高純度炭化ケイ素チューブ

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  炭化ケイ素（SiC）

  半導体熱処理用高純度炭化ケイ素縦型炉心管

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  炭化ケイ素（SiC）

  LPCVD/CVD半導体プロセス用炭化ケイ素水平プロセス管