Le Customized Silicon Carbide (SiC) Ceramic Boat Carrier est une solution de support et de transport de plaquettes de silicium conçue avec précision pour les environnements de fabrication de semi-conducteurs à haute température. Fabriqué à partir de céramique SiC de haute pureté, ce support offre une excellente stabilité thermique, une résistance supérieure à la corrosion, une grande résistance mécanique et une très faible contamination.
Conçus pour les processus critiques de manipulation des plaquettes, les bateaux en céramique SiC sont largement utilisés dans les fours de diffusion, les systèmes d'oxydation, les réacteurs CVD, les processus RTP, les équipements de croissance épitaxiale et les lignes de production de semi-conducteurs de pointe.
Comparés aux supports de plaquettes en quartz ou en graphite conventionnels, les supports en céramique SiC offrent une durée de vie nettement plus longue, une production de particules plus faible et une meilleure stabilité des processus, ce qui les rend idéaux pour les fabs de semi-conducteurs, la fabrication photovoltaïque, la production de LED et les industries de l'électronique de puissance.
Sa conductivité thermique élevée et son faible coefficient de dilatation thermique permettent une distribution uniforme de la chaleur et minimisent les contraintes subies par la plaquette dans des conditions de traitement extrêmes.
Principales caractéristiques du support de bateau en céramique SiC
Résistance exceptionnelle aux hautes températures
La structure en céramique SiC conserve une excellente stabilité mécanique à des températures extrêmement élevées :
- Jusqu'à 1600°C en atmosphère oxydante
- Jusqu'à 1950°C en atmosphère inerte
Le matériau résiste à la déformation, à l'affaissement et à la fatigue thermique lors de cycles de chauffage répétés.
Excellente résistance chimique
Le carbure de silicium de haute pureté présente une résistance exceptionnelle aux :
- Acides
- Alcalis
- Environnements plasmatiques
- Gaz de traitement corrosifs
Compatible avec les supports agressifs des processus de semi-conducteurs, y compris
- SiH₄
- NH₃
- HCl
- POCl₃
- H₂Se
Cela garantit une durée de vie prolongée dans les environnements de traitement difficiles.
Génération de particules ultra-faible
Le polissage de la surface et la fabrication de précision minimisent la contamination par les particules pendant le traitement des plaquettes.
Convient pour :
- Nœuds de semi-conducteurs avancés
- Dépôt épitaxial
- Procédés EUV
- Fabrication en salle blanche
La faible génération de particules permet d'améliorer le rendement des plaquettes et de réduire les taux de défauts.
Conductivité thermique élevée
Conductivité thermique :
160 W/m-K
Les avantages comprennent
- Chauffage uniforme des plaquettes
- Amélioration de la constance de la température
- Réduction des gradients thermiques
- Meilleure répétabilité des processus
Haute résistance mécanique
La céramique SiC fournit :
- Excellente dureté
- Résistance élevée à la compression
- Résistance supérieure à l'usure
- Résistance aux chocs thermiques
Maintient la stabilité dimensionnelle même en cas de fonctionnement industriel à long terme.
Conception entièrement personnalisée
Des solutions personnalisées sont disponibles en fonction des besoins des clients :
Diamètre de la plaquette
Quantité d'emplacements
Espacement des fentes
Dimensions du bateau
Finition de la surface
Optimisation de la structure
Les tailles de plaquettes prises en charge sont les suivantes
- 150 mm (6″)
- 200 mm (8″)
- 300 mm (12″)
- Dimensions personnalisées disponibles
Spécifications techniques
| Propriété | Unité | Valeur |
|---|---|---|
| Teneur en carbure de silicium | % | >99.5 |
| Taille moyenne des grains | μm | 4-10 |
| Densité en vrac | kg/dm³ | >3.14 |
| Porosité apparente | Vol % | <0.5 |
| Dureté Vickers | Kg/mm² | 2800 |
| Résistance à la flexion | MPa | 450 |
| Résistance à la compression | MPa | 3900 |
| Module d'élasticité | GPa | 420 |
| Résistance à la rupture | MPa-m1/2 | 3.5 |
| Conductivité thermique | W/m-K | 160 |
| Résistivité électrique | Ohm-cm | 10⁶-10⁸ |
| Coefficient de dilatation thermique | 10-⁶/K | 4.3 |
| Température maximale (oxydation) | °C | 1600 |
| Température maximale (inerte) | °C | 1950 |
Applications du support de bateau en céramique SiC
Fabrication de semi-conducteurs
Largement utilisé dans les processus de fabrication de tranches de semi-conducteurs, notamment :
Fours de diffusion
Fournit un support stable pour les plaquettes pendant le traitement à haute température tout en minimisant la distorsion thermique.
Systèmes d'oxydation
Maintient une excellente précision dimensionnelle et un contrôle de la contamination.
Traitement thermique rapide
La faible dilatation thermique minimise le gauchissement de la plaquette.
Implantation d'ions
Excellente résistance aux radiations et à l'exposition aux particules de haute énergie.
CVD et croissance épitaxiale
Convient pour :
- Épitaxie du SiC
- Croissance du GaN
- Dépôt de silicium
- Traitement des semi-conducteurs composés
L'excellente résistance à la corrosion des gaz prolonge la durée de vie.
Fabrication de SiC et de dispositifs de puissance
Utilisé pour :
- Dispositifs de puissance SiC
- GaN-sur-SiC
- Production de MOSFET
- Modules de puissance avancés
Le coefficient de dilatation thermique correspond étroitement à celui des plaquettes de SiC, ce qui réduit les contraintes thermiques lors de la croissance à haute température.
Industrie photovoltaïque
Convient pour :
Cellules solaires PERC
Résistant aux environnements de diffusion du phosphore.
TOPCon Production
Stabilité des performances en cas de cycles thermiques répétés.
Fabrication de panneaux solaires à couche mince
Excellente résistance à la corrosion dans des atmosphères complexes.
Comparées aux barrettes en quartz, les barrettes en SiC offrent les avantages suivants
- Durée de vie plus longue
- Réduction des coûts de maintenance
- Meilleure stabilité du processus
LED et optoélectronique
Utilisé dans :
- Mini LED
- Micro LED
- Production de semi-conducteurs composés
La conception précise des fentes réduit les dommages aux bords des plaquettes et améliore la sécurité de la manipulation.
Bateau en céramique SiC et bateau en quartz
| Élément de comparaison | Bateau en céramique SiC | Bateau en quartz |
|---|---|---|
| Température maximale | 1950°C | Environ 1250°C |
| Durée de vie | 5-10 ans | 1 à 2 ans |
| Conductivité thermique | Excellent | Faible |
| Génération de particules | Très faible | Modéré |
| Résistance chimique | Excellent | Moyen |
| Résistance mécanique | Haut | Faible |
Les bateaux en céramique SiC offrent une durabilité supérieure et des coûts d'exploitation réduits pour la production de semi-conducteurs à long terme.
Pourquoi choisir notre porte-bateau en céramique SiC ?
- Matériau SiC de haute pureté >99.5%
- Capacité d'usinage de précision
- Processus de fabrication à faible contamination
- Soutien à la conception sur mesure
- Contrôle strict de la qualité
- Capacité de production stable à long terme
- Réponse rapide pour les projets personnalisés
Notre équipe d'ingénieurs travaille en étroite collaboration avec nos clients pour développer des solutions personnalisées de manipulation des wafers pour des applications industrielles exigeantes.
FAQ
Q1 : Quelles tailles de plaquettes peuvent être prises en charge ?
Les tailles de plaquettes standard sont les suivantes
- 150mm (6″)
- 200mm (8″)
- 300mm (12″)
Des dimensions personnalisées sont disponibles en fonction des besoins du client.
Q2 : La quantité et l'espacement des fentes peuvent-ils être personnalisés ?
Oui. Nous pouvons personnaliser les produits :
- Numéro de l'emplacement
- Pas de la fente
- Conception de la structure
- Traitement de surface
- Dimensions générales
Q3 : Quel est le délai d'exécution ?
Produits standard :
4-6 semaines
Modèles personnalisés :
8-12 semaines
Le délai d'exécution peut varier en fonction de la complexité.
Q4 : Pourquoi choisir SiC plutôt que des bateaux en quartz ou en graphite ?
Par rapport aux matériaux conventionnels, la céramique SiC offre :
- Température de fonctionnement plus élevée
- Meilleur contrôle de la contamination
- Durée de vie plus longue
- Amélioration de la résistance à la corrosion
- Résistance mécanique supérieure
Q5 : Pouvez-vous fabriquer selon les dessins ?
Oui. Nous prenons en charge la fabrication sur mesure à partir de dessins, d'échantillons ou de spécifications détaillées du client.
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