Alumiinikeraaminen 99%-kaasunjakoistuin on erittäin suorituskykyinen tarkkuuskeraaminen komponentti, joka on suunniteltu erittäin vakaaseen kaasuvirran säätöön kehittyneissä teollisuusjärjestelmissä. Se on valmistettu erittäin puhtaasta 99%-alumiinioksidista (Al₂O₃), joka tarjoaa erinomaisen mekaanisen lujuuden, kemiallisen vakauden ja sähköisen eristyskyvyn.
Tätä komponenttia käytetään laajalti puolijohteiden valmistuslaitteissa, tyhjiöpinnoitusjärjestelmissä, plasmasyövytyskammioissa, CVD- ja PECVD-järjestelmissä sekä erittäin puhtaan kaasun jakelumoduuleissa.
Sen keskeisenä tehtävänä on varmistaa tasainen ja vakaa kaasudiffuusio prosessikammioissa, vähentää prosessin vaihtelua, parantaa saannon tasaisuutta ja minimoida kontaminaatioriskit. Verrattuna metalliin, kvartsiin tai alempiarvoisiin keraameihin 99%-alumiinioksidi tarjoaa huomattavasti paremman kulutuskestävyyden, mittojen vakauden ja pitkäaikaisen luotettavuuden.
Materiaalin painopiste: 99% High Purity Alumina (Al₂O₃ ≥ 99%)
Tämä tuote on valmistettu erittäin tiheästä 99%-alumiinikeramiikasta, jota pidetään yhtenä vakaimmista ja laajimmin käytetyistä kehittyneistä teknisistä keraamisista materiaaleista tarkkuusteollisuudessa.
Materiaalin tärkeimmät ominaisuudet:
- Erittäin suuri kovuus takaa pitkäaikaisen kulutuskestävyyden
- Kestää erinomaisesti plasmaa, happoja ja emäksisiä ympäristöjä.
- Korkea sähköinen eristys korkeajännite- ja plasmajärjestelmiä varten
- Erinomainen mittapysyvyys lämpösyklien aikana
- Erittäin vähäinen hiukkasten muodostuminen puhdastilojen sovelluksiin
- Pitkä käyttöikä jatkuvassa teollisuuskäytössä
Verrattuna 95%-alumiinaan 99%-alumiinioksidin kovuus on suurempi, kulutuskestävyys parempi ja rakenteellinen vakaus parempi, joten se soveltuu paremmin huippuluokan puolijohde- ja tarkkuuspinnoitusjärjestelmiin.
Toiminnallinen suunnitteluperiaate
Keraaminen kaasunjakeluistuin on suunniteltu tarkasti hallitulla huokoisella rakenteella tai mikrokanavajärjestelmällä. Tämä rakenne mahdollistaa prosessikaasujen hallitun diffuusion tyhjiö- tai reaktiokammioiden sisällä.
Keskeisiin tehtäviin kuuluvat:
- Kaasun tasainen jakautuminen koko prosessipinnalle
- Vakaa paineen tasapainotus tasaisia prosessiolosuhteita varten
- Turbulenssin ja paikallisen virtauskeskittymän vähentäminen
- Parannettu ohutkalvojen laskeutumisen ja syövytyksen tasaisuus
- Hiukkaskontaminaation ja prosessivirheiden minimointi
Huokosrakenne voidaan suunnitella vastaamaan tiettyjä virtausnopeuksia, kaasutyyppejä ja kammiokokoonpanoja.
99%-alumiinin tärkeimmät suorituskykyedut
- Korkeampi kulutuskestävyys verrattuna 95%-alumiinaan ja kvartsiin.
- Erinomainen korroosionkestävyys plasma- ja reaktiivisissa kaasuympäristöissä
- Erinomainen sähköeristys, joka estää virran vuotamisen
- Vahva mekaaninen vakaus paineen ja tärinän alaisena
- Erinomainen lämmönkestävyys korkean lämpötilan käsittelyjärjestelmissä
- Erittäin alhainen kontaminaatioriski soveltuu puolijohteiden puhdastilakäyttöön.
- Pitkä käyttöikä ja pienempi huoltotiheys
Materiaalin suorituskyvyn vertailu
| Kiinteistö | 99% Alumiinioksidi (Al₂O₃ ≥ 99%) | 95% Alumiinioksidi | Zirkonia | Steatiitti |
|---|---|---|---|---|
| Tiheys (g/cm³) | 3.85 | 3.65 | 5.9 | 2.8 |
| Veden imeytyminen (%) | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Sintrauslämpötila (℃) | 1690 | 1670 | 1650 | 1350 |
| Kovuus (HV) | 1700 | 1600 | 1400 | 800 |
| Taivutuslujuus (MPa) | >350 | >290 | >1100 | 90 |
| Puristuslujuus (Kgf/cm²) | 30000 | 25000 | 25000 | 4000 |
| Suurin käyttölämpötila (℃) | 1500 | 1400 | 1600 | 1100 |
| Lämpölaajeneminen (×10-⁶/℃) | 8 | 7.8 | 10 | 6 |
| Lämpöshokin kestävyys (ΔT ℃) | 200 | 220 | 350 | 200 |
| Lämmönjohtavuus (W/m-K) | 3 | 2 | 3 | 2.5 |
| Tilavuusresistanssi (Ω-cm) | >10¹² | >10¹² | >10¹² | 10¹² |
| Dielektrinen lujuus (KV/mm) | 18 | 16 | 15 | 10 |
| Dielektrinen vakio (1 MHz) | 9.2-10.5 | 9.0-10 | 12 | 5.8 |
Tekniset parametrit
| Parametri | Tekniset tiedot |
|---|---|
| Materiaali | 99% erittäin puhdas alumiinioksidi (Al₂O₃ ≥ 99%) |
| Rakennetyyppi | Huokoinen levy / suihkulevy / rengas |
| Muoto | Pyöreä / räätälöity geometria |
| Tiheys | 3,85 g/cm³ |
| Kovuus | ~1700 HV |
| Taivutuslujuus | >350 MPa |
| Puristuslujuus | ≥30000 Kgf/cm² |
| Maksimi käyttölämpötila | Jopa 1500 °C (ympäristöstä riippuen) |
| Sähköinen resistiivisyys | >10¹² Ω-cm |
| Dielektrinen lujuus | ~18 KV/mm |
| Pinnan karheus | Ra ≤ 0,2 μm (tarkkuusalueet) |
| Tasaisuuden toleranssi | ±5-10 μm |
| Työstön toleranssi | ±0,01 mm |
| Huokoisuus Suunnittelu | Täysin muokattavissa oleva mikrohuokoinen rakenne |
Sovellusalueet
- Puolijohdekiekkojen käsittelyjärjestelmät
- Plasmasyövytys- ja puhdistuslaitteet
- PECVD / CVD / PVD-ohutkalvopinnoitusjärjestelmät
- Tyhjiökaasun jakelukammiot
- Erittäin puhtaat kemialliset reaktiojärjestelmät
- Tarkkuus teollisuuden uunien kaasunvalvontajärjestelmät
- Laboratorion korkean tarkkuuden kaasudiffuusiolaitteet
Mukautetut suunnitteluvaihtoehdot
Tämä 99%-alumiinikeraaminen kaasunjakeluistuin voidaan täysin räätälöidä:
- Ulkohalkaisija ja paksuus
- Huokostiheyden ja virtauksen jakautumisen suunnittelu
- Mikroreikien tai kanavarakenteen optimointi
- Pinnan kiillotus ja viimeistely
- Tasaisuus ja tiivistysliitännän tarkkuus
- Integrointi metallisiin kiinnitys- tai tiivistysrakenteisiin
- Sovelluskohtainen kaasuvirtauksen kalibrointi
Järjestelmän sovittamiseen ja suorituskyvyn optimointiin on saatavilla teknistä tukea.
Valmistusprosessi
- Erittäin puhtaan 99%-alumiinijauheen valmistaminen
- Isostaattinen puristus tai kuivapuristusmuodostus
- Korkean lämpötilan sintraus ~1690 °C:ssa
- CNC-tarkkuuskoneistus
- Laser- tai mikroporaus huokoista rakennetta varten (tarvittaessa).
- Tarkkuushionta ja kiillotus
- Mittatarkastus ja vuototestaus
- Lopullinen laadunvalvonta
Tiukka prosessinvalvonta takaa johdonmukaisuuden, vakauden ja pitkäaikaisen luotettavuuden huippuluokan sovelluksissa.
Usein kysytyt kysymykset
Q1: Miksi valita 99%-alumiinioksidi 95%-alumiinioksidin sijaan?
99%-alumiinioksidin kovuus on suurempi, kulutuskestävyys parempi ja kemiallinen stabiilisuus parempi. Se soveltuu paremmin puolijohdelaatuisiin ja erittäin tarkkoihin kaasunjakelusovelluksiin, joissa kontaminaation hallinta on kriittistä.
Kysymys 2: Voidaanko huokoinen rakenne suunnitella laitteeni mukaan?
Huokoskoko, tiheys ja jakautuminen voidaan täysin mukauttaa kaasutyypin, paineen ja kammion rakenteen mukaan optimaalisen virtauksen tasaisuuden saavuttamiseksi.
Kysymys 3: Soveltuuko 99%-alumiinioksidi plasmaympäristöihin?
Kyllä. 99%-alumiinioksidin plasmakestävyys on erinomainen, ja se säilyttää rakenteellisen vakauden pitkäaikaisessa altistumisessa reaktiivisille kaasuille ja suurienergisille plasmajärjestelmille.
Arviot
Tuotearvioita ei vielä ole.