アドバンスド・エンジニアリング・セラミックス

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  アルミナ (Al2O3)

  精密ガス流量制御用アルミナセラミックガス分配シート 耐摩耗性電気絶縁部品

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  炭化ケイ素（SiC）

  ウェハーハンドリングおよび光学精密機器用カスタムSiCセラミックフォークアーム