{"id":2142,"date":"2026-05-13T01:58:38","date_gmt":"2026-05-13T01:58:38","guid":{"rendered":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/?p=2142"},"modified":"2026-05-13T01:58:38","modified_gmt":"2026-05-13T01:58:38","slug":"advanced-ceramic-materials-in-semiconductor-manufacturing-high-purity-extreme-heat-resistance-and-ultra-hard-performance","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/ru\/advanced-ceramic-materials-in-semiconductor-manufacturing-high-purity-extreme-heat-resistance-and-ultra-hard-performance\/","title":{"rendered":"\u041f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432: \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430, \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438"},"content":{"rendered":"<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432, \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432, \u0441\u043f\u0440\u043e\u0441 \u043d\u0430 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u0437\u043a\u043e \u0432\u043e\u0437\u0440\u043e\u0441. \u0412 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b\u0435 \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b, \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b, \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0435 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438, \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u044f \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0421\u0440\u0435\u0434\u0438 \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u044f \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u0441\u0442\u0430\u043b\u0430 \u043d\u0435\u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u043c\u043e\u0439 \u0432 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u044e \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445, \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041e\u0442 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0438 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 - \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432\u043e \u0432\u0441\u0435\u0439 \u0446\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image aligncenter size-full\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"1000\" height=\"1000\" src=\"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Full-CVD-SiC-Wafer-Carrier-Tray-Plate-for-Semiconductor-MOCVD-Etching-Equipment.png\" alt=\"\" class=\"wp-image-2114\" srcset=\"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Full-CVD-SiC-Wafer-Carrier-Tray-Plate-for-Semiconductor-MOCVD-Etching-Equipment.png 1000w, https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Full-CVD-SiC-Wafer-Carrier-Tray-Plate-for-Semiconductor-MOCVD-Etching-Equipment-300x300.png 300w, https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Full-CVD-SiC-Wafer-Carrier-Tray-Plate-for-Semiconductor-MOCVD-Etching-Equipment-150x150.png 150w, https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Full-CVD-SiC-Wafer-Carrier-Tray-Plate-for-Semiconductor-MOCVD-Etching-Equipment-768x768.png 768w, https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Full-CVD-SiC-Wafer-Carrier-Tray-Plate-for-Semiconductor-MOCVD-Etching-Equipment-12x12.png 12w, https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Full-CVD-SiC-Wafer-Carrier-Tray-Plate-for-Semiconductor-MOCVD-Etching-Equipment-600x600.png 600w, https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Full-CVD-SiC-Wafer-Carrier-Tray-Plate-for-Semiconductor-MOCVD-Etching-Equipment-100x100.png 100w\" sizes=\"(max-width: 1000px) 100vw, 1000px\" \/><\/figure>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">\u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u044f \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u0430 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u043c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432\u0441\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u043c \u0438 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u043c. \u041e\u0431\u044b\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0438\u0441\u043f\u044b\u0442\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0441\u0443\u0440\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0446\u0438\u043a\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0430\u0433\u0440\u0435\u0441\u0441\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0423\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0440\u044f\u0434\u043e\u043c \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0427\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u041e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u044f<\/li>\n\n\n\n<li>\u0412\u044b\u0434\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f\u0441\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u041d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u041d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446<\/li>\n\n\n\n<li>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0432 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0435<\/li>\n\n\n\n<li>\u0423\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u044d\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u044d\u0442\u0438\u043c \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d<\/li>\n\n\n\n<li>\u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/li>\n\n\n\n<li>\u041b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b<\/li>\n\n\n\n<li>\u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b (CVD)<\/li>\n\n\n\n<li>\u041a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b \u0434\u043b\u044f \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b (PVD)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438<\/li>\n\n\n\n<li>\u0414\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0435\u0447\u0438<\/li>\n\n\n\n<li>\u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u043a\u043e-\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 (CMP)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0412\u043e \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0442 \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u0441\u0440\u043e\u043a \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">\u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0427\u0442\u043e\u0431\u044b \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0443\u0434\u043e\u0432\u043b\u0435\u0442\u0432\u043e\u0440\u044f\u0442\u044c \u0442\u0440\u0435\u043c \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c:<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">1. \u0422\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u0442\u044c \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b<\/li>\n\n\n\n<li>\u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435<\/li>\n\n\n\n<li>\u0412\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0443<\/li>\n\n\n\n<li>\u041a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u043d\u0430\u044f \u0438 \u0449\u0435\u043b\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u044f<\/li>\n\n\n\n<li>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0440\u0435\u0434\u044b<\/li>\n\n\n\n<li>\u0423\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0448\u043e\u043a\u0430<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0414\u043b\u044f \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0431\u0430\u043b\u0430\u043d\u0441 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445, \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445, \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">2. \u041f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u044b\u0445 \u0438 \u0445\u0440\u0443\u043f\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u044f \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430, \u043a\u0430\u043a \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e, \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0441\u0432\u043e\u0435\u0439 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0445\u0440\u0443\u043f\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438. \u041f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432, \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0445 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043e\u0432 \u0438 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0439 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u0443\u044e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0438\u0437 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447 \u0432 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3. \u0421\u0432\u0435\u0440\u0445\u0447\u0438\u0441\u0442\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0435 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f \u0432\u0431\u043b\u0438\u0437\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0435 \u0441 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0437\u0430:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0417\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u043e\u043d\u0430\u043c\u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432<\/li>\n\n\n\n<li>\u0428\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/li>\n\n\n\n<li>\u0413\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446<\/li>\n\n\n\n<li>\u0414\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438.<\/p>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445<\/h1>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">1. \u0413\u043b\u0438\u043d\u043e\u0437\u0435\u043c (Al\u2082O\u2083)<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u041e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u0421\u0438\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u044f<\/li>\n\n\n\n<li>\u0423\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u043c<\/li>\n\n\n\n<li>\u041e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u0422\u0438\u043f\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0412\u0430\u0444\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043b\u043e\u0434\u043a\u0438<\/li>\n\n\n\n<li>\u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440\u044b<\/li>\n\n\n\n<li>\u041a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b CMP<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0413\u043b\u0438\u043d\u043e\u0437\u0435\u043c \u043e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0432\u0438\u0434\u043e\u0432 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0438 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0441\u0431\u0430\u043b\u0430\u043d\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c \u0438 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">2. \u041d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f (AlN)<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0427\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u041d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f<\/li>\n\n\n\n<li>\u041e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u044f<\/li>\n\n\n\n<li>\u0425\u043e\u0440\u043e\u0448\u0430\u044f \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u043c \u0443\u0434\u0430\u0440\u0430\u043c<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u0422\u0438\u043f\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/li>\n\n\n\n<li>\u0422\u0435\u043f\u043b\u043e\u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u044b<\/li>\n\n\n\n<li>\u041c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/li>\n\n\n\n<li>\u041d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0446\u0435\u043d\u0435\u043d \u0432 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0433\u0434\u0435 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u0439 \u043e\u0442\u0432\u043e\u0434 \u0442\u0435\u043f\u043b\u0430 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3. \u041a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiC)<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0421\u0432\u0435\u0440\u0445\u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u041e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445<\/li>\n\n\n\n<li>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u0412\u044b\u0434\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f\u0441\u044f \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u0422\u0438\u043f\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u041a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0447\u0430\u0442\u044b\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u043e\u0440\u044b<\/li>\n\n\n\n<li>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438<\/li>\n\n\n\n<li>\u041a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0430\u043b \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043d\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">4. \u041d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (Si\u2083N\u2084)<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u041e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u0432\u044f\u0437\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u043c \u0443\u0434\u0430\u0440\u0430\u043c<\/li>\n\n\n\n<li>\u041e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u0422\u0438\u043f\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0421\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043d\u0435\u0441\u0443\u0449\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b<\/li>\n\n\n\n<li>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u044b\u0435 \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b<\/li>\n\n\n\n<li>\u041a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u0430\u043c, \u0433\u0434\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u0442\u044f\u0436\u0435\u043b\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">5. \u0426\u0438\u0440\u043a\u043e\u043d\u0438\u0439 (ZrO\u2082)<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0432\u044f\u0437\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f<\/li>\n\n\n\n<li>\u041e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u0421\u0438\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u0425\u043e\u0440\u043e\u0448\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u0422\u0438\u043f\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u041a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b CMP<\/li>\n\n\n\n<li>\u0418\u0437\u043d\u043e\u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0438<\/li>\n\n\n\n<li>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c\u0443 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u0446\u0438\u0440\u043a\u043e\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u0443\u044e \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0442\u0440\u0435\u0449\u0438\u043d \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441\u043e \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u043c\u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u043c\u0438 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">6. \u041e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u0431\u0435\u0440\u0438\u043b\u043b\u0438\u044f (BeO)<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0427\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u041e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u044f<\/li>\n\n\n\n<li>\u041d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u0422\u0438\u043f\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u041c\u043e\u0449\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0430\u044f \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u0430<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0434\u0438\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442 \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0432\u043e\u043b\u043d<\/li>\n\n\n\n<li>\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u0431\u0435\u0440\u0438\u043b\u043b\u0438\u044f \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u043d\u0443\u044e \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439, \u0438 \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0438, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c \u0432 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">7. \u041f\u044c\u0435\u0437\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 (PZT)<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u041e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043f\u044c\u0435\u0437\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043e\u0442\u043a\u043b\u0438\u043a<\/li>\n\n\n\n<li>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u0412\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435<\/li>\n\n\n\n<li>\u0425\u043e\u0440\u043e\u0448\u0430\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u0422\u0438\u043f\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438<\/li>\n\n\n\n<li>\u0423\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0430\u043a\u0443\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0432\u043e\u043b\u043d<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u044b<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041f\u044c\u0435\u0437\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u0438\u0433\u0440\u0430\u0435\u0442 \u0432\u0430\u0436\u043d\u0443\u044e \u0440\u043e\u043b\u044c \u0432 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">8. \u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u0430\u044f \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 (SiO\u2082)<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0421\u0432\u0435\u0440\u0445\u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430<\/li>\n\n\n\n<li>\u041e\u0447\u0435\u043d\u044c \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435<\/li>\n\n\n\n<li>\u041e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u0412\u044b\u0434\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f\u0441\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u0422\u0438\u043f\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439<\/li>\n\n\n\n<li>\u041a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438<\/li>\n\n\n\n<li>\u0414\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b \u0432 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u0445.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">9. \u041d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430 (BN)<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u041d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n\n\n\n<li>\u041e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043c\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/li>\n\n\n\n<li>\u0412\u044b\u0434\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f\u0441\u044f \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u043c \u0443\u0434\u0430\u0440\u0430\u043c<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u0422\u0438\u043f\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u0430\u044f \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u044f<\/li>\n\n\n\n<li>\u041a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/li>\n\n\n\n<li>\u0421\u043c\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0435\u0439 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u043c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u0435\u043d \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044f\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0433\u0434\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">\u0411\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0438 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u043f\u0435\u0440\u0435\u0434:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u041c\u0430\u043b\u044b\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0437\u043b\u044b<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043d\u0430\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a<\/li>\n\n\n\n<li>\u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0430\u0433\u0440\u0435\u0441\u0441\u0438\u0432\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u0438<\/li>\n\n\n\n<li>\u0428\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0438<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0422\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e \u0440\u0430\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0411\u0443\u0434\u0443\u0449\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043d\u0434\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u041a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b<\/li>\n\n\n\n<li>\u0423\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446<\/li>\n\n\n\n<li>\u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438<\/li>\n\n\n\n<li>\u0423\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b<\/li>\n\n\n\n<li>\u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0442\u0435\u0441\u043d\u0430\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0441 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c, \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u043c \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u043e\u043c<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0423\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0441\u0442\u0430\u043b\u0430 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u0432\u0441\u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c - \u043e\u043d\u0430 \u0441\u0442\u0430\u043b\u0430 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0435\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">\u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0441\u0442\u0430\u043b\u0438 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0432\u0437\u043e\u0439\u0434\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u044e \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u0438, \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0422\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b, \u043a\u0430\u043a \u0433\u043b\u0438\u043d\u043e\u0437\u0435\u043c, \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f, \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u0446\u0438\u0440\u043a\u043e\u043d\u0438\u044f, \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u0438 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430, \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u043a \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u044f \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0439 \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>As semiconductor technology continues to evolve toward smaller nodes, higher integration density, and more complex manufacturing processes, the demand for advanced materials inside semiconductor equipment has increased dramatically. Modern semiconductor fabrication environments require materials capable of withstanding extreme temperatures, corrosive plasma exposure, ultra-clean vacuum conditions, and high mechanical stress while maintaining dimensional stability and contamination [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":2114,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[3],"tags":[46,252,253,102,255,262,259,254,257,258,260,251,90,261,81,256,247,78,250,79,249,99,248],"class_list":["post-2142","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-industry-news","tag-advanced-ceramics","tag-aln-ceramic","tag-alumina-ceramic","tag-aluminum-nitride","tag-beo-ceramic","tag-boron-nitride","tag-cmp-components","tag-engineering-ceramics","tag-plasma-resistant-materials","tag-precision-ceramics","tag-quartz-ceramic","tag-semiconductor-ceramics","tag-semiconductor-equipment","tag-semiconductor-etching","tag-semiconductor-manufacturing","tag-si3n4-ceramic","tag-sic-ceramic","tag-silicon-carbide","tag-silicon-nitride","tag-thermal-management-materials","tag-wafer-boat","tag-wafer-handling","tag-zirconia-ceramic"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2142","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2142"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2142\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2143,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2142\/revisions\/2143"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2114"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2142"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2142"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2142"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}