{"id":2266,"date":"2026-05-19T06:27:35","date_gmt":"2026-05-19T06:27:35","guid":{"rendered":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/?p=2266"},"modified":"2026-05-19T06:28:27","modified_gmt":"2026-05-19T06:28:27","slug":"advanced-ceramic-materials-in-semiconductor-equipment-applications-material-comparison","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/advanced-ceramic-materials-in-semiconductor-equipment-applications-material-comparison\/","title":{"rendered":"\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c: \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38"},"content":{"rendered":"<p 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\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e48\u0e32\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e16\u0e37\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e44\u0e14\u0e49.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e08\u0e32\u0e01\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e01\u0e30\u0e2a\u0e25\u0e31\u0e01\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32\u0e44\u0e1b\u0e08\u0e19\u0e16\u0e36\u0e07\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07 \u0e46 \u0e16\u0e39\u0e01\u0e40\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e15\u0e32\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e21\u0e23\u0e23\u0e16\u0e19\u0e30\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 \u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e25\u0e44\u0e01.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e1a\u0e17\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e35\u0e49\u0e41\u0e19\u0e30\u0e19\u0e33\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e40\u0e01\u0e23\u0e14\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e01\u0e31\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04\u0e17\u0e35\u0e48\u0e0a\u0e31\u0e14\u0e40\u0e08\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e31\u0e14\u0e2a\u0e34\u0e19\u0e43\u0e08\u0e17\u0e32\u0e07\u0e27\u0e34\u0e28\u0e27\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e0b\u0e37\u0e49\u0e2d.<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image aligncenter size-full\"><img 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class=\"wp-block-paragraph\">\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01 (\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e16\u0e36\u0e07 1000\u00b0C+)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e31\u0e25\u0e15\u0e23\u0e49\u0e32\u0e44\u0e2e<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e27\u0e30\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e41\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e14\u0e31\u0e49\u0e07\u0e40\u0e14\u0e34\u0e21\u0e25\u0e49\u0e21\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e27\u0e43\u0e19\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e09\u0e19\u0e27\u0e19\u0e01\u0e31\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19, \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19, \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19. \u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e01\u0e49\u0e44\u0e02\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e08\u0e33\u0e01\u0e31\u0e14\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">2. \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e01\u0e31\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2.1 \u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e19\u0e32 (Al\u2082O\u2083) \u2013 \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e19\u0e32\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e01\u0e31\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14 \u0e04\u0e34\u0e14\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e32\u0e13 <strong>45% \u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e01\u0e36\u0e48\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e19\u0e33<\/strong>.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01:<\/strong><\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e1a\u0e38\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e41\u0e2b\u0e27\u0e19\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e39\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e02\u0e31\u0e14\u0e40\u0e07\u0e32 CMP<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><strong>\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01:<\/strong><\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e09\u0e19\u0e27\u0e19\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e31\u0e48\u0e19\u0e04\u0e07<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e17\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e14\u0e35<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e08\u0e33\u0e19\u0e27\u0e19\u0e21\u0e32\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e04\u0e38\u0e49\u0e21\u0e04\u0e48\u0e32<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1b\u0e23\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e4c<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2.2 \u0e22\u0e34\u0e15\u0e40\u0e17\u0e23\u0e35\u0e22 (Y\u2082O\u2083) \u2013 \u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e17\u0e19\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e2d\u0e34\u0e17\u0e40\u0e17\u0e23\u0e35\u0e22\u0e21\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c\u0e16\u0e39\u0e01\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e31\u0e21\u0e1c\u0e31\u0e2a\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e02\u0e49\u0e19 \u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01:<\/strong><\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e01\u0e30\u0e2a\u0e25\u0e31\u0e01<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e38\u0e21\u0e21\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2d\u0e2d\u0e1b\u0e15\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e25<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e31\u0e21\u0e1c\u0e31\u0e2a\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><strong>\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01:<\/strong><\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2b\u0e19\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e01\u0e31\u0e1a Al\u2082O\u2083<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e08\u0e38\u0e14\u0e2b\u0e25\u0e2d\u0e21\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e27\u0e2a\u0e39\u0e07 (~2430\u00b0C)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e21\u0e31\u0e01\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e25\u0e14\u0e15\u0e49\u0e19\u0e17\u0e38\u0e19<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2.3 \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c (SiC) \u2013 \u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21 \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01:<\/strong><\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e41\u0e17\u0e48\u0e19\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e31\u0e01\u0e23\u0e25\u0e34\u0e42\u0e18\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e27\u0e07\u0e41\u0e2b\u0e27\u0e19\u0e42\u0e1f\u0e01\u0e31\u0e2a<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e23\u0e32\u0e07\u0e19\u0e33\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e01\u0e2a\u0e30\u0e17\u0e49\u0e2d\u0e19<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><strong>\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01:<\/strong><\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e01\u0e23\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e15\u0e48\u0e33<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e02\u0e31\u0e14\u0e40\u0e07\u0e32\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e01\u0e44\u0e14\u0e49<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2.4 \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c (Si\u2083N\u2084) \u2013 \u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e27\u0e34\u0e28\u0e27\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e48\u0e32\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e16\u0e37\u0e2d\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e23\u0e39\u0e49\u0e08\u0e31\u0e01\u0e43\u0e19\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e23\u0e07\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e25\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e41\u0e1b\u0e25\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e09\u0e31\u0e1a\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e19.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01:<\/strong><\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e41\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e48\u0e07<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e23\u0e32\u0e07\u0e19\u0e33\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e40\u0e2a\u0e49\u0e19<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e41\u0e02\u0e19\u0e01\u0e25<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e19\u0e49\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e31\u0e01\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><strong>\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01:<\/strong><\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2b\u0e19\u0e35\u0e22\u0e27\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e15\u0e01\u0e2b\u0e31\u0e01\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e17\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e22\u0e47\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07 (\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e16\u0e36\u0e07 1200\u00b0C+)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2.5 \u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u0e21\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c (AlN) \u2013 \u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e23\u0e38\u0e48\u0e19\u0e16\u0e31\u0e14\u0e44\u0e1b<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">AlN \u0e16\u0e39\u0e01\u0e19\u0e33\u0e21\u0e32\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e21\u0e32\u0e01\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01:<\/strong><\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15 (ESC)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e42\u0e21\u0e14\u0e39\u0e25 RF \u0e41\u0e25\u0e30\u0e42\u0e21\u0e14\u0e39\u0e25\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><strong>\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01:<\/strong><\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 (\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32 Al\u2082O\u2083 \u0e21\u0e32\u0e01)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e09\u0e19\u0e27\u0e19\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e25\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e44\u0e21\u0e48\u0e2a\u0e2d\u0e14\u0e04\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e04\u0e23\u0e35\u0e22\u0e14\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3. \u0e15\u0e32\u0e23\u0e32\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04<\/h2>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\"><table class=\"has-fixed-layout\"><thead><tr><th>\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38<\/th><th>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 (\u0e27\u0e31\u0e15\u0e15\u0e4c\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e27\u0e34\u0e19)<\/th><th>\u0e09\u0e19\u0e27\u0e19\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32<\/th><th>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e47\u0e2d\u0e01\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19<\/th><th>\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32\u0e40\u0e23\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e41\u0e15\u0e19\u0e0b\u0e4c<\/th><th>\u0e01\u0e23\u0e13\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01<\/th><\/tr><\/thead><tbody><tr><td>\u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u0e21\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c (\u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e19\u0e32)<\/td><td>20\u201330<\/td><td>\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/td><td>\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07<\/td><td>\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07<\/td><td>\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b<\/td><\/tr><tr><td>Y\u2082O\u2083 (\u0e22\u0e34\u0e15\u0e40\u0e17\u0e23\u0e35\u0e22)<\/td><td>10\u201315<\/td><td>\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/td><td>\u0e14\u0e35<\/td><td>\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/td><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32<\/td><\/tr><tr><td>\u0e0b\u0e34\u0e01\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c (\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c)<\/td><td>120\u2013200<\/td><td>\u0e14\u0e35<\/td><td>\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/td><td>\u0e14\u0e35<\/td><td>\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07<\/td><\/tr><tr><td>Si\u2083N\u2084 (\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c)<\/td><td>20\u201390<\/td><td>\u0e14\u0e35<\/td><td>\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/td><td>\u0e14\u0e35<\/td><td>\u0e41\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e48\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e25\u0e44\u0e01<\/td><\/tr><tr><td>AlN (\u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u0e21\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c)<\/td><td>140\u2013180<\/td><td>\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/td><td>\u0e14\u0e35<\/td><td>\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07<\/td><td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 (ESC)<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">4. \u0e41\u0e1c\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e14 \u2192 \u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u0e21\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c \/ \u0e22\u0e32\u0e40\u0e25\u0e35\u0e22\u0e21\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e01\u0e15\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e19 \u2192 Al\u2082O\u2083 \/ SiC<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32 \u2192 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a Y\u2082O\u2083<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e41\u0e02\u0e19\u0e2b\u0e38\u0e48\u0e19\u0e22\u0e19\u0e15\u0e4c \u2192 Si\u2083N\u2084 \/ SiC<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e39\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28 \u2192 \u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u0e21\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c (Al\u2082O\u2083) \/ \u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u0e21\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c (AlN)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e23\u0e32\u0e07\u0e19\u0e33\u0e17\u0e32\u0e07 \u2192 SiC \/ Si\u2083N\u2084<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>ESC (Electrostatic Chuck) \u2192 AlN \/ Al\u2082O\u2083<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 \u2192 \u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u0e21\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e17\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e22\u0e47\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33 \u2192 \u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u0e21\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c (Al\u2082O\u2083) \/ \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c (SiC)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">5. \u0e04\u0e39\u0e48\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38 (\u0e21\u0e38\u0e21\u0e21\u0e2d\u0e07\u0e17\u0e32\u0e07\u0e27\u0e34\u0e28\u0e27\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21)<\/h2>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>\u0e41\u0e2d\u0e1b\u0e1e\u0e25\u0e34\u0e40\u0e04\u0e0a\u0e31\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e04\u0e33\u0e19\u0e36\u0e07\u0e16\u0e36\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19\u0e17\u0e38\u0e19 \u2192 Al\u2082O\u2083<\/strong><\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32 \u2192 Y\u2082O\u2083<\/strong><\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07 \u2192 \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c<\/strong><\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e42\u0e2b\u0e25\u0e14\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e01\u0e25\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19 \u2192 Si\u2083N\u2084<\/strong><\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 \u2192 \u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u0e21\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c<\/strong><\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">6. \u0e41\u0e19\u0e27\u0e42\u0e19\u0e49\u0e21\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e19\u0e32\u0e04\u0e15: \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e44\u0e2e\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e14<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e23\u0e38\u0e48\u0e19\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e44\u0e1b\u0e2a\u0e39\u0e48:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a (Al\u2082O\u2083 + Y\u2082O\u2083)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e41\u0e1e\u0e25\u0e15\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e21\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07 SiC<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07 AlN<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e0a\u0e38\u0e14\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e44\u0e2e\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e14\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e41\u0e19\u0e27\u0e42\u0e19\u0e49\u0e21\u0e19\u0e35\u0e49\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e2d\u0e32\u0e22\u0e38\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e35\u0e19\u0e31\u0e22\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">\u0e2a\u0e23\u0e38\u0e1b<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e44\u0e14\u0e49\u0e01\u0e25\u0e32\u0e22\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e41\u0e01\u0e19\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c. \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e41\u0e15\u0e48\u0e25\u0e30\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14\u0e21\u0e35\u0e1a\u0e17\u0e1a\u0e32\u0e17\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e17\u0e32\u0e07\u2014\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e41\u0e15\u0e48\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e19\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e38\u0e19\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e44\u0e1b\u0e08\u0e19\u0e16\u0e36\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e42\u0e14\u0e22\u0e15\u0e23\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e2d\u0e32\u0e22\u0e38\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e1c\u0e25\u0e15\u0e2d\u0e1a\u0e41\u0e17\u0e19<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e48\u0e32\u0e1a\u0e33\u0e23\u0e38\u0e07\u0e23\u0e31\u0e01\u0e29\u0e32<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">\u0e04\u0e33\u0e02\u0e2d <a href=\"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/%e0%b8%9c%e0%b8%a5%e0%b8%b4%e0%b8%95%e0%b8%a0%e0%b8%b1%e0%b8%93%e0%b8%91%e0%b9%8c\/\"><mark style=\"background-color:rgba(0, 0, 0, 0);color:#0693e3\" class=\"has-inline-color\">\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e15\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e31\u0e48\u0e07<\/mark><\/a><\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e40\u0e23\u0e32\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e01\u0e32\u0e23:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e19\u0e32 (Al\u2082O\u2083)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c (SiC)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c (Si\u2083N\u2084)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e23\u0e15\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u0e21\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c (AlN)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a Yttria (Y\u2082O\u2083)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\ud83d\udc49 \u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e15\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e31\u0e48\u0e07, \u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e25\u0e36\u0e07, \u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e14\u0e40\u0e07\u0e32, \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a, \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e19\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e38\u0e19\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e27\u0e34\u0e28\u0e27\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e01\u0e32\u0e23.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>In modern semiconductor manufacturing equipment, advanced ceramics are no longer optional components\u2014they are critical enabling materials that determine precision, stability, and process reliability. 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This article introduces the most widely used semiconductor-grade ceramics and provides 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