{"id":2018,"date":"2026-05-08T03:14:11","date_gmt":"2026-05-08T03:14:11","guid":{"rendered":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/?p=2018"},"modified":"2026-05-08T03:14:11","modified_gmt":"2026-05-08T03:14:11","slug":"precision-ceramics-in-semiconductor-equipment-core-roles-and-industry-development-trends","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/precision-ceramics-in-semiconductor-equipment-core-roles-and-industry-development-trends\/","title":{"rendered":"\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c: \u0e1a\u0e17\u0e1a\u0e32\u0e17\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e19\u0e27\u0e42\u0e19\u0e49\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21"},"content":{"rendered":"

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\"\"<\/figure>\n\n\n\n

2. \u0e17\u0e33\u0e44\u0e21\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e08\u0e36\u0e07\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/h2>\n\n\n\n

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  • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35<\/li>\n\n\n\n
  • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04<\/li>\n\n\n\n
  • \u0e1b\u0e31\u0e0d\u0e2b\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32<\/li>\n\n\n\n
  • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e36\u0e01\u0e2b\u0e23\u0e2d\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2b\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e25\u0e49\u0e32<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

    \u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e44\u0e23\u0e01\u0e47\u0e15\u0e32\u0e21 \u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e21\u0e2d\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e2d\u0e01\u0e25\u0e31\u0e01\u0e29\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e15\u0e31\u0e27:<\/p>\n\n\n\n

      \n
    • \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e36\u0e01\u0e2b\u0e23\u0e2d<\/li>\n\n\n\n
    • \u0e09\u0e19\u0e27\u0e19\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/li>\n\n\n\n
    • \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2b\u0e19\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32<\/li>\n\n\n\n
    • \u0e2a\u0e31\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e15\u0e48\u0e33<\/li>\n\n\n\n
    • \u0e17\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32\u0e44\u0e14\u0e49\u0e14\u0e35\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/li>\n\n\n\n
    • \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e01\u0e23\u0e48\u0e07\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e04\u0e07\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

      \u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e25\u0e34\u0e42\u0e18\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35, \u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19, \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e30\u0e2a\u0e21, \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19, \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19.<\/p>\n\n\n\n

      3. \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/h2>\n\n\n\n

      3.1 \u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e19\u0e32 (Al\u2082O\u2083)<\/h3>\n\n\n\n

      \u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e19\u0e32\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e01\u0e31\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e04\u0e38\u0e49\u0e21\u0e04\u0e48\u0e32 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1b\u0e23\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e41\u0e25\u0e49\u0e27.<\/p>\n\n\n\n

      \u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22:<\/p>\n\n\n\n

        \n
      • \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e1a\u0e38\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e01\u0e30\u0e2a\u0e25\u0e31\u0e01\u0e41\u0e25\u0e30\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e31\u0e19<\/li>\n\n\n\n
      • \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b<\/li>\n\n\n\n
      • \u0e2b\u0e31\u0e27\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28<\/li>\n\n\n\n
      • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e14\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a CMP<\/li>\n\n\n\n
      • \u0e41\u0e2b\u0e27\u0e19\u0e09\u0e19\u0e27\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

        \u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e19\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e07 (\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e38\u0e14 99.9%) \u0e08\u0e33\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07.<\/p>\n\n\n\n

        3.2 \u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19 (SiC)<\/h3>\n\n\n\n

        \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c\u0e16\u0e37\u0e2d\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2b\u0e19\u0e36\u0e48\u0e07\u0e43\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e01\u0e49\u0e32\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c.<\/p>\n\n\n\n

        \u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22:<\/p>\n\n\n\n

          \n
        • \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01 (\u0e42\u0e21\u0e14\u0e39\u0e25\u0e31\u0e2a\u0e22\u0e37\u0e14\u0e2b\u0e22\u0e38\u0e48\u0e19)<\/li>\n\n\n\n
        • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/li>\n\n\n\n
        • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e15\u0e48\u0e33\u0e21\u0e32\u0e01<\/li>\n\n\n\n
        • \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e25\u0e36\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e40\u0e01\u0e23\u0e14\u0e2d\u0e2d\u0e1b\u0e15\u0e34\u0e04\u0e31\u0e25<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

          SiC \u0e16\u0e39\u0e01\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19:<\/p>\n\n\n\n

            \n
          • \u0e41\u0e17\u0e48\u0e19\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e31\u0e01\u0e23\u0e25\u0e34\u0e42\u0e18\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35<\/li>\n\n\n\n
          • \u0e41\u0e1e\u0e25\u0e15\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e2b\u0e27\u0e17\u0e35\u0e48\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33<\/li>\n\n\n\n
          • \u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/li>\n\n\n\n
          • \u0e27\u0e07\u0e41\u0e2b\u0e27\u0e19\u0e42\u0e1f\u0e01\u0e31\u0e2a\u0e41\u0e25\u0e30\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

            \u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e25\u0e34\u0e42\u0e18\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e10\u0e32\u0e19 SiC \u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e31\u0e01\u0e29\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e32\u0e07\u0e15\u0e33\u0e41\u0e2b\u0e19\u0e48\u0e07\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23.<\/p>\n\n\n\n

            3.3 \u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c (Si\u2083N\u2084)<\/h3>\n\n\n\n

            \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e23\u0e39\u0e49\u0e08\u0e31\u0e01\u0e01\u0e31\u0e19\u0e14\u0e35\u0e43\u0e19\u0e40\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e2a\u0e21\u0e1c\u0e2a\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e23\u0e07 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e41\u0e1b\u0e25\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e09\u0e31\u0e1a\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e19.<\/p>\n\n\n\n

            \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e31\u0e19\u0e22\u0e31\u0e07\u0e04\u0e07\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e41\u0e21\u0e49\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32 1200\u00b0C \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e23\u0e38\u0e19\u0e41\u0e23\u0e07.<\/p>\n\n\n\n

            \u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22:<\/p>\n\n\n\n

              \n
            • \u0e15\u0e25\u0e31\u0e1a\u0e25\u0e39\u0e01\u0e1b\u0e37\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n\n\n\n
            • \u0e23\u0e32\u0e07\u0e19\u0e33\u0e17\u0e32\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e02\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19<\/li>\n\n\n\n
            • \u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/li>\n\n\n\n
            • \u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n\n\n\n
            • \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e10\u0e32\u0e19\u0e42\u0e21\u0e14\u0e39\u0e25\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

              \u0e21\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e22\u0e2d\u0e21\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e27\u0e49\u0e32\u0e07\u0e02\u0e27\u0e32\u0e07\u0e27\u0e48\u0e32\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2b\u0e19\u0e36\u0e48\u0e07\u0e43\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e17\u0e32\u0e07\u0e27\u0e34\u0e28\u0e27\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e14\u0e35\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e43\u0e19\u0e17\u0e38\u0e01\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19.<\/p>\n\n\n\n

              3.4 \u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u0e21\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c (AlN)<\/h3>\n\n\n\n

              \u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u0e21\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c\u0e21\u0e35\u0e04\u0e38\u0e13\u0e04\u0e48\u0e32\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e43\u0e19\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19:<\/p>\n\n\n\n

                \n
              • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01<\/li>\n\n\n\n
              • \u0e09\u0e19\u0e27\u0e19\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e22\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/li>\n\n\n\n
              • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e14\u0e35\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                \u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c, AlN \u0e16\u0e39\u0e01\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19:<\/p>\n\n\n\n

                  \n
                • \u0e2b\u0e31\u0e27\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15 (ESC)<\/li>\n\n\n\n
                • \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e10\u0e32\u0e19\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07<\/li>\n\n\n\n
                • \u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                  \u0e41\u0e19\u0e27\u0e42\u0e19\u0e49\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e04\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e17\u0e14\u0e41\u0e17\u0e19 ESC \u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49 alumina \u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e04\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e04\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e44\u0e1b \u0e14\u0e49\u0e27\u0e22 aluminum nitride \u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e32\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19.<\/p>\n\n\n\n

                  4. \u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e08\u0e32\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h2>\n\n\n\n

                  \u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e16\u0e39\u0e01\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e01\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e17\u0e38\u0e01\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01.<\/p>\n\n\n\n

                  4.1 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e25\u0e34\u0e42\u0e17\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35<\/h3>\n\n\n\n
                    \n
                  • \u0e2b\u0e31\u0e27\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32 (E-chucks)<\/li>\n\n\n\n
                  • \u0e2b\u0e31\u0e27\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e39\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28<\/li>\n\n\n\n
                  • \u0e41\u0e17\u0e48\u0e19\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n\n\n\n
                  • \u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e01\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2d\u0e2d\u0e1b\u0e15\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e25<\/li>\n\n\n\n
                  • \u0e41\u0e1e\u0e25\u0e15\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e21\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e32\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e19\u0e49\u0e33<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                    \u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e15\u0e48\u0e33\u0e21\u0e32\u0e01\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e17\u0e32\u0e07\u0e15\u0e33\u0e41\u0e2b\u0e19\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01.<\/p>\n\n\n\n

                    4.2 \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19<\/h3>\n\n\n\n
                      \n
                    • \u0e27\u0e07\u0e41\u0e2b\u0e27\u0e19\u0e42\u0e1f\u0e01\u0e31\u0e2a<\/li>\n\n\n\n
                    • \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b<\/li>\n\n\n\n
                    • \u0e2b\u0e31\u0e27\u0e09\u0e35\u0e14\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2b\u0e31\u0e27\u0e09\u0e35\u0e14<\/li>\n\n\n\n
                    • \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e1a\u0e38\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07<\/li>\n\n\n\n
                    • \u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e17\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32<\/li>\n\n\n\n
                    • \u0e41\u0e2b\u0e27\u0e19\u0e09\u0e19\u0e27\u0e19<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                      \u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e19\u0e35\u0e49\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e17\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e23\u0e38\u0e19\u0e41\u0e23\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35.<\/p>\n\n\n\n

                      4.3 \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/h3>\n\n\n\n
                        \n
                      • \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e02\u0e31\u0e14 CMP<\/li>\n\n\n\n
                      • \u0e15\u0e31\u0e27\u0e19\u0e33\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01<\/li>\n\n\n\n
                      • \u0e41\u0e02\u0e19\u0e01\u0e25\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23<\/li>\n\n\n\n
                      • \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e22\u0e36\u0e14\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e41\u0e19\u0e27<\/li>\n\n\n\n
                      • \u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e14\u0e39\u0e14\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                        \u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e25\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29.<\/p>\n\n\n\n

                        5. \u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e17\u0e31\u0e28\u0e19\u0e4c\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e42\u0e25\u0e01<\/h2>\n\n\n\n

                        \u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e02\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e02\u0e49\u0e19.<\/p>\n\n\n\n

                        \u0e1b\u0e31\u0e08\u0e08\u0e38\u0e1a\u0e31\u0e19 \u0e15\u0e25\u0e32\u0e14\u0e42\u0e25\u0e01\u0e16\u0e39\u0e01\u0e04\u0e23\u0e2d\u0e1a\u0e07\u0e33\u0e42\u0e14\u0e22\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e29\u0e31\u0e17\u0e08\u0e32\u0e01:<\/p>\n\n\n\n

                          \n
                        • \u0e0d\u0e35\u0e48\u0e1b\u0e38\u0e48\u0e19<\/li>\n\n\n\n
                        • \u0e2a\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e10\u0e2d\u0e40\u0e21\u0e23\u0e34\u0e01\u0e32<\/li>\n\n\n\n
                        • \u0e22\u0e38\u0e42\u0e23\u0e1b<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                          \u0e1a\u0e23\u0e34\u0e29\u0e31\u0e17\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e19\u0e33\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e07\u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e17\u0e35\u0e48\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e01\u0e23\u0e48\u0e07\u0e43\u0e19\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e31\u0e07\u0e40\u0e04\u0e23\u0e32\u0e30\u0e2b\u0e4c\u0e1c\u0e07, \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1c\u0e32\u0e1c\u0e19\u0e36\u0e01, \u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e25\u0e36\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07, \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c.<\/p>\n\n\n\n

                          \u0e0d\u0e35\u0e48\u0e1b\u0e38\u0e48\u0e19\u0e22\u0e31\u0e07\u0e04\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e19\u0e33\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e42\u0e25\u0e01\u0e43\u0e19\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07 \u0e43\u0e19\u0e02\u0e13\u0e30\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e10\u0e2d\u0e40\u0e21\u0e23\u0e34\u0e01\u0e32\u0e40\u0e19\u0e49\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01 \u0e22\u0e38\u0e42\u0e23\u0e1b (\u0e42\u0e14\u0e22\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e40\u0e22\u0e2d\u0e23\u0e21\u0e19\u0e35\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1d\u0e23\u0e31\u0e48\u0e07\u0e40\u0e28\u0e2a) \u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e27\u0e01\u0e32\u0e28.<\/p>\n\n\n\n

                          6. \u0e2a\u0e16\u0e32\u0e19\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e08\u0e35\u0e19<\/h2>\n\n\n\n

                          \u0e08\u0e35\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e17\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e01\u0e49\u0e32\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e35\u0e19\u0e31\u0e22\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e43\u0e19\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e42\u0e1b\u0e23\u0e41\u0e01\u0e23\u0e21\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e0a\u0e32\u0e15\u0e34\u0e23\u0e30\u0e22\u0e30\u0e22\u0e32\u0e27\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21.<\/p>\n\n\n\n

                          \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e40\u0e23\u0e47\u0e08\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d \u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48:<\/p>\n\n\n\n

                            \n
                          • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e23\u0e35\u0e22\u0e21\u0e1c\u0e07\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 (\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e31\u0e07\u0e40\u0e04\u0e23\u0e32\u0e30\u0e2b\u0e4c\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e19\u0e30\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07, \u0e43\u0e19\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e19\u0e30\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e27, \u0e43\u0e19\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e19\u0e30\u0e44\u0e2d)<\/li>\n\n\n\n
                          • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e43\u0e01\u0e25\u0e49\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e17\u0e49\u0e32\u0e22 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e09\u0e35\u0e14\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e2d\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e40\u0e17\u0e1b<\/li>\n\n\n\n
                          • \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e01\u0e49\u0e32\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e43\u0e19\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1c\u0e32\u0e1c\u0e19\u0e36\u0e01 \u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e31\u0e14\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 (HP) \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1c\u0e32\u0e1c\u0e19\u0e36\u0e01\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e41\u0e23\u0e07\u0e14\u0e31\u0e19\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b (GPS)<\/li>\n\n\n\n
                          • \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e01\u0e49\u0e32\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e04\u0e23\u0e31\u0e49\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1c\u0e32\u0e1c\u0e19\u0e36\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48<\/li>\n\n\n\n
                          • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e25\u0e36\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32 (EDM) \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e40\u0e25\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e25\u0e36\u0e07\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e19\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e16\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                            \u0e41\u0e21\u0e49\u0e08\u0e30\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e01\u0e49\u0e32\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49 \u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e40\u0e01\u0e23\u0e14\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e22\u0e31\u0e07\u0e04\u0e07\u0e40\u0e1c\u0e0a\u0e34\u0e0d\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e49\u0e32\u0e17\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e08\u0e33\u0e19\u0e27\u0e19\u0e21\u0e32\u0e01.<\/p>\n\n\n\n

                            7. \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e49\u0e32\u0e17\u0e32\u0e22\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e40\u0e1c\u0e0a\u0e34\u0e0d<\/h2>\n\n\n\n

                            \u0e41\u0e21\u0e49\u0e27\u0e48\u0e32\u0e08\u0e35\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e28\u0e31\u0e01\u0e22\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e17\u0e35\u0e48\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e01\u0e23\u0e48\u0e07\u0e43\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e25\u0e48\u0e32\u0e07 \u0e41\u0e15\u0e48\u0e22\u0e31\u0e07\u0e21\u0e35\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e08\u0e33\u0e01\u0e31\u0e14\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23:<\/p>\n\n\n\n

                            7.1 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e36\u0e48\u0e07\u0e1e\u0e32\u0e1c\u0e07\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e19\u0e33\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32<\/h3>\n\n\n\n

                            \u0e1c\u0e07\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19:<\/p>\n\n\n\n

                              \n
                            • \u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c (Si\u2083N\u2084)<\/li>\n\n\n\n
                            • \u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u0e21\u0e44\u0e19\u0e44\u0e15\u0e23\u0e14\u0e4c (AlN)<\/li>\n\n\n\n
                            • \u0e2d\u0e30\u0e25\u0e39\u0e21\u0e34\u0e19\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                              \u0e22\u0e31\u0e07\u0e04\u0e07\u0e19\u0e33\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e08\u0e32\u0e01\u0e0d\u0e35\u0e48\u0e1b\u0e38\u0e48\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e22\u0e38\u0e42\u0e23\u0e1b.<\/p>\n\n\n\n

                              7.2 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e22\u0e32\u0e01\u0e25\u0e33\u0e1a\u0e32\u0e01\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h3>\n\n\n\n

                              \u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23:<\/p>\n\n\n\n

                                \n
                              • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e25\u0e36\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e44\u0e21\u0e04\u0e23\u0e2d\u0e19<\/li>\n\n\n\n
                              • \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e22\u0e32\u0e1a\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e15\u0e48\u0e33\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29<\/li>\n\n\n\n
                              • \u0e1c\u0e34\u0e27\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1b\u0e23\u0e32\u0e28\u0e08\u0e32\u0e01\u0e15\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e34<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                                \u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e19\u0e35\u0e49\u0e22\u0e31\u0e07\u0e04\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e49\u0e32\u0e17\u0e32\u0e22\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04\u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e35\u0e04\u0e48\u0e32\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e08\u0e48\u0e32\u0e22\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n\n\n\n

                                7.3 \u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e32\u0e27\u0e19\u0e32\u0e19<\/h3>\n\n\n\n

                                \u0e41\u0e21\u0e49\u0e27\u0e48\u0e32\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e08\u0e30\u0e15\u0e23\u0e07\u0e15\u0e32\u0e21\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14 \u0e41\u0e15\u0e48\u0e25\u0e39\u0e01\u0e04\u0e49\u0e32\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e22\u0e37\u0e19\u0e22\u0e31\u0e19\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e22\u0e30\u0e22\u0e32\u0e27 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07:<\/p>\n\n\n\n

                                  \n
                                • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e14\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32<\/li>\n\n\n\n
                                • \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e48\u0e32\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e16\u0e37\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e14\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19<\/li>\n\n\n\n
                                • \u0e43\u0e1a\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                                  \u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e19\u0e35\u0e49\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e32\u0e13\u0e34\u0e0a\u0e22\u0e4c\u0e0a\u0e49\u0e32\u0e25\u0e07\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01.<\/p>\n\n\n\n

                                  8. \u0e41\u0e19\u0e27\u0e42\u0e19\u0e49\u0e21\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e38\u0e21\u0e21\u0e2d\u0e07\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e19\u0e32\u0e04\u0e15<\/h2>\n\n\n\n

                                  8.1 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e23\u0e27\u0e14\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e23\u0e38\u0e48\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e32\u0e21<\/h3>\n\n\n\n

                                  \u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e22\u0e32\u0e19\u0e22\u0e19\u0e15\u0e4c\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32 \u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2b\u0e21\u0e38\u0e19\u0e40\u0e27\u0e35\u0e22\u0e19 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e31\u0e01\u0e14\u0e31\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e41\u0e25\u0e30\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e08\u0e32\u0e01\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38 SiC \u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e01\u0e23\u0e48\u0e07.<\/p>\n\n\n\n

                                  8.2 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e2b\u0e32\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e43\u0e19\u0e17\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e16\u0e34\u0e48\u0e19<\/h3>\n\n\n\n

                                  \u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e01\u0e47\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e23\u0e27\u0e14\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a:<\/p>\n\n\n\n

                                    \n
                                  • \u0e2b\u0e31\u0e27\u0e08\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15<\/li>\n\n\n\n
                                  • \u0e27\u0e07\u0e41\u0e2b\u0e27\u0e19\u0e42\u0e1f\u0e01\u0e31\u0e2a<\/li>\n\n\n\n
                                  • \u0e41\u0e02\u0e19\u0e01\u0e25\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01<\/li>\n\n\n\n
                                  • \u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07 SiC \u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e44\u0e2e\u0e40\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e4c<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                                    8.3 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e44\u0e1b\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19<\/h3>\n\n\n\n

                                    \u0e42\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e19\u0e32\u0e04\u0e15\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23:<\/p>\n\n\n\n

                                      \n
                                    • \u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19<\/li>\n\n\n\n
                                    • \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e16\u0e35\u0e22\u0e23\u0e43\u0e19\u0e21\u0e34\u0e15\u0e34\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19<\/li>\n\n\n\n
                                    • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e22\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e48\u0e33\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32<\/li>\n\n\n\n
                                    • \u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                                      \u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e19\u0e35\u0e49\u0e1c\u0e25\u0e31\u0e01\u0e14\u0e31\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e44\u0e1b\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19.<\/p>\n\n\n\n

                                      9. \u0e2a\u0e23\u0e38\u0e1b<\/h2>\n\n\n\n

                                      \u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e44\u0e21\u0e48\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e1e\u0e35\u0e22\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e40\u0e2a\u0e23\u0e34\u0e21\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2d\u0e35\u0e01\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e44\u0e1b\u2014\u0e41\u0e15\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e4c\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e10\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e0a\u0e34\u0e1b\u0e42\u0e14\u0e22\u0e15\u0e23\u0e07.<\/p>\n\n\n\n

                                      \u0e08\u0e32\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e25\u0e34\u0e42\u0e18\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35\u0e44\u0e1b\u0e08\u0e19\u0e16\u0e36\u0e07\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e41\u0e01\u0e30\u0e2a\u0e25\u0e31\u0e01\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e21\u0e32 \u0e40\u0e0b\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e21\u0e35\u0e1a\u0e17\u0e1a\u0e32\u0e17\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e40\u0e07\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e46 \u0e41\u0e15\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e2b\u0e21\u0e14.<\/p>\n\n\n\n

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                                      1. Introduction Precision ceramics refer to high-performance advanced ceramic components used in semiconductor manufacturing equipment. These components are typically designed with complex structures, ultra-high purity, and extremely tight dimensional tolerances. They play a critical role in ensuring the stability, accuracy, and reliability of semiconductor fabrication processes. With the rapid expansion of the global semiconductor industry […]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":2019,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[6],"tags":[53,52,51,68,56,66,67,60,69,65,57,61,63,55,64,58,62,54,59],"class_list":["post-2018","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-applications-cases","tag-advanced-materials","tag-automation","tag-cleanroom","tag-electrostatic-chuck","tag-high-tech-factory","tag-industrial-equipment","tag-laboratory","tag-lithography-equipment","tag-metal-machinery","tag-microfabrication","tag-precision-engineering","tag-precision-manufacturing","tag-robotics","tag-semiconductor","tag-semiconductor-fabrication","tag-silicon-wafer","tag-sterile-environment","tag-vacuum-chuck","tag-wafer"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2018","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2018"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2018\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2020,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2018\/revisions\/2020"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2019"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2018"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2018"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2018"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}