{"id":2018,"date":"2026-05-08T03:14:11","date_gmt":"2026-05-08T03:14:11","guid":{"rendered":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/?p=2018"},"modified":"2026-05-08T03:14:11","modified_gmt":"2026-05-08T03:14:11","slug":"precision-ceramics-in-semiconductor-equipment-core-roles-and-industry-development-trends","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/sv\/precision-ceramics-in-semiconductor-equipment-core-roles-and-industry-development-trends\/","title":{"rendered":"Precisionskeramik i halvledarutrustning: K\u00e4rnroller och utvecklingstrender inom industrin"},"content":{"rendered":"

1. Inledning<\/h2>\n\n\n\n

Precisionskeramik avser h\u00f6gpresterande avancerade keramiska komponenter<\/a> som anv\u00e4nds i utrustning f\u00f6r tillverkning av halvledare. Dessa komponenter \u00e4r vanligtvis utformade med komplexa strukturer, extremt h\u00f6g renhet och extremt sn\u00e4va dimensionstoleranser. De spelar en avg\u00f6rande roll n\u00e4r det g\u00e4ller att s\u00e4kerst\u00e4lla stabilitet, noggrannhet och tillf\u00f6rlitlighet i tillverkningsprocesserna f\u00f6r halvledare.<\/p>\n\n\n\n

I takt med den snabba expansionen av den globala halvledarindustrin och den st\u00e4ndiga utvecklingen mot mindre processnoder, h\u00f6gre integration och mer komplexa tillverkningsmilj\u00f6er har halvledarutrustningen utvecklats mot h\u00f6gre precision och tuffare driftsf\u00f6rh\u00e5llanden. Som ett resultat av detta har keramiska precisionskomponenter blivit oumb\u00e4rliga \u201cdolda k\u00e4rndelar\u201d i modern halvledarutrustning.<\/p>\n\n\n\n

Idag st\u00e5r precisionskeramik f\u00f6r cirka 16% av v\u00e4rdet i utrustningssystem f\u00f6r halvledare, vilket understryker deras strategiska betydelse i leveranskedjan.<\/p>\n\n\n\n

\"\"<\/figure>\n\n\n\n

2. Varf\u00f6r precisionskeramik \u00e4r viktigt i halvledarutrustning<\/h2>\n\n\n\n

Halvledartillverkningen sker i extremt kr\u00e4vande milj\u00f6er, med h\u00f6ga temperaturer, plasmakorrosion, extremt rena vakuumf\u00f6rh\u00e5llanden och mekaniska r\u00f6relser med h\u00f6g precision.<\/p>\n\n\n\n

Traditionella material som metaller och polymerer g\u00e5r ofta s\u00f6nder under dessa f\u00f6rh\u00e5llanden p\u00e5 grund av<\/p>\n\n\n\n

    \n
  • Termisk deformation<\/li>\n\n\n\n
  • Kemisk korrosion<\/li>\n\n\n\n
  • F\u00f6rorening av partiklar<\/li>\n\n\n\n
  • Problem med elektrisk ledningsf\u00f6rm\u00e5ga<\/li>\n\n\n\n
  • Slitage och utmattning<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

    Precisionskeramik erbjuder dock en unik kombination av egenskaper:<\/p>\n\n\n\n

      \n
    • H\u00f6g h\u00e5rdhet och slitstyrka<\/li>\n\n\n\n
    • Utm\u00e4rkt elektrisk isolering<\/li>\n\n\n\n
    • \u00d6verl\u00e4gsen termisk stabilitet<\/li>\n\n\n\n
    • L\u00e5g v\u00e4rmeutvidgningskoefficient<\/li>\n\n\n\n
    • Starkt motst\u00e5nd mot kemisk korrosion och plasmakorrosion<\/li>\n\n\n\n
    • H\u00f6g strukturell styvhet och dimensionsstabilitet<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

      Dessa egenskaper g\u00f6r keramer idealiska f\u00f6r kritiska halvledarprocesser som litografi, etsning, deponering, jonimplantation och termisk bearbetning.<\/p>\n\n\n\n

      3. Viktiga keramiska precisionsmaterial som anv\u00e4nds inom halvledarindustrin<\/h2>\n\n\n\n

      3.1 Keramiska material av aluminiumoxid (Al\u2082O\u2083)<\/h3>\n\n\n\n

      Aluminiumoxidkeramer \u00e4r de mest anv\u00e4nda materialen i halvledarutrustning p\u00e5 grund av sin stabilitet, kostnadseffektivitet och mogna bearbetningsteknik.<\/p>\n\n\n\n

      Typiska till\u00e4mpningar inkluderar:<\/p>\n\n\n\n

        \n
      • Foder och skyddsdelar f\u00f6r etsningskammare<\/li>\n\n\n\n
      • Gasdistributionsplattor<\/li>\n\n\n\n
      • Waferchuckar och vakuumkomponenter<\/li>\n\n\n\n
      • Polerpl\u00e5tar och CMP-system<\/li>\n\n\n\n
      • Isoleringsringar och strukturella st\u00f6d<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

        Aluminiumoxid med h\u00f6g renhet (upp till 99,9%) kr\u00e4vs f\u00f6r avancerade halvledarmilj\u00f6er d\u00e4r kontamineringskontroll \u00e4r avg\u00f6rande.<\/p>\n\n\n\n

        3.2 Kiselkarbid-keramik (SiC)<\/h3>\n\n\n\n

        Kiselkarbid anses vara ett av de mest avancerade strukturella keramiska materialen f\u00f6r halvledarutrustning.<\/p>\n\n\n\n

        Viktiga egenskaper inkluderar:<\/p>\n\n\n\n

          \n
        • Extremt h\u00f6g styvhet (elasticitetsmodul)<\/li>\n\n\n\n
        • Utm\u00e4rkt v\u00e4rmeledningsf\u00f6rm\u00e5ga<\/li>\n\n\n\n
        • Mycket l\u00e5g termisk expansion<\/li>\n\n\n\n
        • Enast\u00e5ende bearbetbarhet f\u00f6r ytor av optisk kvalitet<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

          SiC anv\u00e4nds i stor utstr\u00e4ckning i:<\/p>\n\n\n\n

            \n
          • Steg f\u00f6r litografimaskiner<\/li>\n\n\n\n
          • Plattformar f\u00f6r precisionsr\u00f6relser<\/li>\n\n\n\n
          • Komponenter f\u00f6r hantering av wafers<\/li>\n\n\n\n
          • Fokusringar och strukturella delar i plasmasystem<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

            I avancerade litografisystem \u00e4r SiC-baserade komponenter avg\u00f6rande f\u00f6r att uppr\u00e4tth\u00e5lla positioneringsnoggrannhet p\u00e5 nanometerniv\u00e5.<\/p>\n\n\n\n

            3.3 Kiselnitrid-keramik (Si\u2083N\u2084)<\/h3>\n\n\n\n

            Kiselnitrid \u00e4r k\u00e4nt f\u00f6r sin exceptionella kombination av styrka, seghet och motst\u00e5ndskraft mot termisk chock.<\/p>\n\n\n\n

            Prestandan f\u00f6rblir stabil \u00e4ven vid temperaturer \u00f6ver 1200\u00b0C, vilket g\u00f6r den l\u00e4mplig f\u00f6r kr\u00e4vande termiska milj\u00f6er.<\/p>\n\n\n\n

            Applikationerna inkluderar:<\/p>\n\n\n\n

              \n
            • Keramiska h\u00f6ghastighetslager<\/li>\n\n\n\n
            • Styrskenor och r\u00f6relsesystem<\/li>\n\n\n\n
            • Komponenter f\u00f6r hantering av halvledarwafers<\/li>\n\n\n\n
            • Strukturdelar med h\u00f6g h\u00e5llfasthet<\/li>\n\n\n\n
            • Substrat f\u00f6r kraftmoduler<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

              Den anses allm\u00e4nt vara en av de b\u00e4sta allroundkeramikerna f\u00f6r ingenj\u00f6rsarbeten.<\/p>\n\n\n\n

              3.4 Keramiska material av aluminiumnitrid (AlN)<\/h3>\n\n\n\n

              Aluminiumnitrid v\u00e4rderas fr\u00e4mst f\u00f6r sina:<\/p>\n\n\n\n

                \n
              • Extremt h\u00f6g v\u00e4rmeledningsf\u00f6rm\u00e5ga<\/li>\n\n\n\n
              • Utm\u00e4rkt elektrisk isolering<\/li>\n\n\n\n
              • Bra v\u00e4rmeutvidgning som matchar kisel<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                I halvledarutrustning anv\u00e4nds AlN i allt h\u00f6gre grad i:<\/p>\n\n\n\n

                  \n
                • Elektrostatiska chuckar (ESC)<\/li>\n\n\n\n
                • Substrat f\u00f6r kraftelektronik<\/li>\n\n\n\n
                • H\u00f6gpresterande komponenter f\u00f6r termisk hantering<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                  En viktig trend inom industrin \u00e4r att aluminiumoxidbaserade ESC:er gradvis ers\u00e4tts med aluminiumnitrid p\u00e5 grund av h\u00f6gre krav p\u00e5 v\u00e4rmeavledning.<\/p>\n\n\n\n

                  4. Nyckelkomponenter i halvledarutrustning tillverkade av precisions-keramik<\/h2>\n\n\n\n

                  Precisionskeramer anv\u00e4nds i stor utstr\u00e4ckning i n\u00e4stan alla st\u00f6rre halvledarverktyg.<\/p>\n\n\n\n

                  4.1 Utrustning f\u00f6r litografi<\/h3>\n\n\n\n
                    \n
                  • Elektrostatiska chuckar (E-chuckar)<\/li>\n\n\n\n
                  • Vakuumchuckar<\/li>\n\n\n\n
                  • Precisionssteg<\/li>\n\n\n\n
                  • Spegel och optiska st\u00f6dstrukturer<\/li>\n\n\n\n
                  • Vattenkylda keramiska plattformar<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                    Dessa komponenter kr\u00e4ver extremt l\u00e5g termisk deformation och extremt h\u00f6g positionsstabilitet.<\/p>\n\n\n\n

                    4.2 Utrustning f\u00f6r etsning<\/h3>\n\n\n\n
                      \n
                    • Fokuseringsringar<\/li>\n\n\n\n
                    • Gasdistributionsplattor<\/li>\n\n\n\n
                    • Munstycken och injektorer<\/li>\n\n\n\n
                    • Kammarfoder<\/li>\n\n\n\n
                    • Plasmabest\u00e4ndiga f\u00f6nster<\/li>\n\n\n\n
                    • Isolerande ringar<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                      Keramiken som anv\u00e4nds h\u00e4r m\u00e5ste st\u00e5 emot aggressiva plasmamilj\u00f6er och kemisk korrosion.<\/p>\n\n\n\n

                      4.3 System f\u00f6r bearbetning av wafers<\/h3>\n\n\n\n
                        \n
                      • CMP-poleringsplattor<\/li>\n\n\n\n
                      • Keramiska skivb\u00e4rare<\/li>\n\n\n\n
                      • Robothanteringsarmar<\/li>\n\n\n\n
                      • Fixturer f\u00f6r uppriktning<\/li>\n\n\n\n
                      • Komponenter f\u00f6r vakuumadsorption<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                        Dessa delar kr\u00e4ver b\u00e5de mekanisk precision och extremt rena ytor.<\/p>\n\n\n\n

                        5. Globalt industrilandskap<\/h2>\n\n\n\n

                        Industrin f\u00f6r precisionskeramik \u00e4r mycket koncentrerad och teknikintensiv.<\/p>\n\n\n\n

                        F\u00f6r n\u00e4rvarande domineras den globala marknaden av f\u00f6retag fr\u00e5n:<\/p>\n\n\n\n

                          \n
                        • Japan<\/li>\n\n\n\n
                        • F\u00f6renta staterna<\/li>\n\n\n\n
                        • Europa<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                          Bland de ledande f\u00f6retagen finns etablerade keramiktillverkare med stark kapacitet inom pulversyntes, sintring, precisionsbearbetning och renhetskontroll f\u00f6r halvledare.<\/p>\n\n\n\n

                          Japan \u00e4r fortfarande v\u00e4rldsledande inom precisionskeramik, s\u00e4rskilt inom elektronik och strukturkeramik, medan USA fokuserar p\u00e5 h\u00f6gtemperatur- och strukturtill\u00e4mpningar. I Europa (fr\u00e4mst Tyskland och Frankrike) ligger tyngdpunkten p\u00e5 avancerad strukturkeramik f\u00f6r energi- och flygsystem.<\/p>\n\n\n\n

                          6. Utvecklingsstatus i Kina<\/h2>\n\n\n\n

                          Kina har gjort betydande framsteg inom keramisk precisionsteknik genom l\u00e5ngsiktiga nationella forskningsprogram och initiativ f\u00f6r industriell utveckling.<\/p>\n\n\n\n

                          Viktiga prestationer inkluderar:<\/p>\n\n\n\n

                            \n
                          • Utveckling av avancerade metoder f\u00f6r pulverberedning (fastfas-, v\u00e4tskefas- och \u00e5ngfassyntes)<\/li>\n\n\n\n
                          • Till\u00e4mpning av n\u00e4tn\u00e4ra formningstekniker s\u00e5som formsprutning och bandgjutning<\/li>\n\n\n\n
                          • Framsteg inom sintringsteknik, inklusive varmpressning (HP) och gastryckssintring (GPS)<\/li>\n\n\n\n
                          • Genombrott vid sintring av kiselnitrid i stora format<\/li>\n\n\n\n
                          • \u00d6kande anv\u00e4ndning av precisionsbearbetningstekniker som EDM, laserbearbetning och ultraljudsbearbetning<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                            Trots dessa framsteg st\u00e5r avancerade halvledarkeramer fortfarande inf\u00f6r utmaningar n\u00e4r det g\u00e4ller stabilitet och konsekvens i massproduktionen.<\/p>\n\n\n\n

                            7. De st\u00f6rsta utmaningarna som branschen st\u00e5r inf\u00f6r<\/h2>\n\n\n\n

                            \u00c4ven om Kina har utvecklat en stark kapacitet inom keramik i mellan- och l\u00e5gprissegmentet finns det fortfarande flera flaskhalsar:<\/p>\n\n\n\n

                            7.1 Beroende av importerade avancerade pulver<\/h3>\n\n\n\n

                            H\u00f6gpresterande pulver som t.ex:<\/p>\n\n\n\n

                              \n
                            • Kiselnitrid (Si\u2083N\u2084)<\/li>\n\n\n\n
                            • Aluminiumnitrid (AlN)<\/li>\n\n\n\n
                            • Aluminiumoxid med ultrah\u00f6g renhet<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                              \u00e4r fortfarande till stor del importerade, s\u00e4rskilt fr\u00e5n Japan och Europa.<\/p>\n\n\n\n

                              7.2 Sv\u00e5righeter med avancerad bearbetning<\/h3>\n\n\n\n

                              Halvledarkeramik kr\u00e4ver:<\/p>\n\n\n\n

                                \n
                              • Precisionsbearbetning med submikron precision<\/li>\n\n\n\n
                              • Ultra-l\u00e5g ytj\u00e4mnhet<\/li>\n\n\n\n
                              • Felfria ytor<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                                Detta \u00e4r fortfarande en teknisk utmaning och kostsamt.<\/p>\n\n\n\n

                                7.3 L\u00e5nga kvalificeringscykler<\/h3>\n\n\n\n

                                \u00c4ven om materialen uppfyller specifikationerna kr\u00e4ver halvledarkunderna l\u00e5ngsiktig validering, inklusive<\/p>\n\n\n\n

                                  \n
                                • Test av plasmabest\u00e4ndighet<\/li>\n\n\n\n
                                • Tillf\u00f6rlitlighet vid termisk cykling<\/li>\n\n\n\n
                                • Certifiering av renlighet<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                                  Detta bromsar kommersialiseringen avsev\u00e4rt.<\/p>\n\n\n\n

                                  8. Branschtrender och framtidsutsikter<\/h2>\n\n\n\n

                                  8.1 Snabb tillv\u00e4xt f\u00f6r kiselkarbid och tredje generationens halvledare<\/h3>\n\n\n\n

                                  Expansionen av elfordon, f\u00f6rnybar energi och h\u00f6geffektselektronik driver en stark efterfr\u00e5gan p\u00e5 SiC-baserade material och komponenter.<\/p>\n\n\n\n

                                  8.2 Lokalisering av leveranskedjan f\u00f6r halvledarutrustning<\/h3>\n\n\n\n

                                  I takt med att inhemska tillverkare av halvledarutrustning v\u00e4xer, \u00f6kar efterfr\u00e5gan p\u00e5 lokala keramiska precisionskomponenter, s\u00e4rskilt f\u00f6r:<\/p>\n\n\n\n

                                    \n
                                  • Elektrostatiska chuckar<\/li>\n\n\n\n
                                  • Fokuseringsringar<\/li>\n\n\n\n
                                  • Keramiska robotarmar<\/li>\n\n\n\n
                                  • Avancerade SiC-strukturer<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                                    8.3 \u00d6verg\u00e5ng till st\u00f6rre och mer exakta komponenter<\/h3>\n\n\n\n

                                    Framtida halvledarnoder kr\u00e4ver:<\/p>\n\n\n\n

                                      \n
                                    • St\u00f6rre keramiska strukturer<\/li>\n\n\n\n
                                    • H\u00f6gre dimensionell stabilitet<\/li>\n\n\n\n
                                    • L\u00e4gre termisk expansion<\/li>\n\n\n\n
                                    • H\u00f6gre krav p\u00e5 renlighet<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                                      Detta driver keramiktillverkningen mot mer avancerade tekniker.<\/p>\n\n\n\n

                                      9. Slutsatser<\/h2>\n\n\n\n

                                      Precisionskeramer \u00e4r inte l\u00e4ngre bara hj\u00e4lpmaterial i halvledarutrustning - de \u00e4r grundl\u00e4ggande komponenter som direkt avg\u00f6r utrustningens prestanda och chiptillverkningens kvalitet.<\/p>\n\n\n\n

                                      Fr\u00e5n litografisystem till plasmaetsningsverktyg - precisionskeramer spelar en tyst men avg\u00f6rande roll f\u00f6r att m\u00f6jligg\u00f6ra hela halvledarindustrin.<\/p>\n\n\n\n

                                      I takt med att den globala halvledartillverkningen forts\u00e4tter att utvecklas kommer precisionskeramik att f\u00f6rbli ett av de strategiskt viktigaste avancerade materialen, med v\u00e4xande m\u00f6jligheter inom b\u00e5de teknisk innovation och lokalisering av leveranskedjan.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

                                      1. Introduction Precision ceramics refer to high-performance advanced ceramic components used in semiconductor manufacturing equipment. These components are typically designed with complex structures, ultra-high purity, and extremely tight dimensional tolerances. They play a critical role in ensuring the stability, accuracy, and reliability of semiconductor fabrication processes. With the rapid expansion of the global semiconductor industry […]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":2019,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[6],"tags":[53,52,51,68,56,66,67,60,69,65,57,61,63,55,64,58,62,54,59],"class_list":["post-2018","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-applications-cases","tag-advanced-materials","tag-automation","tag-cleanroom","tag-electrostatic-chuck","tag-high-tech-factory","tag-industrial-equipment","tag-laboratory","tag-lithography-equipment","tag-metal-machinery","tag-microfabrication","tag-precision-engineering","tag-precision-manufacturing","tag-robotics","tag-semiconductor","tag-semiconductor-fabrication","tag-silicon-wafer","tag-sterile-environment","tag-vacuum-chuck","tag-wafer"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/sv\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2018","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/sv\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/sv\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/sv\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/sv\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2018"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/sv\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2018\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2020,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/sv\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2018\/revisions\/2020"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/sv\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2019"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/sv\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2018"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/sv\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2018"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/sv\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2018"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}