{"id":2021,"date":"2026-05-08T03:28:50","date_gmt":"2026-05-08T03:28:50","guid":{"rendered":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/?p=2021"},"modified":"2026-05-08T03:28:50","modified_gmt":"2026-05-08T03:28:50","slug":"silicon-carbide-sic-ceramics-in-the-semiconductor-industry-applications-properties-and-future-outlook","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/silicon-carbide-sic-ceramics-in-the-semiconductor-industry-applications-properties-and-future-outlook\/","title":{"rendered":"\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19 (SiC) \u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c: \u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19, \u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34, 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\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e17\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e01\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e2b\u0e48\u0e27\u0e07\u0e42\u0e0b\u0e48\u0e04\u0e38\u0e13\u0e04\u0e48\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e41\u0e15\u0e48\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15 \u0e44\u0e1b\u0e08\u0e19\u0e16\u0e36\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e10\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e20\u0e31\u0e13\u0e11\u0e4c.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">2. 2.1 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c SiC \u0e43\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2.1 \u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01 SiC \u0e16\u0e39\u0e01\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e17\u0e35\u0e48\u0e23\u0e38\u0e19\u0e41\u0e23\u0e07 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e44\u0e2d\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35 (CVD) \u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e1a\u0e38\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e27\u0e07\u0e41\u0e2b\u0e27\u0e19\u0e42\u0e1f\u0e01\u0e31\u0e2a<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e16\u0e32\u0e14\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e14\u0e40\u0e07\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e35\u0e22\u0e23\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19 (\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a CVD-SiC)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><strong>\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01:<\/strong><\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e15\u0e48\u0e33<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e17\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e36\u0e01\u0e2b\u0e23\u0e2d<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e15\u0e49\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e27\u0e30\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e23\u0e38\u0e19\u0e41\u0e23\u0e07<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e21\u0e31\u0e48\u0e19\u0e43\u0e08\u0e16\u0e36\u0e07\u0e2d\u0e32\u0e22\u0e38\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e32\u0e27\u0e19\u0e32\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e42\u0e14\u0e22\u0e15\u0e23\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2.2 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e0a\u0e34\u0e1b\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e41\u0e19\u0e48\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e0a\u0e34\u0e1b\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e32\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e25\u0e32\u0e22\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e08\u0e33\u0e01\u0e31\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d \u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01 SiC \u0e16\u0e39\u0e01\u0e19\u0e33\u0e21\u0e32\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e21\u0e32\u0e01\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e10\u0e32\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2d\u0e34\u0e19\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e42\u0e1e\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e34\u0e19\u0e40\u0e17\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e1f\u0e0b\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">SiC \u0e41\u0e2a\u0e14\u0e07\u0e04\u0e48\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01 (\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e16\u0e36\u0e07 ~490 W\/m\u00b7K \u0e43\u0e19\u0e1a\u0e32\u0e07\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a) \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e19\u0e32\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e35\u0e19\u0e31\u0e22\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d \u0e19\u0e2d\u0e01\u0e08\u0e32\u0e01\u0e19\u0e35\u0e49 \u0e04\u0e48\u0e32\u0e2a\u0e31\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 (CTE) \u0e02\u0e2d\u0e07 SiC \u0e22\u0e31\u0e07\u0e43\u0e01\u0e25\u0e49\u0e40\u0e04\u0e35\u0e22\u0e07\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e21\u0e32\u0e01 \u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e25\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e04\u0e49\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e2a\u0e21\u0e1c\u0e2a\u0e32\u0e19\u0e19\u0e35\u0e49\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e40\u0e2a\u0e23\u0e34\u0e21:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e48\u0e32\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e16\u0e37\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e1e\u0e47\u0e01\u0e40\u0e01\u0e08<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2d\u0e32\u0e22\u0e38\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e15\u0e49\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2.3 \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e20\u0e31\u0e13\u0e11\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c (SiC) \u0e22\u0e31\u0e07\u0e16\u0e39\u0e01\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e10\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e20\u0e31\u0e13\u0e11\u0e4c\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e23\u0e2d\u0e07 Direct Bonded Copper (DBC)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e23\u0e15\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e21\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e27\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e41\u0e2d\u0e04\u0e17\u0e35\u0e1f (AMB)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><strong>\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e14\u0e35 \u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48:<\/strong><\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e23\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e44\u0e14\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e01\u0e23\u0e48\u0e07\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e25\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e14\u0e35\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e0a\u0e34\u0e1b\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29\u0e43\u0e19\u0e41\u0e2d\u0e1b\u0e1e\u0e25\u0e34\u0e40\u0e04\u0e0a\u0e31\u0e19\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e22\u0e32\u0e19\u0e1e\u0e32\u0e2b\u0e19\u0e30\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32 \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2b\u0e21\u0e38\u0e19\u0e40\u0e27\u0e35\u0e22\u0e19 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e02\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">2.4 \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c (SiC) \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e10\u0e32\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e19\u0e2d\u0e01\u0e40\u0e2b\u0e19\u0e37\u0e2d\u0e08\u0e32\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e41\u0e25\u0e49\u0e27 \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c (SiC) \u0e22\u0e31\u0e07\u0e17\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e01\u0e36\u0e48\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e19\u0e33\u0e42\u0e14\u0e22\u0e15\u0e23\u0e07\u0e43\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e40\u0e14\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27 4H-SiC.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e22\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e0a\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e01\u0e27\u0e49\u0e32\u0e07 (~3.2 eV)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2a\u0e19\u0e32\u0e21\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e15\u0e01\u0e15\u0e31\u0e27<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e34\u0e48\u0e21\u0e15\u0e31\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e15\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49 SiC \u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e23\u0e07\u0e14\u0e31\u0e19, \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e16\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07, \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 MOSFETs \u0e41\u0e25\u0e30\u0e44\u0e14\u0e42\u0e2d\u0e14 Schottky.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3. \u0e02\u0e49\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e17\u0e32\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c SiC<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">3.1 \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2b\u0e19\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01 SiC \u0e41\u0e2a\u0e14\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21 \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e21\u0e35\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e \u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e23\u0e27\u0e21\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e31\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19 SiC \u0e08\u0e30\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e25\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e04\u0e23\u0e35\u0e22\u0e14\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e48\u0e32\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e16\u0e37\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e41\u0e1b\u0e25\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">3.2 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e04\u0e07\u0e17\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e25\u0e41\u0e25\u0e30\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e36\u0e01\u0e2b\u0e23\u0e2d\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e17\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e08\u0e32\u0e01\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e14\u0e35\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e21\u0e31\u0e48\u0e19\u0e04\u0e07\u0e17\u0e32\u0e07\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e15\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e23\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e17\u0e33\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e25<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49 SiC \u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e23\u0e30\u0e22\u0e30\u0e22\u0e32\u0e27\u0e43\u0e19\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">3.3 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e09\u0e19\u0e27\u0e19\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01 SiC \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e01\u0e32\u0e23\u0e09\u0e19\u0e27\u0e19\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21 \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e08\u0e38\u0e20\u0e31\u0e13\u0e11\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e41\u0e22\u0e01\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">3.4 \u0e28\u0e31\u0e01\u0e22\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e16\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e41\u0e21\u0e49\u0e27\u0e48\u0e32\u0e42\u0e14\u0e22\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e41\u0e25\u0e49\u0e27\u0e08\u0e30\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e43\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e01\u0e23\u0e13\u0e35 \u0e41\u0e15\u0e48\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e42\u0e14\u0e22\u0e18\u0e23\u0e23\u0e21\u0e0a\u0e32\u0e15\u0e34\u0e02\u0e2d\u0e07 SiC \u0e22\u0e31\u0e07\u0e2a\u0e19\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e38\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e16\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a RF \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">4. \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e49\u0e32\u0e17\u0e32\u0e22\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e41\u0e21\u0e49\u0e08\u0e30\u0e21\u0e35\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a \u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01 SiC \u0e22\u0e31\u0e07\u0e40\u0e1c\u0e0a\u0e34\u0e0d\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e2a\u0e23\u0e23\u0e04\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23:<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">4.1 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e15\u0e49\u0e19\u0e17\u0e38\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e07\u0e27\u0e31\u0e15\u0e16\u0e38\u0e14\u0e34\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1c\u0e32\u0e1c\u0e19\u0e36\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e07\u0e27\u0e14\u0e41\u0e25\u0e30\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e1b\u0e31\u0e08\u0e08\u0e31\u0e22\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e15\u0e49\u0e19\u0e17\u0e38\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e08\u0e33\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e44\u0e1b\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19\u0e27\u0e07\u0e01\u0e27\u0e49\u0e32\u0e07\u0e43\u0e19\u0e41\u0e2d\u0e1b\u0e1e\u0e25\u0e34\u0e40\u0e04\u0e0a\u0e31\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e04\u0e33\u0e19\u0e36\u0e07\u0e16\u0e36\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19\u0e17\u0e38\u0e19.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">4.2 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e22\u0e32\u0e01\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e31\u0e14\u0e40\u0e09\u0e37\u0e2d\u0e19<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01 SiC \u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01 (\u0e42\u0e14\u0e22\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b &gt;90 HRA) \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e22\u0e32\u0e01\u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e35\u0e04\u0e48\u0e32\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e08\u0e48\u0e32\u0e22\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e36\u0e01\u0e2b\u0e23\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e23\u0e38\u0e19\u0e41\u0e23\u0e07 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1b\u0e23\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e15\u0e48\u0e33 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e17\u0e23\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e1c\u0e19\u0e31\u0e07\u0e1a\u0e32\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e19\u0e35\u0e49\u0e19\u0e33\u0e44\u0e1b\u0e2a\u0e39\u0e48:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e40\u0e27\u0e25\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e15\u0e49\u0e19\u0e17\u0e38\u0e19\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e1c\u0e25\u0e15\u0e2d\u0e1a\u0e41\u0e17\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e48\u0e33\u0e25\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">5. \u0e41\u0e19\u0e27\u0e42\u0e19\u0e49\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e19\u0e32\u0e04\u0e15<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e19\u0e32\u0e04\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01 SiC \u0e43\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e08\u0e30\u0e21\u0e38\u0e48\u0e07\u0e40\u0e19\u0e49\u0e19\u0e44\u0e1b\u0e17\u0e35\u0e48\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e32\u0e25\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e4c\u0e2a\u0e21\u0e23\u0e23\u0e16\u0e19\u0e30\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e17\u0e32\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19\u0e17\u0e38\u0e19. \u0e17\u0e34\u0e28\u0e17\u0e32\u0e07\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48:<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">5.1 \u0e27\u0e34\u0e28\u0e27\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e1c\u0e2a\u0e21<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e04\u0e2d\u0e21\u0e42\u0e1e\u0e2a\u0e34\u0e15\u0e40\u0e2a\u0e23\u0e34\u0e21\u0e43\u0e22 SiC<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e44\u0e2e\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e14\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01-\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e41\u0e19\u0e27\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e21\u0e35\u0e27\u0e31\u0e15\u0e16\u0e38\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e07\u0e04\u0e4c\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2b\u0e19\u0e35\u0e22\u0e27\u0e41\u0e25\u0e30\u0e25\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e32\u0e30\u0e1a\u0e32\u0e07.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">5.2 \u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1c\u0e32\u0e1c\u0e19\u0e36\u0e01\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e2d\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e40\u0e08\u0e25<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e15\u0e34\u0e21\u0e40\u0e19\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38 (\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e34\u0e21\u0e1e\u0e4c\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e21\u0e34\u0e15\u0e34\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e25\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2b\u0e14\u0e15\u0e31\u0e27\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e34\u0e14\u0e40\u0e1a\u0e35\u0e49\u0e22\u0e27<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e19\u0e27\u0e31\u0e15\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e21\u0e35\u0e27\u0e31\u0e15\u0e16\u0e38\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e07\u0e04\u0e4c\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e41\u0e25\u0e30\u0e25\u0e14\u0e04\u0e48\u0e32\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e08\u0e48\u0e32\u0e22\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">5.3 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e35\u0e44\u0e0b\u0e40\u0e04\u0e34\u0e25\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e0a\u0e35\u0e27\u0e34\u0e15<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e39\u0e49\u0e04\u0e37\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e01\u0e25\u0e31\u0e1a\u0e21\u0e32\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19 SiC 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class=\"wp-block-paragraph\">\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e16\u0e37\u0e2d\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2b\u0e19\u0e36\u0e48\u0e07\u0e43\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e43\u0e19\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2a\u0e21\u0e31\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e2a\u0e21\u0e1c\u0e2a\u0e32\u0e19\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e2d\u0e01\u0e25\u0e31\u0e01\u0e29\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e43\u0e19\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 \u0e01\u0e25\u0e44\u0e01 \u0e40\u0e04\u0e21\u0e35 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