ที่นั่งกระจายก๊าซเซรามิกอะลูมินา 99% เป็นชิ้นส่วนเซรามิกประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบอย่างแม่นยำสำหรับการควบคุมการไหลของก๊าซที่มีความเสถียรสูงในระบบอุตสาหกรรมขั้นสูง ผลิตจากอะลูมิเนียมออกไซด์ 99% (Al₂O₃) ความบริสุทธิ์สูง มอบความแข็งแรงทางกลที่ยอดเยี่ยม ความเสถียรทางเคมี และประสิทธิภาพการเป็นฉนวนไฟฟ้า.
ส่วนประกอบนี้ถูกใช้อย่างแพร่หลายในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ระบบเคลือบสุญญากาศ ห้องกัดเซาะด้วยพลาสมา ระบบ CVD และ PECVD รวมถึงโมดูลกระจายก๊าซบริสุทธิ์สูง.
หน้าที่หลักของมันคือการรับประกันการกระจายตัวของก๊าซอย่างสม่ำเสมอและเสถียรภาพทั่วทั้งห้องปฏิบัติการ ลดความแปรปรวนของกระบวนการ ปรับปรุงความสม่ำเสมอของผลผลิต และลดความเสี่ยงของการปนเปื้อน เมื่อเปรียบเทียบกับโลหะ ควอตซ์ หรือเซรามิกคุณภาพต่ำกว่า 99% อะลูมินา มีความต้านทานการสึกหรอ ความเสถียรของมิติ และความน่าเชื่อถือในระยะยาวที่ดีกว่าอย่างมาก.
วัสดุที่เน้น: 99% อะลูมินาความบริสุทธิ์สูง (Al₂O₃ ≥ 99%)
ผลิตภัณฑ์นี้ผลิตจากเซรามิกอะลูมินาความหนาแน่นสูง 99% ซึ่งถือเป็นหนึ่งในเซรามิกวิศวกรรมขั้นสูงที่มีความเสถียรและถูกใช้อย่างแพร่หลายที่สุดในสภาพแวดล้อมอุตสาหกรรมที่ต้องการความแม่นยำสูง.
ลักษณะสำคัญของวัสดุ:
- ความแข็งสูงมากเพื่อความทนทานต่อการสึกหรอในระยะยาว
- ทนต่อพลาสมา กรด และสภาพแวดล้อมที่เป็นด่างได้อย่างยอดเยี่ยม
- ฉนวนไฟฟ้าสูงสำหรับระบบแรงดันสูงและพลาสมา
- ความเสถียรทางมิติที่เหนือกว่าภายใต้การทดสอบความร้อน
- การสร้างอนุภาคต่ำมากสำหรับการใช้งานในห้องสะอาด
- อายุการใช้งานยาวนานในการทำงานอุตสาหกรรมต่อเนื่อง
เมื่อเปรียบเทียบกับอะลูมินา 95% อะลูมินา 99% ให้ความแข็งสูงกว่า ทนต่อการสึกหรอได้ดีกว่า และมีความเสถียรทางโครงสร้างที่ดีขึ้น ทำให้เหมาะสมยิ่งขึ้นสำหรับระบบเคลือบเซมิคอนดักเตอร์และระบบเคลือบความแม่นยำสูง.
หลักการออกแบบเชิงฟังก์ชัน
ที่นั่งกระจายแก๊สเซรามิกถูกออกแบบด้วยโครงสร้างพรุนหรือระบบช่องไมโครที่ควบคุมได้อย่างแม่นยำ โครงสร้างนี้ช่วยให้การแพร่กระจายของแก๊สในกระบวนการภายในห้องสุญญากาศหรือห้องปฏิกิริยาเป็นไปอย่างควบคุมได้.
ฟังก์ชันหลักประกอบด้วย:
- การกระจายก๊าซอย่างสม่ำเสมอทั่วพื้นผิวของกระบวนการทั้งหมด
- การปรับสมดุลแรงดันที่คงที่เพื่อสภาพกระบวนการที่สม่ำเสมอ
- การลดความปั่นป่วนและการรวมตัวของกระแสในบริเวณเฉพาะ
- การปรับปรุงการเคลือบฟิล์มบางและการกัดเซาะให้มีความสม่ำเสมอมากขึ้น
- การลดการปนเปื้อนของอนุภาคและข้อบกพร่องในกระบวนการ
โครงสร้างของรูพรุนสามารถถูกออกแบบให้ตรงกับอัตราการไหล, ประเภทของก๊าซ, และการจัดวางของห้องที่ต้องการได้.
ข้อได้เปรียบด้านประสิทธิภาพหลักของ 99% อะลูมินา
- มีความต้านทานการสึกหรอสูงกว่าเมื่อเทียบกับอะลูมินา 95% และควอตซ์
- ทนต่อการกัดกร่อนได้อย่างยอดเยี่ยมในสภาพแวดล้อมที่มีพลาสมาและก๊าซที่มีปฏิกิริยา
- ฉนวนไฟฟ้าคุณภาพสูงป้องกันการรั่วไหลของกระแสไฟฟ้า
- ความเสถียรทางกลที่แข็งแกร่งภายใต้แรงกดดันและการสั่นสะเทือน
- ความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยมสำหรับระบบประมวลผลอุณหภูมิสูง
- ความเสี่ยงการปนเปื้อนต่ำมากเหมาะสำหรับการใช้ในห้องสะอาดเซมิคอนดักเตอร์
- อายุการใช้งานยาวนานพร้อมความถี่ในการบำรุงรักษาที่ลดลง
การเปรียบเทียบประสิทธิภาพของวัสดุ
| ทรัพย์สิน | 99% อะลูมินา (Al₂O₃ ≥ 99%) | 95% อะลูมินา | เซอร์โคเนีย | สเตียไทต์ |
|---|---|---|---|---|
| ความหนาแน่น (กรัมต่อลูกบาศก์เซนติเมตร) | 3.85 | 3.65 | 5.9 | 2.8 |
| การดูดซึมน้ำ (%) | 0 | 0 | 0 | 0 |
| อุณหภูมิการเผาผนึก (℃) | 1690 | 1670 | 1650 | 1350 |
| ความแข็ง (HV) | 1700 | 1600 | 1400 | 800 |
| ความแข็งแรงดัด (MPa) | >350 | >290 | >1100 | 90 |
| ความแข็งแรงในการรับแรงอัด (กก./ตร.ซม.) | 30000 | 25000 | 25000 | 4000 |
| อุณหภูมิการทำงานสูงสุด (℃) | 1500 | 1400 | 1600 | 1100 |
| การขยายตัวทางความร้อน (×10⁻⁶/℃) | 8 | 7.8 | 10 | 6 |
| ความต้านทานต่อความช็อกทางความร้อน (ΔT ℃) | 200 | 220 | 350 | 200 |
| การนำความร้อน (วัตต์ต่อเมตรเคลวิน) | 3 | 2 | 3 | 2.5 |
| ความต้านทานต่อปริมาตร (โอห์มต่อลูกบาศก์เซนติเมตร) | >10¹² | >10¹² | >10¹² | 10 ยกกำลัง 12 |
| ค่าความแข็งแรงของไดอิเล็กทริก (KV/mm) | 18 | 16 | 15 | 10 |
| ค่าคงที่ไดอิเล็กทริก (1MHz) | 9.2–10.5 | 9.0–10 | 12 | 5.8 |
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
| พารามิเตอร์ | ข้อกำหนด |
|---|---|
| วัสดุ | 99% อะลูมินาความบริสุทธิ์สูง (Al₂O₃ ≥ 99%) |
| ประเภทโครงสร้าง | แผ่นดิสก์พรุน / แผ่นฝักบัว / แหวน |
| รูปร่าง | รูปทรงกลม / รูปทรงที่ปรับแต่งตามต้องการ |
| ความหนาแน่น | 3.85 กรัม/ลูกบาศก์เซนติเมตร |
| ความแข็ง | ประมาณ 1700 โวลต์ |
| ความแข็งแรงในการดัด | >350 เมกะปาสคาล |
| ความแข็งแรงในการรับแรงอัด | ≥30000 กิโลกรัมต่อตารางเซนติเมตร |
| อุณหภูมิการทำงานสูงสุด | สูงสุดถึง 1500°C (ขึ้นอยู่กับสภาพแวดล้อม) |
| ความต้านทานไฟฟ้า | >10¹² โอห์ม·เซนติเมตร |
| ความแข็งแรงไดอิเล็กทริก | ประมาณ 18 กิโลโวลต์ต่อเมตร |
| ความหยาบผิว | Ra ≤ 0.2 μm (พื้นที่ที่ต้องการความแม่นยำสูง) |
| ความเรียบ | ±5–10 ไมโครเมตร |
| ความคลาดเคลื่อนในการกลึง | ±0.01 มม. |
| การออกแบบความพรุน | โครงสร้างไมโครพอร์ที่สามารถปรับแต่งได้อย่างเต็มที่ |
พื้นที่การใช้งาน
- ระบบกระบวนการผลิตเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำ
- อุปกรณ์สำหรับการกัดและทำความสะอาดด้วยพลาสมา
- ระบบเคลือบฟิล์มบาง PECVD / CVD / PVD
- ห้องกระจายก๊าซแบบสุญญากาศ
- ระบบปฏิกิริยาเคมีที่มีความบริสุทธิ์สูง
- ระบบควบคุมแก๊สสำหรับเตาเผาอุตสาหกรรมความแม่นยำสูง
- อุปกรณ์การแพร่กระจายก๊าซความแม่นยำสูงในห้องปฏิบัติการ
ตัวเลือกวิศวกรรมตามความต้องการ
ที่นั่งกระจายแก๊สเซรามิกอะลูมินา 99% นี้สามารถปรับแต่งได้อย่างเต็มที่:
- เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอกและความหนา
- ความหนาแน่นของรูพรุนและการออกแบบการกระจายการไหล
- การเพิ่มประสิทธิภาพโครงสร้างรูขนาดเล็กหรือช่อง
- การขัดผิวและการตกแต่งขั้นสุดท้าย
- ความเรียบและความแม่นยำของรอยต่อซีล
- การผสานรวมกับโครงสร้างติดตั้งหรือโครงสร้างซีลโลหะ
- การสอบเทียบการไหลของก๊าซเฉพาะการใช้งาน
มีบริการสนับสนุนด้านวิศวกรรมสำหรับการจับคู่ระบบและการเพิ่มประสิทธิภาพการทำงาน.
กระบวนการผลิต
- การเตรียมผงอะลูมินา 99% ความบริสุทธิ์สูง
- การขึ้นรูปด้วยการอัดแบบไอโซสแตติกหรือการอัดแห้ง
- การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง ~1690°C
- การกลึงความแม่นยำสูงด้วยเครื่องจักร CNC
- การเจาะด้วยเลเซอร์หรือไมโครสำหรับการสร้างโครงสร้างพรุน (หากจำเป็น)
- การเจียรและการขัดเงาอย่างแม่นยำ
- การตรวจสอบมิติและการทดสอบการรั่วซึม
- การตรวจสอบคุณภาพขั้นสุดท้าย
การควบคุมกระบวนการอย่างเข้มงวดช่วยให้เกิดความสม่ำเสมอ ความเสถียร และความน่าเชื่อถือในระยะยาวสำหรับการใช้งานระดับสูง.
คำถามที่พบบ่อย
คำถามที่ 1: ทำไมถึงเลือกใช้อลูมินา 99% แทนที่จะใช้อลูมินา 95%?
99% อะลูมินามีความแข็งสูงกว่า ทนต่อการสึกหรอได้ดีกว่า และมีความเสถียรทางเคมีที่ดีขึ้น เหมาะสำหรับการใช้งานในด้านการกระจายก๊าซระดับเซมิคอนดักเตอร์และความแม่นยำสูง ซึ่งการควบคุมการปนเปื้อนเป็นสิ่งสำคัญ.
คำถามที่ 2: โครงสร้างที่มีรูพรุนสามารถออกแบบให้เหมาะสมกับอุปกรณ์ของฉันได้หรือไม่?
ใช่ ขนาดรูพรุน ความหนาแน่น และการกระจายตัวสามารถปรับแต่งได้อย่างสมบูรณ์ตามชนิดของก๊าซ ความดัน และการออกแบบห้อง เพื่อให้ได้ความสม่ำเสมอของการไหลที่เหมาะสมที่สุด.
คำถามที่ 3: อะลูมินา 99% เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมพลาสมาหรือไม่?
ใช่. 99% อะลูมินามีความต้านทานต่อพลาสมาที่ยอดเยี่ยมและรักษาเสถียรภาพโครงสร้างได้ภายใต้การสัมผัสกับก๊าซที่มีปฏิกิริยาและระบบพลาสมาพลังงานสูงเป็นเวลานาน.
รีวิว
ยังไม่มีบทวิจารณ์