半導体装置部品

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  炭化ケイ素（SiC）

  半導体熱処理用高純度炭化ケイ素縦型炉心管

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  炭化ケイ素（SiC）

  半導体装置の精密ウェハーハンドリング用SiCセラミックエンドエフェクター