Vòng phân phối khí bằng gốm alumina 99% là một linh kiện gốm chính xác hiệu suất cao, được thiết kế để kiểm soát lưu lượng khí cực kỳ ổn định trong các hệ thống công nghiệp tiên tiến. Sản phẩm được chế tạo từ oxit nhôm (Al₂O₃) 99% có độ tinh khiết cao, mang lại độ bền cơ học vượt trội, tính ổn định hóa học và khả năng cách điện tuyệt vời.
Thành phần này được sử dụng rộng rãi trong các thiết bị sản xuất bán dẫn, hệ thống phủ chân không, buồng khắc plasma, hệ thống CVD và PECVD, cũng như các mô-đun phân phối khí có độ tinh khiết cao.
Chức năng chính của nó là đảm bảo sự khuếch tán khí đồng đều và ổn định trong các buồng xử lý, từ đó giảm thiểu sự biến động trong quá trình sản xuất, nâng cao tính ổn định của năng suất và giảm thiểu rủi ro ô nhiễm. So với kim loại, thạch anh hoặc gốm sứ cấp thấp hơn, nhôm oxit 99% mang lại khả năng chống mài mòn vượt trội, độ ổn định kích thước cao và độ tin cậy lâu dài.
Vật liệu trọng tâm: Nhôm oxit (Al₂O₃) có độ tinh khiết cao 99% (Al₂O₃ ≥ 99%)
Sản phẩm này được chế tạo từ gốm nhôm oxit 99% mật độ cao, được coi là một trong những loại gốm kỹ thuật tiên tiến ổn định nhất và được sử dụng rộng rãi nhất trong các môi trường công nghiệp đòi hỏi độ chính xác cao.
Các đặc tính chính của vật liệu:
- Độ cứng cực cao, đảm bảo khả năng chống mài mòn lâu dài
- Khả năng chống chịu tuyệt vời đối với môi trường plasma, axit và kiềm
- Độ cách điện cao cho các hệ thống cao áp và plasma
- Độ ổn định kích thước vượt trội trong điều kiện thay đổi nhiệt độ lặp đi lặp lại
- Sản sinh rất ít hạt bụi, phù hợp cho các ứng dụng trong phòng sạch
- Tuổi thọ cao trong điều kiện vận hành công nghiệp liên tục
So với nhôm oxit 95%, nhôm oxit 99% có độ cứng cao hơn, khả năng chống mài mòn tốt hơn và độ ổn định cấu trúc được cải thiện, nhờ đó phù hợp hơn cho các hệ thống bán dẫn cao cấp và hệ thống phủ chính xác.
Nguyên tắc thiết kế chức năng
Vòng đệm phân phối khí bằng gốm được thiết kế với cấu trúc xốp hoặc hệ thống vi kênh được kiểm soát chính xác. Cấu trúc này cho phép điều chỉnh quá trình khuếch tán của các loại khí công nghệ bên trong buồng chân không hoặc buồng phản ứng.
Các chức năng chính bao gồm:
- Phân phối khí đồng đều trên toàn bộ bề mặt quá trình
- Cân bằng áp suất ổn định để đảm bảo điều kiện quá trình luôn ổn định
- Giảm nhiễu loạn và hiện tượng tập trung dòng chảy cục bộ
- Cải thiện độ đồng đều trong quá trình lắng đọng và ăn mòn màng mỏng
- Giảm thiểu ô nhiễm hạt và các khuyết tật trong quy trình
Cấu trúc lỗ rỗng có thể được thiết kế để phù hợp với các lưu lượng, loại khí và cấu hình buồng cụ thể.
Những ưu điểm chính về hiệu suất của nhôm oxit 99%
- Khả năng chống mài mòn cao hơn so với nhôm oxit 95% và thạch anh
- Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời trong môi trường plasma và khí phản ứng
- Khả năng cách điện vượt trội, ngăn chặn hiện tượng rò rỉ dòng điện
- Độ ổn định cơ học cao khi chịu áp lực và rung động
- Độ ổn định nhiệt tuyệt vời cho các hệ thống xử lý nhiệt độ cao
- Nguy cơ ô nhiễm cực thấp, phù hợp để sử dụng trong phòng sạch sản xuất bán dẫn
- Tuổi thọ hoạt động dài với tần suất bảo trì thấp
So sánh hiệu suất vật liệu
| Tài sản | Alumina 99% (Al₂O₃ ≥ 99%) | 95% Nhôm oxit | Zirconia | Đá steatit |
|---|---|---|---|---|
| Mật độ (g/cm³) | 3.85 | 3.65 | 5.9 | 2.8 |
| Độ hút nước (%) | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Nhiệt độ nung kết (℃) | 1690 | 1670 | 1650 | 1350 |
| Độ cứng (HV) | 1700 | 1600 | 1400 | 800 |
| Độ bền uốn (MPa) | >350 | >290 | >1100 | 90 |
| Cường độ nén (kgf/cm²) | 30000 | 25000 | 25000 | 4000 |
| Nhiệt độ hoạt động tối đa (℃) | 1500 | 1400 | 1600 | 1100 |
| Hệ số giãn nở nhiệt (×10⁻⁶/℃) | 8 | 7.8 | 10 | 6 |
| Khả năng chịu sốc nhiệt (ΔT ℃) | 200 | 220 | 350 | 200 |
| Độ dẫn nhiệt (W/m·K) | 3 | 2 | 3 | 2.5 |
| Điện trở suất thể tích (Ω·cm) | >10¹² | >10¹² | >10¹² | 10¹² |
| Độ bền điện môi (kV/mm) | 18 | 16 | 15 | 10 |
| Hằng số điện môi (1 MHz) | 9,2–10,5 | 9,0–10 | 12 | 5.8 |
Thông số kỹ thuật
| Tham số | Thông số kỹ thuật |
|---|---|
| Chất liệu | Alumina tinh khiết cao 99% (Al₂O₃ ≥ 99%) |
| Loại kết cấu | Đĩa xốp / đĩa phun / vòng |
| Hình dạng | Hình tròn / hình dạng tùy chỉnh |
| Mật độ | 3,85 g/cm³ |
| Độ cứng | ~1.700 HV |
| Độ bền uốn | >350 MPa |
| Cường độ nén | ≥30.000 kgf/cm² |
| Nhiệt độ hoạt động tối đa | Lên đến 1.500°C (tùy thuộc vào điều kiện môi trường) |
| Điện trở suất | >10¹² Ω·cm |
| Độ bền điện môi | ~18 kV/mm |
| Độ nhám bề mặt | Ra ≤ 0,2 μm (các khu vực yêu cầu độ chính xác cao) |
| Dung sai độ phẳng | ±5–10 μm |
| Dung sai gia công | ±0,01 mm |
| Thiết kế độ xốp | Cấu trúc vi xốp có thể tùy chỉnh hoàn toàn |
Lĩnh vực ứng dụng
- Hệ thống xử lý tấm bán dẫn
- Thiết bị khắc và làm sạch bằng plasma
- Hệ thống lắng đọng màng mỏng PECVD / CVD / PVD
- Buồng phân phối khí chân không
- Hệ thống phản ứng hóa học có độ tinh khiết cao
- Hệ thống điều khiển khí cho lò công nghiệp chính xác
- Thiết bị khuếch tán khí có độ chính xác cao trong phòng thí nghiệm
Các tùy chọn kỹ thuật tùy chỉnh
Vòng đệm phân phối khí bằng gốm nhôm 99% này có thể được tùy chỉnh hoàn toàn:
- Đường kính ngoài và độ dày
- Thiết kế mật độ độ xốp và phân bố dòng chảy
- Tối ưu hóa cấu trúc lỗ siêu nhỏ hoặc kênh
- Đánh bóng bề mặt và cấp độ hoàn thiện
- Độ phẳng và độ chính xác của bề mặt tiếp xúc
- Tích hợp với các cấu trúc lắp đặt hoặc bịt kín bằng kim loại
- Hiệu chuẩn lưu lượng khí dành riêng cho ứng dụng
Chúng tôi cung cấp dịch vụ hỗ trợ kỹ thuật trong việc tối ưu hóa hiệu suất và đảm bảo tính tương thích của hệ thống.
Quy trình sản xuất
- Phương pháp chế tạo bột nhôm oxit 99% có độ tinh khiết cao
- Ép đẳng áp hoặc ép khô
- Nung kết ở nhiệt độ cao khoảng 1690°C
- Gia công chính xác CNC
- Khoan bằng laser hoặc khoan vi mô cho cấu trúc xốp (nếu cần thiết)
- Mài và đánh bóng chính xác
- Kiểm tra kích thước và kiểm tra rò rỉ
- Kiểm định chất lượng cuối cùng
Việc kiểm soát quy trình nghiêm ngặt đảm bảo tính nhất quán, ổn định và độ tin cậy lâu dài trong các ứng dụng cao cấp.
Câu hỏi thường gặp
Câu hỏi 1: Tại sao nên chọn nhôm oxit 99% thay vì nhôm oxit 95%?
Alumina 99% có độ cứng cao hơn, khả năng chống mài mòn tốt hơn và độ ổn định hóa học được cải thiện. Loại vật liệu này phù hợp hơn cho các ứng dụng phân phối khí cấp bán dẫn và đòi hỏi độ chính xác cao, nơi việc kiểm soát ô nhiễm là yếu tố then chốt.
Câu hỏi 2: Có thể thiết kế cấu trúc xốp phù hợp với thiết bị của tôi không?
Đúng vậy. Kích thước, mật độ và phân bố các lỗ rỗng có thể được tùy chỉnh hoàn toàn theo loại khí, áp suất và thiết kế buồng để đạt được độ đồng đều tối ưu của dòng chảy.
Câu hỏi 3: Alumina 99% có phù hợp với môi trường plasma không?
Đúng vậy. Alumina 99% có khả năng chống plasma tuyệt vời và duy trì được độ ổn định cấu trúc khi tiếp xúc lâu dài với các loại khí phản ứng và các hệ thống plasma năng lượng cao.
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.