{"id":2322,"date":"2026-05-29T02:28:31","date_gmt":"2026-05-29T02:28:31","guid":{"rendered":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/?post_type=product&p=2322"},"modified":"2026-05-29T02:44:45","modified_gmt":"2026-05-29T02:44:45","slug":"silicon-carbide-cantilever-paddle-for-semiconductor-photovoltaic-high-temperature-furnace-systems","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/product\/silicon-carbide-cantilever-paddle-for-semiconductor-photovoltaic-high-temperature-furnace-systems\/","title":{"rendered":"\u0e43\u0e1a\u0e1e\u0e32\u0e22\u0e04\u0e32\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e15\u0e32\u0e2b\u0e25\u0e2d\u0e21\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e42\u0e1f\u0e42\u0e15\u0e42\u0e27\u0e25\u0e15\u0e32\u0e2d\u0e34\u0e01"},"content":{"rendered":"

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\u0e43\u0e1a\u0e1e\u0e31\u0e14\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e04\u0e32\u0e19\u0e22\u0e37\u0e14 SiC \u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e16\u0e36\u0e07 1380 \u00b0C \u0e42\u0e14\u0e22\u0e44\u0e21\u0e48\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e2b\u0e32\u0e22\u0e17\u0e32\u0e07\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07 \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e40\u0e14\u0e0a\u0e31\u0e19 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e34\u0e07 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e1a\u0e2d\u0e48\u0e2d\u0e19 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35 LPCVD \u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34 1000\u20131300 \u00b0C.<\/p>\n

\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e23\u0e07\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e25\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/h3>\n

\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38 RB-SiC \u0e21\u0e2d\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e23\u0e07\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e42\u0e04\u0e49\u0e07\u0e07\u0e2d\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21\u0e41\u0e21\u0e49\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e15\u0e31\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e48\u0e32\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e16\u0e37\u0e2d\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e38\u0e14 \u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e25\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e31\u0e48\u0e19\u0e2a\u0e30\u0e40\u0e17\u0e37\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2b\u0e22\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e15\u0e31\u0e27\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e40\u0e15\u0e32\u0e40\u0e1c\u0e32.<\/p>\n

\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e15\u0e48\u0e33\u0e2a\u0e38\u0e14<\/h3>\n

\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e15\u0e31\u0e27\u0e19\u0e33\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30 \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c\u0e44\u0e21\u0e48\u0e1b\u0e25\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e21\u0e32\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e23\u0e31\u0e01\u0e29\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e1c\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c.<\/p>\n

\u0e17\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e22\u0e47\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/h3>\n

\u0e44\u0e21\u0e49\u0e1e\u0e32\u0e22\u0e17\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e23\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e22\u0e47\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e23\u0e27\u0e14\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e42\u0e14\u0e22\u0e44\u0e21\u0e48\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e23\u0e2d\u0e22\u0e41\u0e15\u0e01\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e34\u0e14\u0e07\u0e2d \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e41\u0e23\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e41\u0e17\u0e01\u0e08\u0e32\u0e01\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e22\u0e37\u0e14\u0e2d\u0e32\u0e22\u0e38\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e25\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e16\u0e35\u0e48\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e33\u0e23\u0e38\u0e07\u0e23\u0e31\u0e01\u0e29\u0e32.<\/p>\n

\u0e17\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e19\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32<\/h3>\n

\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38 SiC \u0e41\u0e2a\u0e14\u0e07\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e47\u0e19\u0e16\u0e36\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e23\u0e14, \u0e14\u0e48\u0e32\u0e07, \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e40\u0e14\u0e0a\u0e31\u0e19, \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e24\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19 \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e17\u0e35\u0e48\u0e23\u0e38\u0e19\u0e41\u0e23\u0e07.<\/p>\n

\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23 LPCVD<\/h3>\n

\u0e2a\u0e31\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c\u0e43\u0e01\u0e25\u0e49\u0e40\u0e04\u0e35\u0e22\u0e07\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a LPCVD \u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b \u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e25\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e04\u0e49\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e25\u0e2d\u0e01\u0e15\u0e31\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e35\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e.<\/p>\n

\u0e2d\u0e32\u0e22\u0e38\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e22\u0e32\u0e27\u0e19\u0e32\u0e19<\/h3>\n

\u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e1b\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e2d\u0e15\u0e0b\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30 \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e1b\u0e31\u0e14\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e04\u0e32\u0e19\u0e2d\u0e34\u0e2a\u0e23\u0e30 SiC \u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e14\u0e35\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01\u0e41\u0e25\u0e30\u0e25\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e16\u0e35\u0e48\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19 \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e25\u0e14\u0e15\u0e49\u0e19\u0e17\u0e38\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e14\u0e33\u0e40\u0e19\u0e34\u0e19\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e22\u0e30\u0e22\u0e32\u0e27.<\/p>\n

\n
\n<\/div>\n

\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e39\u0e25\u0e08\u0e33\u0e40\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04<\/h2>\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
\u0e23\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23<\/th>\n\u0e2b\u0e19\u0e48\u0e27\u0e22<\/th>\n\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e39\u0e25<\/th>\n<\/tr>\n
\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e38\u0e14<\/td>\n\u2103<\/td>\n1380<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e41\u0e19\u0e48\u0e19<\/td>\n\u0e01\u0e23\u0e31\u0e21\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e25\u0e39\u0e01\u0e1a\u0e32\u0e28\u0e01\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e19\u0e15\u0e34\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23<\/td>\n3.04\u20133.08<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1e\u0e23\u0e38\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e34\u0e14<\/td>\n%<\/td>\n\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e40\u0e17\u0e48\u0e32\u0e01\u0e31\u0e1a 0.1<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e23\u0e07\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e14\u0e31\u0e14<\/td>\n\u0e40\u0e21\u0e01\u0e30\u0e1b\u0e32\u0e2a\u0e04\u0e32\u0e25<\/td>\n250 (20\u2103) \/ 280 (1200\u2103)<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e42\u0e21\u0e14\u0e39\u0e25\u0e31\u0e2a\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e22\u0e37\u0e14\u0e2b\u0e22\u0e38\u0e48\u0e19<\/td>\n\u0e01\u0e34\u0e01\u0e30\u0e1b\u0e32\u0e2a\u0e04\u0e32\u0e25<\/td>\n330 (20\u2103) \/ 300 (1200\u2103)<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19<\/td>\n\u0e27\u0e31\u0e15\u0e15\u0e4c\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23\u00b7\u0e40\u0e04\u0e25\u0e27\u0e34\u0e19<\/td>\n45 (1200\u2103)<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e2a\u0e31\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19<\/td>\n\u0e40\u0e04\u0e25\u0e1a\u0e2b\u0e19\u0e36\u0e48\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e2b\u0e19\u0e36\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e2a\u0e34\u0e1a\u0e25\u0e49\u0e32\u0e19<\/td>\n4.5<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07 (\u0e27\u0e34\u0e04\u0e40\u0e01\u0e2d\u0e23\u0e4c)<\/td>\nHV2<\/td>\n\u22652100<\/td>\n<\/tr>\n
\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e01\u0e23\u0e14\/\u0e14\u0e48\u0e32\u0e07<\/td>\n\u2014<\/td>\n\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n
\n
\n<\/div>\n

\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19<\/h2>\n

\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e22\u0e32\u0e27\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e01 \u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48:<\/p>\n

    \n
  • 2,378 \u0e21\u0e34\u0e25\u0e25\u0e34\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23<\/li>\n
  • 2,550 \u0e21\u0e34\u0e25\u0e25\u0e34\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23<\/li>\n
  • 2,660 \u0e21\u0e34\u0e25\u0e25\u0e34\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23<\/li>\n<\/ul>\n

    \u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e40\u0e2d\u0e07 \u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e0a\u0e48\u0e2d\u0e07 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e08\u0e38\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e04\u0e48\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e34\u0e14\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07 \u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e15\u0e48\u0e07\u0e44\u0e14\u0e49\u0e15\u0e32\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e15\u0e32\u0e40\u0e1c\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e25\u0e39\u0e01\u0e04\u0e49\u0e32.<\/p>\n

    \n
    \n<\/div>\n

    \u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b<\/h2>\n

    \"\"\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/h3>\n

    \u0e43\u0e1a\u0e1e\u0e31\u0e14\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e04\u0e32\u0e19\u0e22\u0e37\u0e14 SiC \u0e16\u0e39\u0e01\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07:<\/p>\n

      \n
    • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/li>\n
    • \u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e40\u0e14\u0e0a\u0e31\u0e19<\/li>\n
    • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35 LPCVD<\/li>\n
    • \u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e34\u0e0a\u0e31\u0e48\u0e19<\/li>\n
    • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e1a\u0e2d\u0e48\u0e2d\u0e19<\/li>\n
    • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e42\u0e2b\u0e25\u0e14\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/li>\n<\/ul>\n

      \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e04\u0e07\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e17\u0e32\u0e07\u0e21\u0e34\u0e15\u0e34\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1e\u0e27\u0e01\u0e40\u0e02\u0e32\u0e21\u0e35\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e25\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e48\u0e22\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23.<\/p>\n

      \"\"\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e42\u0e1f\u0e42\u0e15\u0e42\u0e27\u0e25\u0e15\u0e32\u0e2d\u0e34\u0e01<\/h3>\n

      \u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e25\u0e25\u0e4c\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e2d\u0e32\u0e17\u0e34\u0e15\u0e22\u0e4c \u0e1e\u0e32\u0e22\u0e17\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e31\u0e27\u0e1e\u0e32\u0e2b\u0e30\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d:<\/p>\n

        \n
      • \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25<\/li>\n
      • \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e40\u0e14\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27<\/li>\n
      • \u0e40\u0e15\u0e32\u0e2b\u0e25\u0e2d\u0e21\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48<\/li>\n
      • \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a PECVD \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a<\/li>\n<\/ul>\n

        \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e19\u0e35\u0e49\u0e04\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e15\u0e49\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e27\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e0b\u0e49\u0e33\u0e46 \u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e1a\u0e44\u0e14\u0e49\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e2d\u0e32\u0e17\u0e34\u0e15\u0e22\u0e4c.<\/p>\n

        \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21<\/h3>\n

        \u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21 \u0e43\u0e1a\u0e1e\u0e32\u0e22\u0e04\u0e32\u0e19 SiC \u0e08\u0e36\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19:<\/p>\n

          \n
        • \u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19<\/li>\n
        • \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e2b\u0e21\u0e38\u0e19\u0e40\u0e27\u0e35\u0e22\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n
        • \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21<\/li>\n
        • \u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b\u0e23\u0e38\u0e19\u0e41\u0e23\u0e07<\/li>\n<\/ul>\n
          \n
          \n<\/div>\n

          \u0e02\u0e49\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e44\u0e21\u0e49\u0e1e\u0e32\u0e22\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e2d\u0e15\u0e0b\u0e4c<\/h2>\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
          \u0e17\u0e23\u0e31\u0e1e\u0e22\u0e4c\u0e2a\u0e34\u0e19<\/td>\n\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19 SiC<\/td>\n\u0e1e\u0e32\u0e22\u0e04\u0e27\u0e2d\u0e15\u0e0b\u0e4c<\/td>\n\u0e44\u0e21\u0e49\u0e1e\u0e32\u0e22\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30<\/td>\n<\/tr>\n
          \u0e17\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07<\/td>\n\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/td>\n\u0e1b\u0e32\u0e19\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07<\/td>\n\u0e1b\u0e32\u0e19\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07<\/td>\n<\/tr>\n
          \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e47\u0e2d\u0e01\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19<\/td>\n\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/td>\n\u0e41\u0e22\u0e48<\/td>\n\u0e1b\u0e32\u0e19\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07<\/td>\n<\/tr>\n
          \u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19<\/td>\n\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/td>\n\u0e14\u0e35<\/td>\n\u0e41\u0e22\u0e48<\/td>\n<\/tr>\n
          \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e23\u0e07\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e01\u0e25<\/td>\n\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01<\/td>\n\u0e15\u0e48\u0e33<\/td>\n\u0e2a\u0e39\u0e07<\/td>\n<\/tr>\n
          \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04<\/td>\n\u0e15\u0e48\u0e33\u0e21\u0e32\u0e01<\/td>\n\u0e1b\u0e32\u0e19\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07<\/td>\n\u0e2a\u0e39\u0e07<\/td>\n<\/tr>\n
          \u0e2d\u0e32\u0e22\u0e38\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19<\/td>\n\u0e22\u0e32\u0e27<\/td>\n\u0e2a\u0e31\u0e49\u0e19<\/td>\n\u0e1b\u0e32\u0e19\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07<\/td>\n<\/tr>\n
          \u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48<\/td>\n\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/td>\n\u0e08\u0e33\u0e01\u0e31\u0e14<\/td>\n\u0e1b\u0e32\u0e19\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n
          \n
          \n<\/div>\n

          \u0e04\u0e33\u0e16\u0e32\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e1a\u0e1a\u0e48\u0e2d\u0e22 \u2013 \u0e43\u0e1a\u0e1e\u0e32\u0e22\u0e04\u0e32\u0e19\u0e40\u0e14\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c<\/h2>\n

          1. \u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e04\u0e37\u0e2d\u0e40\u0e17\u0e48\u0e32\u0e43\u0e14?<\/h3>\n

          \u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e04\u0e37\u0e2d 1380 \u00b0C. \u0e21\u0e31\u0e19\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e19\u0e48\u0e32\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e16\u0e37\u0e2d\u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e42\u0e1f\u0e42\u0e15\u0e42\u0e27\u0e25\u0e15\u0e32\u0e2d\u0e34\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07 1000\u20131300 \u00b0C.<\/p>\n

          2. \u0e17\u0e33\u0e44\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07\u0e40\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c\u0e41\u0e17\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e08\u0e30\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e1e\u0e32\u0e22\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30?<\/h3>\n

          \u0e44\u0e21\u0e49\u0e1e\u0e32\u0e22\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e08\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e44\u0e14\u0e0b\u0e4c, \u0e1c\u0e34\u0e14\u0e23\u0e39\u0e1b, \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e1b\u0e25\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30\u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07. \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07, \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19, \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19, \u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e15\u0e48\u0e33\u0e21\u0e32\u0e01.<\/p>\n

          3. \u0e1e\u0e32\u0e22\u0e19\u0e35\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 12 \u0e19\u0e34\u0e49\u0e27\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e44\u0e21\u0e48?<\/h3>\n

          \u0e43\u0e0a\u0e48 \u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e04\u0e32\u0e19\u0e22\u0e37\u0e48\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e23\u0e07\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e25\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e31\u0e48\u0e19\u0e04\u0e07\u0e43\u0e19\u0e02\u0e13\u0e30\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e31\u0e07\u0e04\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14.<\/p>\n

          4. \u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e15\u0e48\u0e07\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e44\u0e21\u0e48?<\/h3>\n

          \u0e43\u0e0a\u0e48 \u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e08\u0e38\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e0a\u0e48\u0e2d\u0e07 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e34\u0e14\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07 \u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e15\u0e48\u0e07\u0e44\u0e14\u0e49\u0e15\u0e32\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e25\u0e39\u0e01\u0e04\u0e49\u0e32.<\/p>\n

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          \u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e15\u0e48\u0e07\u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e41\u0e25\u0e30\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a LPCVD \u0e17\u0e35\u0e48\u0e17\u0e31\u0e19\u0e2a\u0e21\u0e31\u0e22 \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e01\u0e31\u0e07\u0e2b\u0e31\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e04\u0e32\u0e19\u0e40\u0e14\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27 SiC 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