{"id":2036,"date":"2026-05-08T05:18:41","date_gmt":"2026-05-08T05:18:41","guid":{"rendered":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/?p=2036"},"modified":"2026-05-08T05:19:21","modified_gmt":"2026-05-08T05:19:21","slug":"advanced-ceramic-components-in-semiconductor-manufacturing-electrostatic-chuck-principles-and-trends","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/advanced-ceramic-components-in-semiconductor-manufacturing-electrostatic-chuck-principles-and-trends\/","title":{"rendered":"\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c: \u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e19\u0e27\u0e42\u0e19\u0e49\u0e21\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e22\u0e36\u0e14\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15"},"content":{"rendered":"<h2 class=\"wp-block-heading\">1. \u0e1a\u0e17\u0e19\u0e33: \u0e1a\u0e17\u0e1a\u0e32\u0e17\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2a\u0e21\u0e31\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e15\u0e49\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e27\u0e30\u0e17\u0e35\u0e48\u0e23\u0e38\u0e19\u0e41\u0e23\u0e07 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28 \u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e31\u0e21\u0e1c\u0e31\u0e2a\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e2b\u0e27\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e14\u0e31\u0e49\u0e07\u0e40\u0e14\u0e34\u0e21\u0e21\u0e31\u0e01\u0e44\u0e21\u0e48\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e15\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e23\u0e27\u0e21\u0e01\u0e31\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e09\u0e19\u0e27\u0e19\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e27\u0e34\u0e28\u0e27\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u2014\u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e19\u0e32 (Al\u2082O\u2083), \u0e2d\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u0e21\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c (AlN) \u0e41\u0e25\u0e30\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c (SiC)\u2014\u0e08\u0e36\u0e07\u0e01\u0e25\u0e32\u0e22\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e17\u0e35\u0e48\u0e08\u0e33\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d \u0e2b\u0e25\u0e31\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e25\u0e36\u0e07\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01 \u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e16\u0e39\u0e01\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d \u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e16\u0e48\u0e32\u0e22\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e41\u0e2a\u0e07 (lithography), \u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19 (etching), \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e1a\u0e32\u0e07 (thin-film deposition), \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19 (ion implantation) \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e14\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e01\u0e25 (chemical mechanical planarization, CMP).<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e43\u0e19\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e14\u0e32\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49 \u0e2b\u0e31\u0e27\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15 (ESC) \u0e16\u0e37\u0e2d\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2b\u0e19\u0e36\u0e48\u0e07\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e1f\u0e31\u0e07\u0e01\u0e4c\u0e0a\u0e31\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14.<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image aligncenter size-full\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"426\" height=\"238\" src=\"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Electrostatic-Chuck-Principles-and-Trends-1.png\" alt=\"\" class=\"wp-image-2038\" srcset=\"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Electrostatic-Chuck-Principles-and-Trends-1.png 426w, https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Electrostatic-Chuck-Principles-and-Trends-1-300x168.png 300w, https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Electrostatic-Chuck-Principles-and-Trends-1-18x10.png 18w\" sizes=\"(max-width: 426px) 100vw, 426px\" \/><\/figure>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">2. \u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">An <a href=\"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/%e0%b8%9c%e0%b8%a5%e0%b8%b4%e0%b8%95%e0%b8%a0%e0%b8%b1%e0%b8%93%e0%b8%91%e0%b9%8c\/\" data-type=\"page\" data-id=\"1921\">\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15<\/a> \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e25\u0e30\u0e22\u0e36\u0e14\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e21\u0e32\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32 \u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e22\u0e36\u0e14\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e01\u0e36\u0e48\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e19\u0e33\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1a\u0e32\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e31\u0e48\u0e19\u0e04\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e42\u0e14\u0e22\u0e44\u0e21\u0e48\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e31\u0e21\u0e1c\u0e31\u0e2a\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e25.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e21\u0e31\u0e19\u0e16\u0e39\u0e01\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32 (ETCH)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e44\u0e2d\u0e2a\u0e32\u0e23 (Physical Vapor Deposition)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e44\u0e2d\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2a\u0e23\u0e34\u0e21\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32 (PECVD)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e34\u0e21\u0e1e\u0e4c\u0e25\u0e32\u0e22\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e41\u0e2a\u0e07\u0e2d\u0e31\u0e25\u0e15\u0e23\u0e32\u0e44\u0e27\u0e42\u0e2d\u0e40\u0e25\u0e15\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 (EUVL)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49 \u0e40\u0e27\u0e34\u0e23\u0e4c\u0e01\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e07\u0e32\u0e19\u0e08\u0e30\u0e16\u0e39\u0e01\u0e2a\u0e31\u0e21\u0e1c\u0e31\u0e2a\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e20\u0e32\u0e23\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 \u0e14\u0e31\u0e07\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19 \u0e08\u0e32\u0e19\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15\u0e08\u0e30\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e31\u0e19\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e25\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3. \u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19: \u0e41\u0e23\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e42\u0e14\u0e22\u0e2d\u0e32\u0e28\u0e31\u0e22\u0e41\u0e23\u0e07\u0e14\u0e36\u0e07\u0e14\u0e39\u0e14\u0e17\u0e32\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e08\u0e32\u0e01\u0e2a\u0e19\u0e32\u0e21\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32 \u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e08\u0e38\u0e15\u0e23\u0e07\u0e02\u0e49\u0e32\u0e21\u0e01\u0e31\u0e19\u0e08\u0e30\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e41\u0e23\u0e07\u0e14\u0e36\u0e07\u0e14\u0e39\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e36\u0e14\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e31\u0e48\u0e19\u0e04\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e2a\u0e31\u0e21\u0e1e\u0e31\u0e19\u0e18\u0e4c\u0e17\u0e32\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e10\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e2d\u0e18\u0e34\u0e1a\u0e32\u0e22\u0e44\u0e14\u0e49\u0e14\u0e31\u0e07\u0e19\u0e35\u0e49:<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><math xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1998\/Math\/MathML\"><semantics><mrow><mi>F<\/mi><mo>=<\/mo><mi>k<\/mi><mfrac><mrow><msub><mi>q<\/mi><mn>1<\/mn><\/msub><msub><mi>q<\/mi><mn>2<\/mn><\/msub><\/mrow><msup><mi>r<\/mi><mn>2<\/mn><\/msup><\/mfrac><\/mrow><annotation encoding=\"application\/x-tex\">F = k \\frac{q_1 q_2}{r^2}<\/annotation><\/semantics><\/math>F=kr2q1\u200bq2\u200b\u200b<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><math xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1998\/Math\/MathML\"><semantics><mrow><msub><mi>q<\/mi><mn>1<\/mn><\/msub><\/mrow><annotation encoding=\"application\/x-tex\">q_1<\/annotation><\/semantics><\/math>q1<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><math xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1998\/Math\/MathML\"><semantics><mrow><msub><mi>q<\/mi><mn>2<\/mn><\/msub><\/mrow><annotation encoding=\"application\/x-tex\">q_2<\/annotation><\/semantics><\/math>q2<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><math xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1998\/Math\/MathML\"><semantics><mrow><mi>r<\/mi><\/mrow><annotation encoding=\"application\/x-tex\">r<\/annotation><\/semantics><\/math>r<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><math xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1998\/Math\/MathML\"><semantics><mrow><mi>F<\/mi><mo>=<\/mo><mi>k<\/mi><mfrac><mrow><msub><mi>q<\/mi><mn>1<\/mn><\/msub><msub><mi>q<\/mi><mn>2<\/mn><\/msub><\/mrow><msup><mi>r<\/mi><mn>2<\/mn><\/msup><\/mfrac><mo>\u2248<\/mo><mo>\u2212<\/mo><mn>5.06<\/mn><\/mrow><annotation encoding=\"application\/x-tex\">F = k\\frac{q_1 q_2}{r^2} \\approx -5.06<\/annotation><\/semantics><\/math>F=kr2q1\u200bq2\u200b\u200b\u2248\u22125.06+-<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><math xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1998\/Math\/MathML\"><semantics><mrow><mi>F<\/mi><\/mrow><annotation encoding=\"application\/x-tex\">F<\/annotation><\/semantics><\/math>F: \u0e41\u0e23\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15<\/li>\n\n\n\n<li><math xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1998\/Math\/MathML\"><semantics><mrow><msub><mi>q<\/mi><mn>1<\/mn><\/msub><mo separator=\"true\">,<\/mo><msub><mi>q<\/mi><mn>2<\/mn><\/msub><\/mrow><annotation encoding=\"application\/x-tex\">q_1, q_2<\/annotation><\/semantics><\/math>q1, q2: \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e08\u0e38\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32<\/li>\n\n\n\n<li><math xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1998\/Math\/MathML\"><semantics><mrow><mi>r<\/mi><\/mrow><annotation encoding=\"application\/x-tex\">r<\/annotation><\/semantics><\/math>r: \u0e23\u0e30\u0e22\u0e30\u0e2b\u0e48\u0e32\u0e07\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e08\u0e38<\/li>\n\n\n\n<li><math xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1998\/Math\/MathML\"><semantics><mrow><mi>k<\/mi><\/mrow><annotation encoding=\"application\/x-tex\">k<\/annotation><\/semantics><\/math>k: \u0e04\u0e48\u0e32\u0e04\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e42\u0e04\u0e25\u0e2d\u0e21\u0e1a\u0e4c<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e2b\u0e19\u0e35\u0e1a\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15\u0e42\u0e14\u0e22\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e44\u0e14\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e34\u0e01<\/strong>: \u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e04\u0e48\u0e32\u0e09\u0e19\u0e27\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e2a\u0e19\u0e32\u0e21\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e42\u0e17\u0e23\u0e14<\/strong>: \u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e19\u0e32\u0e21\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e10\u0e32\u0e19<\/strong>: \u0e43\u0e2b\u0e49\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e19\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e38\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e25\u0e44\u0e01\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e20\u0e32\u0e23\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e22\u0e47\u0e19\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e07\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e2e\u0e35\u0e40\u0e25\u0e35\u0e22\u0e21\u0e21\u0e31\u0e01\u0e16\u0e39\u0e01\u0e19\u0e33\u0e21\u0e32\u0e43\u0e0a\u0e49 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e16\u0e48\u0e32\u0e22\u0e40\u0e17\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0a\u0e31\u0e04.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">4. \u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e33\u0e41\u0e19\u0e01\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17: ESC \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e04\u0e39\u0e25\u0e2d\u0e21\u0e1a\u0e4c \u0e41\u0e25\u0e30 ESC \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e08\u0e2d\u0e2b\u0e4c\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e19-\u0e23\u0e32\u0e2b\u0e4c\u0e40\u0e1a\u0e04<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e42\u0e14\u0e22\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e48\u0e07\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e15\u0e32\u0e21\u0e1e\u0e24\u0e15\u0e34\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32:<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">(1) ESC \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e42\u0e27\u0e25\u0e2d\u0e21\u0e1a\u0e4c<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e19\u0e35\u0e49\u0e2d\u0e32\u0e28\u0e31\u0e22\u0e41\u0e23\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15\u0e40\u0e1e\u0e35\u0e22\u0e07\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e40\u0e14\u0e35\u0e22\u0e27\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e22\u0e36\u0e14\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e21\u0e35\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e07\u0e48\u0e32\u0e22\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e41\u0e15\u0e48\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e41\u0e23\u0e07\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e22\u0e36\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e48\u0e33\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e2d\u0e37\u0e48\u0e19.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">(2) \u0e08\u0e2d\u0e2b\u0e4c\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e19\u2013\u0e23\u0e32\u0e2b\u0e4c\u0e40\u0e1a\u0e04 (J-R) \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17 ESC<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14\u0e19\u0e35\u0e49\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e44\u0e14\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e34\u0e01 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e1c\u0e25\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e44\u0e23\u0e0b\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e41\u0e23\u0e07\u0e2b\u0e19\u0e35\u0e1a.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01 \u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e41\u0e23\u0e07\u0e2b\u0e19\u0e35\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e41\u0e23\u0e07\u0e14\u0e31\u0e19\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e15\u0e48\u0e33\u0e25\u0e07<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e31\u0e21\u0e1c\u0e31\u0e2a\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e17\u0e35\u0e48\u0e14\u0e35\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e42\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e44\u0e23\u0e01\u0e47\u0e15\u0e32\u0e21 \u0e08\u0e33\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e17\u0e35\u0e48\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e21\u0e32\u0e01\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">5. \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e41\u0e25\u0e30\u0e25\u0e31\u0e01\u0e29\u0e13\u0e30\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e25\u0e32\u0e14<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e02\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e42\u0e14\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e23\u0e27\u0e14\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e42\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e15\u0e25\u0e32\u0e14\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e22\u0e36\u0e14\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e08\u0e36\u0e07\u0e22\u0e31\u0e07\u0e04\u0e07\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e25\u0e31\u0e01\u0e29\u0e13\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22:<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">(1) \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e2a\u0e23\u0e23\u0e04\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e19\u0e35\u0e49\u0e1c\u0e2a\u0e32\u0e19\u0e27\u0e34\u0e17\u0e22\u0e32\u0e28\u0e32\u0e2a\u0e15\u0e23\u0e4c\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38, \u0e27\u0e34\u0e28\u0e27\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32, \u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19, \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e25\u0e36\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">(2) \u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e38\u0e01\u0e15\u0e31\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e25\u0e32\u0e14\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e15\u0e25\u0e32\u0e14\u0e42\u0e25\u0e01\u0e16\u0e39\u0e01\u0e04\u0e23\u0e2d\u0e1a\u0e07\u0e33\u0e42\u0e14\u0e22\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e08\u0e33\u0e19\u0e27\u0e19\u0e08\u0e33\u0e01\u0e31\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e2a\u0e32\u0e19\u0e23\u0e27\u0e21\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e01\u0e23\u0e48\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">(3) \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e0a\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27\u0e0a\u0e32\u0e0d\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e20\u0e32\u0e04<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e44\u0e2e\u0e40\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e02\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e43\u0e19\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e20\u0e32\u0e04\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e43\u0e19\u0e02\u0e13\u0e30\u0e17\u0e35\u0e48\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e22\u0e49\u0e32\u0e22\u0e10\u0e32\u0e19\u0e44\u0e1b\u0e22\u0e31\u0e07\u0e40\u0e2d\u0e40\u0e0a\u0e35\u0e22\u0e21\u0e32\u0e01\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e40\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e46.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">(4) \u0e41\u0e19\u0e27\u0e42\u0e19\u0e49\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e17\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e16\u0e34\u0e48\u0e19<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e19\u0e34\u0e40\u0e27\u0e28\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e08\u0e38\u0e01\u0e14\u0e39\u0e14\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15\u0e43\u0e19\u0e17\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e16\u0e34\u0e48\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e23\u0e34\u0e48\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e32\u0e01\u0e0f\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19 \u0e41\u0e21\u0e49\u0e27\u0e48\u0e32\u0e08\u0e30\u0e22\u0e31\u0e07\u0e04\u0e07\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e49\u0e32\u0e17\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e48\u0e32\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e16\u0e37\u0e2d\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e22\u0e30\u0e22\u0e32\u0e27\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">6. \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e19\u0e27\u0e42\u0e19\u0e49\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e19\u0e32\u0e04\u0e15<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e19\u0e32\u0e04\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e22\u0e36\u0e14\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e08\u0e30\u0e21\u0e38\u0e48\u0e07\u0e40\u0e19\u0e49\u0e19\u0e44\u0e1b\u0e17\u0e35\u0e48:<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">(1) \u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e48\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38 AlN \u0e41\u0e25\u0e30 SiC \u0e17\u0e35\u0e48\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">(2) \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e41\u0e19\u0e48\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e48\u0e33<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e25\u0e14\u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e1b\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">(3) \u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e04\u0e2d\u0e21\u0e42\u0e1e\u0e2a\u0e34\u0e15\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e21\u0e14\u0e38\u0e25\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e09\u0e19\u0e27\u0e19\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e23\u0e07\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e25 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">(4) \u0e2d\u0e32\u0e22\u0e38\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e32\u0e27\u0e19\u0e32\u0e19\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e41\u0e1b\u0e25\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e08\u0e32\u0e01\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e25\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e16\u0e35\u0e48\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">7. \u0e1a\u0e17\u0e2a\u0e23\u0e38\u0e1b<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32 \u0e43\u0e19\u0e10\u0e32\u0e19\u0e30\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e1f\u0e31\u0e07\u0e01\u0e4c\u0e0a\u0e31\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e1c\u0e2a\u0e32\u0e19\u0e28\u0e32\u0e2a\u0e15\u0e23\u0e4c\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e27\u0e34\u0e28\u0e27\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e42\u0e14\u0e22\u0e15\u0e23\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e1c\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e22\u0e31\u0e07\u0e04\u0e07\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e44\u0e1b\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e25\u0e07 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e19\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e08\u0e30\u0e22\u0e31\u0e07\u0e04\u0e07\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e08\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e41\u0e23\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e31\u0e01\u0e14\u0e31\u0e19\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e19\u0e27\u0e31\u0e15\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48 \u0e46 \u0e43\u0e19\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>1. Introduction: Role of Advanced Ceramics in Semiconductor Equipment In modern semiconductor manufacturing, equipment operates under extreme conditions such as vacuum environments, high temperatures, plasma exposure, and ultra-precision motion control. Traditional metallic materials often fail to meet the combined requirements of stability, cleanliness, electrical insulation, and thermal management. Advanced engineering ceramics\u2014such as alumina (Al\u2082O\u2083), aluminum [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":2038,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[3],"tags":[46,37,102,96,91,68,103,93,92,101,95,89,98,55,90,78,94,100,97,99],"class_list":["post-2036","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-industry-news","tag-advanced-ceramics","tag-alumina-ceramics","tag-aluminum-nitride","tag-coulomb-force","tag-dielectric-materials","tag-electrostatic-chuck","tag-esc","tag-etching-process","tag-helium-cooling","tag-ion-implantation","tag-johnsen-rahbek","tag-plasma-process","tag-precision-machining","tag-semiconductor","tag-semiconductor-equipment","tag-silicon-carbide","tag-thermal-management","tag-thin-film-deposition","tag-vacuum-environment","tag-wafer-handling"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2036","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2036"}],"version-history":[{"count":2,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2036\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2040,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2036\/revisions\/2040"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2038"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2036"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2036"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2036"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}