A garra de cerâmica é um componente de manuseamento robótico de alta precisão concebido para a transferência de bolachas semicondutoras, sistemas de automação industrial e ambientes de fabrico de elevada limpeza. Fabricado com materiais cerâmicos de SiC (carboneto de silício) e Al₂O₃ (alumina) de alta pureza, o efetor final oferece excecional resistência ao desgaste, estabilidade térmica e durabilidade química para aplicações de automação exigentes.

Concebidos para sistemas robóticos de manuseamento de bolachas, estes dispositivos de acionamento da extremidade em cerâmica são amplamente utilizados em equipamento de fabrico de semicondutores, sistemas de fabrico de precisão e linhas de produção automatizadas, onde o controlo da contaminação e a estabilidade dimensional são fundamentais.

Em comparação com as extremidades metálicas convencionais, os braços robóticos de cerâmica oferecem uma resistência superior à corrosão, uma menor produção de partículas, uma maior resistência à temperatura e uma vida útil mais longa.

Principais caraterísticas dos alicates de pressão cerâmicos

Pureza ultra-alta para aplicações em semicondutores

Fabricada com materiais cerâmicos para semicondutores, a pinça minimiza eficazmente a contaminação e a geração de partículas durante os processos de manuseamento de bolachas.

Vantagens:

• Libertação ultra-baixa de partículas
• Elevado desempenho de limpeza
• Adequado para ambientes de sala limpa
• Excelente estabilidade química

Excelente resistência ao desgaste

Os materiais cerâmicos apresentam uma dureza e uma resistência ao desgaste extremamente elevadas, permitindo um funcionamento a longo prazo sem uma degradação significativa da superfície.

Benefícios:

• Redução da frequência de manutenção
• Vida útil mais longa
• Precisão de manuseamento estável
• Redução da contaminação causada pela abrasão

Resistência a altas temperaturas

A pinça de cerâmica mantém uma excelente estabilidade estrutural sob temperaturas elevadas e condições de processo difíceis.

Desempenho:

• Temperatura de sublimação até 2700℃
• Excelente resistência ao choque térmico
• Funcionamento estável em ambientes de alta temperatura

Elevada precisão e estabilidade dimensional

A tecnologia avançada de processamento de cerâmica garante uma excelente planicidade, paralelismo e consistência dimensional.

Adequado para:

• Sistemas de transferência de bolachas
• Manuseamento robótico de precisão
• Equipamento de automatização de semicondutores
• Aplicações de posicionamento de alta precisão

Estrutura leve

Em comparação com os braços robóticos de metal, os efetores de extremidade de cerâmica oferecem menor peso, mantendo alta rigidez.

Resultado:

• Redução da carga do braço robótico
• Resposta mais rápida ao movimento
• Melhoria da eficiência da automatização
• Menor consumo de energia

Especificações técnicas

Imóveis	Valor
Nome do produto	Garrafa de cerâmica
Material	Cerâmica SiC / Al₂O₃
Pureza química	99.99995%
Dureza	2500 HV
Temperatura de sublimação	2700℃
Capacidade térmica	640 J-kg-¹-K-¹
Certificação	RoHS
Local de origem	China

Opções de materiais disponíveis

Cerâmica de carboneto de silício (SiC)

Caraterísticas:

• Excelente condutividade térmica
• Elevada rigidez
• Resistência superior ao desgaste
• Excelente resistência ao plasma

Recomendado para:

• Manuseamento de bolachas semicondutoras
• Sistemas de automação para altas temperaturas
• Ambientes de vácuo

Cerâmica de alumina (Al₂O₃)

Caraterísticas:

• Excelente isolamento elétrico
• Boa resistência à corrosão
• Solução económica
• Elevada precisão dimensional

Recomendado para:

• Sistemas de automação geral
• Equipamento de montagem de precisão
• Aplicações de processamento químico

Aplicações dos efetores finais de cerâmica

Manuseamento de bolachas semicondutoras

Amplamente utilizado em:

• Robôs de transferência de bolachas
• Ferramentas de processamento de semicondutores
• Sistemas de tratamento de vácuo
• Sistemas de carregamento FOUP
• Equipamento de inspeção de bolachas

Compatível com:

• Bolachas de silício
• Bolachas de safira
• Bolachas de SiC
• Pastilhas de GaN

Automação industrial

Utilizado em linhas de produção automatizadas que requerem:

• Alta precisão
• Resistência ao desgaste
• Estabilidade química
• Fiabilidade a longo prazo

Fabrico de precisão

Adequado para:

• Montagem de componentes electrónicos
• Manuseamento de dispositivos ópticos
• Sistemas de posicionamento de precisão

Equipamento médico e de laboratório

Os dispositivos de acionamento final robóticos em cerâmica são também aplicados em:

• Robótica cirúrgica
• Automatização de laboratórios
• Equipamento farmacêutico

devido à sua excelente limpeza e resistência à corrosão.

Tipos de Efectores Finais

Pinças robóticas

Utilizado para:

• Manuseamento de bolachas
• Sistemas Pick-and-place
• Aplicações de preensão de precisão

Efectores finais de vácuo

Concebido para:

• Manuseamento suave da superfície
• Transferência de bolacha sem contacto
• Automação de salas limpas de semicondutores

Efectores finais integrados em sensores

Pode ser integrado:

• Sensores de força
• Sensores de posição
• Sistemas de feedback tátil

para a automatização robótica avançada.

Serviços de personalização

Fornecemos soluções personalizadas de alicates de cerâmica de acordo com os desenhos do cliente e os requisitos do equipamento.

Opções personalizadas disponíveis

• Dimensões personalizadas
• Estruturas de orifícios de vácuo
• Polimento de superfícies
• Otimização leve
• Revestimentos especiais
• Configurações com vários braços
• Processamento de alta planicidade
• Limpeza de semicondutores

Vantagens em relação às pinças metálicas

Imóveis	Garrafa de cerâmica	Garrafa de metal
Resistência ao desgaste	Excelente	Moderado
Resistência à corrosão	Excelente	Limitada
Geração de partículas	Extremamente baixo	Mais alto
Estabilidade a altas temperaturas	Excelente	Moderado
Peso	Leve	Mais pesado
Compatibilidade de semicondutores	Excelente	Limitada

FAQ

Porquê utilizar os dispositivos de acionamento final em cerâmica no fabrico de semicondutores?

Os dispositivos cerâmicos proporcionam uma contaminação ultra baixa, excelente resistência ao desgaste e elevada estabilidade dimensional, tornando-os ideais para sistemas de manuseamento de bolachas semicondutoras.

Quais são os materiais disponíveis para os dispositivos de acionamento de cerâmica?

Os materiais mais comuns incluem:

• Carboneto de silício (SiC)
• Alumina (Al₂O₃)
• Cerâmica de zircónio

dependendo dos requisitos da aplicação.

A pinça de cerâmica pode ser personalizada?

Sim. Apoiamos dimensões, estruturas, projectos de vácuo e tratamentos de superfície personalizados com base nas especificações do equipamento do cliente.