ส่วนประกอบที่เข้ากันได้กับเครื่องดูดสูญญากาศ

หัวจับเซรามิก SiC สำหรับการจัดการเวเฟอร์อย่างแม่นยำในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์