A Ceramic End Effector egy nagy pontosságú robotkezelő alkatrész, amelyet félvezető ostyák átviteléhez, ipari automatizálási rendszerekhez és nagy tisztaságú gyártási környezetekhez terveztek. A nagy tisztaságú SiC (szilíciumkarbid) és Al₂O₃ (timföld) kerámiaanyagok felhasználásával gyártott véghatásfok kivételes kopásállóságot, hőstabilitást és kémiai tartósságot biztosít az igényes automatizálási alkalmazásokhoz.

A robotizált ostyakezelő rendszerekhez tervezett kerámia véghatásokat széles körben használják félvezetőgyártó berendezésekben, precíziós gyártási rendszerekben és automatizált gyártósorokon, ahol a szennyeződések ellenőrzése és a méretstabilitás kritikus fontosságú.

A hagyományos fémből készült véghatásokhoz képest a kerámia robotkarok kiváló korrózióállóságot, alacsonyabb részecske keletkezést, magasabb hőmérsékletállóságot és hosszabb élettartamot biztosítanak.

A kerámia véghatások fő jellemzői

Ultramagas tisztaság félvezető alkalmazásokhoz

A félvezető minőségű kerámiaanyagokból gyártott véghatásmérő hatékonyan minimalizálja a szennyeződést és a részecskeképződést a szeletkezelési folyamatok során.

Előnyök:

• Ultra-alacsony részecskekibocsátás
• Nagy tisztasági teljesítmény
• Alkalmas tisztatéri környezetbe
• Kiváló kémiai stabilitás

Kiváló kopásállóság

A kerámiaanyagok rendkívül nagy keménységet és kopásállóságot mutatnak, ami lehetővé teszi a hosszú távú működést a felület jelentős romlása nélkül.

Előnyök:

• Csökkentett karbantartási gyakoriság
• Hosszabb működési élettartam
• Stabil kezelési pontosság
• Csökkentett kopás okozta szennyeződés

Magas hőmérsékleti ellenállás

A kerámia véghatásfok kiváló szerkezeti stabilitást biztosít magas hőmérsékleten és kemény technológiai körülmények között is.

Teljesítmény:

• Szublimációs hőmérséklet akár 2700 ℃
• Kiváló termikus sokkállóság
• Stabil működés magas hőmérsékletű környezetben

Nagy pontosság és méretstabilitás

A fejlett kerámia-feldolgozási technológia kiváló síkosságot, párhuzamosságot és méretbeli konzisztenciát biztosít.

Alkalmas:

• Wafer transzfer rendszerek
• Precíziós robotkezelés
• Félvezető automatizálási berendezések
• Nagy pontosságú pozicionálási alkalmazások

Könnyűszerkezet

A fém robotkarokkal összehasonlítva a kerámia véghatások kisebb súlyt kínálnak, ugyanakkor nagy merevséget biztosítanak.

Eredmény:

• Csökkentett robotkar terhelés
• Gyorsabb mozgásválasz
• Javított automatizálási hatékonyság
• Alacsonyabb energiafogyasztás

Műszaki specifikációk

Ingatlan	Érték
Termék neve	Kerámia végfokozó
Anyag	SiC / Al₂O₃ Kerámia
Kémiai tisztaság	99.99995%
Keménység	2500 HV
Szublimációs hőmérséklet	2700℃
Hőkapacitás	640 J-kg-¹-K-¹
Tanúsítás	RoHS
Származási hely	Kína

Elérhető anyagopciók

Szilícium-karbid (SiC) kerámia

Jellemzők:

• Kiváló hővezető képesség
• Nagy merevség
• Kiváló kopásállóság
• Kiváló plazmaállóság

Ajánlott:

• Félvezető ostyák kezelése
• Magas hőmérsékletű automatizálási rendszerek
• Vákuumos környezet

Alumina (Al₂O₃) Kerámia

Jellemzők:

• Kiváló elektromos szigetelés
• Jó korrózióállóság
• Költséghatékony megoldás
• Nagy méretpontosság

Ajánlott:

• Általános automatizálási rendszerek
• Precíziós összeszerelő berendezések
• Vegyipari feldolgozási alkalmazások

A kerámia véghatások alkalmazásai

Félvezető ostyák kezelése

Széles körben használják:

• Wafer transzfer robotok
• Félvezető technológiai eszközök
• Vákuumkezelő rendszerek
• FOUP rakodási rendszerek
• Wafer ellenőrző berendezés

Kompatibilis a következőkkel:

• Szilícium ostyák
• Zafír ostya
• SiC ostyák
• GaN ostyák

Ipari automatizálás

Automatizált gyártósorokon használatos:

• Nagy pontosság
• Kopásállóság
• Kémiai stabilitás
• Hosszú távú megbízhatóság

Precíziós gyártás

Alkalmas:

• Elektronikus alkatrészek összeszerelése
• Optikai eszközök kezelése
• Precíziós helymeghatározó rendszerek

Orvosi és laboratóriumi berendezések

A kerámia robotvéghatásokat is alkalmazzák a következőkben:

• Sebészeti robotika
• Laboratóriumi automatizálás
• Gyógyszeripari berendezések

kiváló tisztaságuk és korrózióállóságuk miatt.

A véghatások típusai

Robotmegfogók

Felhasználva:

• Wafer kezelés
• Pick-and-place rendszerek
• Precíziós megfogó alkalmazások

Vákuumos véghatások

A következőkre tervezték:

• Sima felületkezelés
• Érintésmentes ostyatranszfer
• Félvezető tisztaterek automatizálása

Érzékelővel integrált véghatások

Integrálható:

• Erőérzékelők
• Pozícióérzékelők
• Taktilis visszajelző rendszerek

a fejlett robotautomatizáláshoz.

Testreszabási szolgáltatások

Egyedi kerámia véghatású megoldásokat kínálunk az ügyfél rajzai és a berendezések követelményei szerint.

Elérhető egyéni opciók

• Egyedi méretek
• Vákuum lyukszerkezetek
• Felület polírozása
• Könnyű optimalizálás
• Speciális bevonatok
• Többkaros konfigurációk
• Nagy laposságú feldolgozás
• Félvezető minőségű tisztítás

Előnyök a fém véghatásokhoz képest

Ingatlan	Kerámia végfokozó	Fém végfokozó
Kopásállóság	Kiváló	Mérsékelt
Korrózióállóság	Kiváló	Korlátozott
Részecske generálás	Rendkívül alacsony	Magasabb
Magas hőmérsékleti stabilitás	Kiváló	Mérsékelt
Súly	Könnyűsúlyú	Nehezebb
Félvezető kompatibilitás	Kiváló	Korlátozott

GYIK

Miért használjunk kerámia véghatásokat a félvezetőgyártásban?

A kerámia véghatások rendkívül alacsony szennyeződést, kiváló kopásállóságot és nagyfokú méretstabilitást biztosítanak, így ideálisak a félvezető ostyakezelő rendszerekhez.

Milyen anyagok állnak rendelkezésre a kerámia véghatásokhoz?

Gyakori anyagok:

• Szilícium-karbid (SiC)
• Alumina (Al₂O₃)
• Cirkónium-dioxid kerámia

az alkalmazási követelményektől függően.

Testre szabható a kerámia véghatásmérő?

Igen. Támogatjuk az egyedi méreteket, szerkezeteket, vákuumkialakításokat és felületkezelést az ügyfél berendezéseinek specifikációi alapján.