إن مقعد توزيع الغاز السيراميكي 99% المصنوع من الألومينا ألومينا سيراميك 99% هو مكون سيراميكي دقيق عالي الأداء مصمم للتحكم في تدفق الغاز فائق الاستقرار في الأنظمة الصناعية المتقدمة. يتم تصنيعه من أكسيد الألومنيوم 99% عالي النقاء (Al₂O₃)، مما يوفر قوة ميكانيكية متميزة وثباتًا كيميائيًا وأداءً متميزًا في العزل الكهربائي.
يُستخدم هذا المكون على نطاق واسع في معدات تصنيع أشباه الموصلات، وأنظمة الطلاء بالتفريغ، وغرف الحفر بالبلازما، وأنظمة التفريغ بالديود الكهروضوئي المتقطع، وأنظمة التفريغ الكهروضوئي بالديود الكهروضوئي، ووحدات توزيع الغاز عالي النقاء.
وتتمثل وظيفته الأساسية في ضمان انتشار الغاز بشكل موحد ومستقر عبر غرف المعالجة، مما يقلل من تباين المعالجة، ويحسن اتساق الإنتاجية، ويقلل من مخاطر التلوث. وبالمقارنة مع المعدن أو الكوارتز أو السيراميك منخفض الدرجة، توفر ألومينا 99% مقاومة تآكل فائقة بشكل ملحوظ، وثبات الأبعاد، وموثوقية طويلة الأجل.
التركيز على المادة: 99% ألومينا عالية النقاء (Al₂O₃ ≥ 99%)
صُنع هذا المنتج من سيراميك الألومينا 99% عالي الكثافة، والذي يعتبر أحد أكثر أنواع السيراميك الهندسي المتقدم ثباتًا واستخدامًا على نطاق واسع في البيئات الصناعية الدقيقة.
الخصائص المادية الرئيسية:
- صلابة عالية للغاية لمقاومة التآكل على المدى الطويل
- مقاومة ممتازة للبلازما والأحماض والبيئات القلوية
- عزل كهربائي عالي لأنظمة الجهد العالي والبلازما
- ثبات أبعاد فائق في ظل التدوير الحراري
- توليد جسيمات منخفضة للغاية لتطبيقات غرف الأبحاث
- عمر خدمة طويل في التشغيل الصناعي المستمر
بالمقارنة مع ألومينا 95%، توفر ألومينا 99% صلابة أعلى ومقاومة أفضل للتآكل وثباتًا هيكليًا محسنًا، مما يجعلها أكثر ملاءمة لأنظمة أشباه الموصلات المتطورة وأنظمة الطلاء الدقيقة.
مبدأ التصميم الوظيفي
تم تصميم مقعد توزيع الغاز السيراميكي بهيكل مسامي يتم التحكم فيه بدقة أو نظام قنوات دقيقة. يسمح هذا الهيكل بالانتشار المتحكم فيه لغازات المعالجة داخل غرف التفريغ أو التفاعل.
تشمل الوظائف الأساسية ما يلي:
- توزيع موحد للغاز عبر سطح المعالجة بالكامل
- موازنة ضغط مستقرة لظروف عملية متسقة
- تقليل الاضطراب وتركيز التدفق الموضعي
- تحسين ترسيب الأغشية الرقيقة وتوحيد النقش
- تقليل تلوث الجسيمات وعيوب العملية إلى الحد الأدنى
يمكن تصميم بنية المسام هندسيًا لتتناسب مع معدلات تدفق محددة وأنواع الغاز وتكوينات الحجرة.
مزايا الأداء الرئيسية للألومينا 99%
- مقاومة أعلى للتآكل مقارنةً بالألومينا والكوارتز 95%
- مقاومة ممتازة للتآكل في بيئات البلازما والغازات التفاعلية
- عزل كهربائي فائق يمنع تسرب التيار الكهربائي
- ثبات ميكانيكي قوي تحت الضغط والاهتزاز
- ثبات حراري ممتاز لأنظمة المعالجة في درجات الحرارة العالية
- مخاطر تلوث منخفضة للغاية مناسبة للاستخدام في غرف تنظيف أشباه الموصلات
- عمر تشغيلي طويل مع تقليل تكرار الصيانة
مقارنة أداء المواد
| الممتلكات | الألومينا 99% (Al₂O₃ ≥ 99%) | 95% ألومينا 95% | زركونيا | ستاتيت |
|---|---|---|---|---|
| الكثافة (جم/سم مكعب) | 3.85 | 3.65 | 5.9 | 2.8 |
| امتصاص الماء (%) | 0 | 0 | 0 | 0 |
| درجة حرارة التلبيد (℃) | 1690 | 1670 | 1650 | 1350 |
| الصلابة (HV) | 1700 | 1600 | 1400 | 800 |
| قوة الانثناء (ميجا باسكال) | >350 | >290 | >1100 | 90 |
| قوة الانضغاط (كلغم/سم²) | 30000 | 25000 | 25000 | 4000 |
| درجة حرارة التشغيل القصوى (℃) | 1500 | 1400 | 1600 | 1100 |
| التمدد الحراري (×10-⁶/ ℃) | 8 | 7.8 | 10 | 6 |
| مقاومة الصدمات الحرارية (ΔT ℃) | 200 | 220 | 350 | 200 |
| الموصلية الحرارية (وات/م كلفن) | 3 | 2 | 3 | 2.5 |
| مقاومية الحجم (Ω-سم) | >10¹² | >10¹² | >10¹² | 10¹² |
| قوة العزل الكهربائي (KV/مم) | 18 | 16 | 15 | 10 |
| ثابت العزل الكهربائي (1 ميجا هرتز) | 9.2-10.5 | 9.0-10 | 12 | 5.8 |
المعلمات الفنية
| المعلمة | المواصفات |
|---|---|
| المواد | ألومينا 99% عالية النقاء (Al₂O₃ ≥ 99%) |
| نوع الهيكل | قرص مسامي/صفيحة دش/حلقة |
| الشكل | هندسة مستديرة/مخصصة |
| الكثافة | 3.85 جم/سم مكعب |
| الصلابة | ~حوالي 1700 فولت هيدروجيني |
| قوة الانثناء | >350 ميجا باسكال |
| قوة الانضغاط | ≥30000 كجم/سم² |
| درجة حرارة التشغيل القصوى | حتى 1500 درجة مئوية (حسب البيئة) |
| المقاوماتية الكهربائية | >10 ¹² Ω-سم |
| قوة العزل الكهربائي | ~حوالي 18 كيلو فولت/ملم |
| خشونة السطح | Ra ≤ 0.2 ميكرومتر (مناطق الدقة) |
| تحمل التسطيح | ± 5-10 ميكرومتر |
| تحمل التصنيع بالقطع | ± 0.01 مم |
| تصميم المسامية | هيكل مسامي دقيق قابل للتخصيص بالكامل |
مجالات التطبيق
- أنظمة معالجة رقاقات أشباه الموصلات
- معدات الحفر والتنظيف بالبلازما
- أنظمة ترسيب الأغشية الرقيقة PECVD / CVD / PVD
- غرف توزيع الغازات المفرغة من الهواء
- أنظمة التفاعل الكيميائي عالية النقاء
- أنظمة التحكم في غاز الأفران الصناعية الدقيقة
- معدات انتشار الغازات عالية الدقة في المختبر
خيارات هندسية مخصصة
يمكن تخصيص مقعد توزيع الغاز المصنوع من سيراميك الألومينا 99% هذا المقعد الخزفي المصنوع من الألومينا 99% بالكامل:
- القطر الخارجي والسُمك
- كثافة المسامية وتصميم توزيع التدفق
- تحسين بنية الثقب الصغير أو القناة
- تلميع السطح ودرجة التشطيب
- التسطيح ودقة الواجهة المانعة للتسرب
- التكامل مع التركيب المعدني أو الهياكل المعدنية المانعة للتسرب
- معايرة تدفق الغاز الخاص بالتطبيق
يتوفر الدعم الهندسي لمطابقة النظام وتحسين الأداء.
عملية التصنيع
- تحضير مسحوق الألومينا 99% عالي النقاء 99%
- الكبس المتساوي الضغط أو التشكيل بالكبس الجاف
- تلبيد بدرجة حرارة عالية عند 1690 درجة مئوية تقريبًا
- التصنيع الآلي الدقيق باستخدام الحاسب الآلي الرقمي
- الحفر بالليزر أو الحفر الدقيق للهيكل المسامي (إذا لزم الأمر)
- الطحن والتلميع الدقيق
- فحص الأبعاد واختبار التسرب
- التحقق من الجودة النهائية
يضمن التحكم الصارم في العمليات الاتساق والاستقرار والموثوقية طويلة الأجل في التطبيقات المتطورة.
الأسئلة المتداولة
س1: لماذا تختار ألومينا 99% بدلاً من ألومينا 95%؟
توفر ألومينا 99% صلابة أعلى، ومقاومة أفضل للتآكل، وثباتًا كيميائيًا محسنًا. وهي أكثر ملاءمة لتطبيقات توزيع الغازات شبه الموصلة وعالية الدقة حيث يكون التحكم في التلوث أمرًا بالغ الأهمية.
س2: هل يمكن تصميم الهيكل المسامي وفقًا لمعداتي؟
نعم. يمكن تخصيص حجم المسام وكثافتها وتوزيعها بالكامل وفقًا لنوع الغاز والضغط وتصميم الحجرة لتحقيق انتظام التدفق الأمثل.
س3: هل ألومينا 99% مناسبة لبيئات البلازما؟
نعم، تتمتع ألومينا 99% بمقاومة ممتازة للبلازما وتحافظ على ثباتها الهيكلي تحت التعرض الطويل الأجل للغازات التفاعلية وأنظمة البلازما عالية الطاقة.
المراجعات
لا توجد مراجعات بعد.