 (Al₂O₃) 製成，具有出色的機械強度、化學穩定性和電絕緣性能。.
此元件廣泛應用於半導體製造設備、真空鍍膜系統、電漿蝕刻室、CVD 和 PECVD 系統，以及高純度氣體分配模組。.
其核心功能是確保整個製程腔體中的氣體擴散均勻且穩定，從而減少製程變化、提高產量一致性，並將污染風險降至最低。與金屬、石英或較低等級的陶瓷相比，99% 氧化鋁的耐磨性、尺寸穩定性和長期可靠性都有顯著的優勢。.
材料焦點：99% 高純度氧化鋁 (Al₂O₃ ≥ 99%)
本產品採用高密度 99% 氧化鋁陶瓷製成，被認為是精密工業環境中最穩定、應用最廣泛的先進工程陶瓷之一。.
主要材料特性：
- 極高的硬度可提供長時間的耐磨性
- 優異的耐電漿、酸和鹼性環境能力
- 高電壓和電漿系統的高電氣絕緣性
- 在熱循環下具有優異的尺寸穩定性
- 適用於無塵室應用的極低微粒產生量
- 在連續工業運轉中使用壽命長
與 95% 氧化鋁相比，99% 氧化鋁具有更高的硬度、更好的耐磨性以及更佳的結構穩定性，因此更適合高階半導體與精密鍍膜系統。.
功能設計原則
陶瓷配氣座採用精確控制的多孔結構或微通道系統。此結構可控制製程氣體在真空室或反應室內的擴散。.
核心功能包括
- 整個製程表面均勻的氣體分布
- 穩定的壓力平衡，提供一致的製程條件
- 減少湍流和局部流量集中
- 改善薄膜沉積與蝕刻均勻性
- 將微粒污染和製程缺陷降至最低
孔隙結構可根據特定流速、氣體類型和腔體配置進行設計。.
99% 氧化鋁的主要性能優勢
- 與 95% 氧化鋁和石英相比，具有更高的耐磨性
- 在電漿和活性氣體環境中具有優異的耐腐蝕性
- 優異的電氣絕緣，可防止電流洩漏
- 在壓力和震動下有很強的機械穩定性
- 優異的熱穩定性，適用於高溫加工系統
- 適合半導體無塵室使用的超低污染風險
- 運行壽命長，維護頻率減少
材料性能比較
| 財產 | 99% 氧化鋁 (Al₂O₃ ≥ 99%) | 95% 氧化鋁 | 氧化鋯 | 鋼鐵 |
|---|---|---|---|---|
| 密度 (g/cm³) | 3.85 | 3.65 | 5.9 | 2.8 |
| 吸水率 (%) | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 燒結溫度 (℃) | 1690 | 1670 | 1650 | 1350 |
| 硬度 (HV) | 1700 | 1600 | 1400 | 800 |
| 抗彎強度 (MPa) | >350 | >290 | >1100 | 90 |
| 抗壓強度 (Kgf/cm²) | 30000 | 25000 | 25000 | 4000 |
| 最高操作溫度 (℃) | 1500 | 1400 | 1600 | 1100 |
| 熱膨脹 (×10-⁶/℃) | 8 | 7.8 | 10 | 6 |
| 耐熱衝擊性 (ΔT ℃) | 200 | 220 | 350 | 200 |
| 熱傳導率 (W/m-K) | 3 | 2 | 3 | 2.5 |
| 體積電阻率 (Ω-cm) | >10¹² | >10¹² | >10¹² | 10¹² |
| 介電強度 (KV/mm) | 18 | 16 | 15 | 10 |
| 介電常數 (1MHz) | 9.2-10.5 | 9.0-10 | 12 | 5.8 |
技術參數
| 參數 | 規格 |
|---|---|
| 材質 | 99% 高純度氧化鋁 (Al₂O₃ ≥ 99%) |
| 結構類型 | 多孔圓盤/淋浴板/環 |
| 形狀 | 圓形 / 客製化幾何形狀 |
| 密度 | 3.85 g/cm³ |
| 硬度 | ~1700 HV |
| 彎曲強度 | >350 MPa |
| 抗壓強度 | ≥30000 Kgf/cm² |
| 最高操作溫度 | 高達 1500°C（視環境而定） |
| 電阻率 | >10¹² Ω-cm |
| 介電強度 | ~18 KV/mm |
| 表面粗糙度 | Ra ≤ 0.2 μm（精密區域） |
| 平面度公差 | ±5-10 μm |
| 加工公差 | ±0.01 mm |
| 多孔性設計 | 完全客製化的微多孔結構 |
應用領域
- 半導體晶圓處理系統
- 等離子蝕刻與清洗設備
- PECVD / CVD / PVD 薄膜沉積系統
- 真空配氣室
- 高純度化學反應系統
- 精密工業爐氣體控制系統
- 實驗室高精度氣體擴散設備
客製化工程選項
此 99% 氧化鋁陶瓷配氣座可完全客製化：
- 外徑和厚度
- 孔隙率密度與流量分佈設計
- 微孔或通道結構最佳化
- 表面拋光與精加工等級
- 平面度與密封介面精度
- 與金屬安裝或密封結構整合
- 特定應用的氣體流量校準
可提供系統匹配和效能最佳化的工程支援。.
製造過程
- 高純度 99% 氧化鋁粉製備
- 等靜壓或乾壓成型
- 在 ~1690°C 高溫燒結
- CNC 精密加工
- 雷射或微鑽孔處理多孔結構（如需要）
- 精密研磨和拋光
- 尺寸檢查和洩漏測試
- 最終品質驗證
嚴格的製程控制可確保高端應用的一致性、穩定性和長期可靠性。.
常見問題
Q1: 為何選擇 99% 氧化鋁而非 95% 氧化鋁？
99% 氧化鋁具有更高的硬度、更好的耐磨性以及更佳的化學穩定性。它更適用於半導體級和高精度氣體分配應用，在這些應用中，污染控制是非常重要的。.
Q2: 多孔結構可以根據我的設備來設計嗎？
是的，孔隙大小、密度和分佈可根據氣體類型、壓力和腔體設計完全定制，以達到最佳的流量均勻性。.
Q3: 99% 氧化鋁適用於電漿環境嗎？
是。99% 氧化鋁具有優異的耐電漿性，在長期暴露於活性氣體和高能電漿系統下仍能保持結構穩定。.
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