{"id":2041,"date":"2026-05-08T05:45:52","date_gmt":"2026-05-08T05:45:52","guid":{"rendered":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/?post_type=product&p=2041"},"modified":"2026-05-08T05:45:52","modified_gmt":"2026-05-08T05:45:52","slug":"sic-ceramic-end-effector-for-precision-wafer-handling-in-semiconductor-equipment","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/pl\/product\/sic-ceramic-end-effector-for-precision-wafer-handling-in-semiconductor-equipment\/","title":{"rendered":"Ceramiczny efektor ko\u0144cowy SiC do precyzyjnej obs\u0142ugi wafli w urz\u0105dzeniach p\u00f3\u0142przewodnikowych"},"content":{"rendered":"

\"\"The Ceramiczny efektor ko\u0144cowy SiC<\/strong> to wysokowydajny element do obs\u0142ugi p\u0142ytek p\u00f3\u0142przewodnikowych przeznaczony do automatyzacji p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w i precyzyjnych system\u00f3w zrobotyzowanych. Jest produkowany z ceramiki z w\u0119glika krzemu (SiC) o bardzo wysokiej czysto\u015bci, oferuj\u0105c wyj\u0105tkow\u0105 wytrzyma\u0142o\u015b\u0107 mechaniczn\u0105, stabilno\u015b\u0107 termiczn\u0105 i odporno\u015b\u0107 chemiczn\u0105 w ekstremalnych \u015brodowiskach procesowych.<\/p>\n

W por\u00f3wnaniu z konwencjonalnymi efektorami ko\u0144cowymi z aluminium, stali nierdzewnej lub kwarcu Ceramiczny efektor ko\u0144cowy SiC<\/strong> zapewnia znacznie ni\u017csz\u0105 generacj\u0119 cz\u0105stek, doskona\u0142\u0105 stabilno\u015b\u0107 wymiarow\u0105 i doskona\u0142\u0105 odporno\u015b\u0107 na odkszta\u0142cenia termiczne. Jest szeroko stosowany w systemach transferu wafli, gdzie precyzja, czysto\u015b\u0107 i niezawodno\u015b\u0107 maj\u0105 kluczowe znaczenie.<\/p>\n

Produkt ten jest odpowiedni dla zaawansowanych \u015brodowisk produkcji p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w, w tym kom\u00f3r pr\u00f3\u017cniowych, proces\u00f3w plazmowych i urz\u0105dze\u0144 wysokotemperaturowych.<\/p>\n

\n

Specyfikacja techniczna<\/h2>\n
\n
\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
W\u0142asno\u015b\u0107<\/th>\nJednostka<\/th>\nWarto\u015b\u0107<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
Struktura krystaliczna<\/td>\n-<\/td>\nFCC \u03b2 Faza<\/td>\n<\/tr>\n
G\u0119sto\u015b\u0107<\/td>\ng\/cm\u00b3<\/td>\n3.21<\/td>\n<\/tr>\n
Czysto\u015b\u0107 chemiczna<\/td>\n%<\/td>\n99.99995<\/td>\n<\/tr>\n
Twardo\u015b\u0107<\/td>\nHV<\/td>\n2500<\/td>\n<\/tr>\n
Wytrzyma\u0142o\u015b\u0107 na zginanie<\/td>\nMPa<\/td>\n415<\/td>\n<\/tr>\n
Modu\u0142 Younga<\/td>\nGPa<\/td>\n430<\/td>\n<\/tr>\n
Przewodno\u015b\u0107 cieplna<\/td>\nW\/m-K<\/td>\n300<\/td>\n<\/tr>\n
Wsp\u00f3\u0142czynnik rozszerzalno\u015bci cieplnej<\/td>\n10-\u2076\/K<\/td>\n4.5<\/td>\n<\/tr>\n
Maksymalna temperatura pracy<\/td>\n\u00b0C<\/td>\n2700<\/td>\n<\/tr>\n
Pojemno\u015b\u0107 cieplna<\/td>\nJ-kg-\u00b9-K-\u00b9<\/td>\n640<\/td>\n<\/tr>\n
Wielko\u015b\u0107 ziarna<\/td>\n\u03bcm<\/td>\n2-10<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n

\"\"Kluczowe cechy<\/h2>\n

Materia\u0142 o bardzo wysokiej czysto\u015bci<\/strong>
Zapewnia minimalne zanieczyszczenie cz\u0105steczkami w pomieszczeniach czystych.<\/p>\n

Doskona\u0142a stabilno\u015b\u0107 termiczna<\/strong>
Zachowuje integralno\u015b\u0107 strukturaln\u0105 podczas wielokrotnych cykli termicznych i przetwarzania w wysokiej temperaturze.<\/p>\n

Niska rozszerzalno\u015b\u0107 cieplna<\/strong>
Zapewnia wysok\u0105 dok\u0142adno\u015b\u0107 wymiarow\u0105 podczas operacji przenoszenia p\u0142ytek.<\/p>\n

Wysoka wytrzyma\u0142o\u015b\u0107 mechaniczna<\/strong>
Odporno\u015b\u0107 na p\u0119kni\u0119cia, zu\u017cycie i d\u0142ugotrwa\u0142e zm\u0119czenie w systemach produkcji ci\u0105g\u0142ej.<\/p>\n

Odporno\u015b\u0107 chemiczna<\/strong>
Stabilno\u015b\u0107 w \u015brodowisku plazmy, gaz\u00f3w korozyjnych i pr\u00f3\u017cni.<\/p>\n

Ultra g\u0142adkie wyko\u0144czenie powierzchni<\/strong>
Zmniejsza zarysowania wafli i poprawia bezpiecze\u0144stwo obs\u0142ugi.<\/p>\n

D\u0142uga \u017cywotno\u015b\u0107<\/strong>
Zaprojektowany dla wysokowydajnych system\u00f3w produkcji p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w.<\/p>\n

\n

Proces produkcji<\/h2>\n

The Ceramiczny efektor ko\u0144cowy SiC<\/strong> jest produkowany przy u\u017cyciu zaawansowanych technik in\u017cynierii ceramicznej.<\/p>\n

Proszek w\u0119glika krzemu o wysokiej czysto\u015bci jest wybierany i \u015bci\u015ble kontrolowany w celu zapewnienia sp\u00f3jno\u015bci materia\u0142u.<\/p>\n

Precyzyjne formowanie odbywa si\u0119 za pomoc\u0105 prasowania izostatycznego na zimno lub formowania wtryskowego w celu uzyskania z\u0142o\u017conych geometrii.<\/p>\n

Spiekanie w wysokiej temperaturze powy\u017cej 2000\u00b0C zapewnia pe\u0142ne zag\u0119szczenie i stabilno\u015b\u0107 strukturaln\u0105.<\/p>\n

Obr\u00f3bka diamentowa CNC jest stosowana w celu osi\u0105gni\u0119cia precyzji na poziomie mikron\u00f3w i p\u0142asko\u015bci wafla.<\/p>\n

Ko\u0144cowe polerowanie i kontrola zapewniaj\u0105 zgodno\u015b\u0107 ze standardami p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w.<\/p>\n

Przed dostaw\u0105 ka\u017cdy produkt przechodzi rygorystyczn\u0105 kontrol\u0119 wymiar\u00f3w, testy jako\u015bci powierzchni i ocen\u0119 nieniszcz\u0105c\u0105.<\/p>\n

\n

Zastosowania<\/h2>\n

The Ceramiczny efektor ko\u0144cowy SiC<\/strong> jest szeroko stosowany w p\u00f3\u0142przewodnikach i precyzyjnych systemach automatyki.<\/p>\n

Systemy przenoszenia wafli 6-, 8- i 12-calowych<\/p>\n

Zrobotyzowane systemy obs\u0142ugi p\u0142ytek w komorach pr\u00f3\u017cniowych<\/p>\n

Sprz\u0119t do CVD, ALD, trawienia i osadzania<\/p>\n

Zautomatyzowane systemy za\u0142adunku i roz\u0142adunku FOUP i FOSB<\/p>\n

Linie produkcyjne do automatyzacji p\u0142ytek w pomieszczeniach czystych<\/p>\n

Systemy obr\u00f3bki laserowej i wy\u017carzania termicznego<\/p>\n

\"\"<\/p>\n

\n

Zalety w por\u00f3wnaniu z tradycyjnymi materia\u0142ami<\/h2>\n

W por\u00f3wnaniu z aluminiowymi efektorami ko\u0144cowymi, ceramika SiC zapewnia lepsz\u0105 stabilno\u015b\u0107 termiczn\u0105 i eliminuje ryzyko zanieczyszczenia metalami.<\/p>\n

W por\u00f3wnaniu z kwarcem oferuje wy\u017csz\u0105 wytrzyma\u0142o\u015b\u0107 mechaniczn\u0105 i ni\u017csze wytwarzanie cz\u0105stek.<\/p>\n

W por\u00f3wnaniu ze stal\u0105 nierdzewn\u0105 dzia\u0142a bardziej niezawodnie w \u015brodowiskach plazmowych i wysokotemperaturowych.<\/p>\n

\n

FAQ<\/h2>\n

Dlaczego warto wybra\u0107 ceramiczny efektor ko\u0144cowy SiC zamiast metalowego lub kwarcowego?<\/strong>
Ceramika SiC zapewnia doskona\u0142\u0105 stabilno\u015b\u0107 termiczn\u0105, odporno\u015b\u0107 chemiczn\u0105 i bardzo niskie wytwarzanie cz\u0105stek, dzi\u0119ki czemu idealnie nadaje si\u0119 do zaawansowanych proces\u00f3w p\u00f3\u0142przewodnikowych.<\/p>\n

Czy mo\u017cna go dostosowa\u0107?<\/strong>
Tak, obs\u0142ugujemy pe\u0142ne dostosowanie, w tym geometri\u0119, d\u0142ugo\u015b\u0107 ramienia, interfejs monta\u017cowy i zgodno\u015b\u0107 z rozmiarem p\u0142ytki.<\/p>\n

Czy nadaje si\u0119 do system\u00f3w pr\u00f3\u017cniowych i plazmowych?<\/strong>
Tak, ceramika SiC jest chemicznie oboj\u0119tna i dzia\u0142a niezawodnie w \u015brodowiskach ultra wysokiej pr\u00f3\u017cni i plazmy.<\/p>\n

Jaki jest okres u\u017cytkowania?<\/strong>
Oferuje znacznie d\u0142u\u017csz\u0105 \u017cywotno\u015b\u0107 w por\u00f3wnaniu z konwencjonalnymi metalowymi lub kwarcowymi czujnikami ko\u0144cowymi w standardowych warunkach pracy.<\/p>\n

Czy dostarczacie raporty z inspekcji?<\/strong>
Tak, na \u017c\u0105danie dostarczamy raporty wymiarowe, certyfikaty materia\u0142owe i dokumentacj\u0119 kontroli jako\u015bci.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

The Ceramiczny efektor ko\u0144cowy SiC<\/strong> to wysokowydajny element do obs\u0142ugi p\u0142ytek p\u00f3\u0142przewodnikowych przeznaczony do automatyzacji p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w i precyzyjnych system\u00f3w zrobotyzowanych. Jest produkowany z ceramiki z w\u0119glika krzemu (SiC) o bardzo wysokiej czysto\u015bci, oferuj\u0105c wyj\u0105tkow\u0105 wytrzyma\u0142o\u015b\u0107 mechaniczn\u0105, stabilno\u015b\u0107 termiczn\u0105 i odporno\u015b\u0107 chemiczn\u0105 w ekstremalnych \u015brodowiskach procesowych.<\/p>","protected":false},"featured_media":2045,"comment_status":"open","ping_status":"closed","template":"","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"default","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}}},"product_brand":[],"product_cat":[23],"product_tag":[114,116,117,115,113,119,112,108,107,110,105,104,109,118,111,106],"class_list":["post-2041","product","type-product","status-publish","has-post-thumbnail","product_cat-silicon-carbide-sic","product_tag-cleanroom-automation","product_tag-cvd-ald-equipment-parts","product_tag-etching-equipment-components","product_tag-foup-fosb-handling","product_tag-high-temperature-ceramic","product_tag-industrial-ceramic-components","product_tag-plasma-resistant-materials","product_tag-precision-ceramic-components","product_tag-robotic-end-effector","product_tag-semiconductor-equipment-parts","product_tag-semiconductor-wafer-handling","product_tag-sic-ceramic-end-effector","product_tag-silicon-carbide-ceramic","product_tag-ultra-high-purity-ceramics","product_tag-vacuum-compatible-components","product_tag-wafer-transfer-system","desktop-align-left","tablet-align-left","mobile-align-left","first","instock","shipping-taxable","product-type-simple"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2041","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/product"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/types\/product"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2041"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2045"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2041"}],"wp:term":[{"taxonomy":"product_brand","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/product_brand?post=2041"},{"taxonomy":"product_cat","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/product_cat?post=2041"},{"taxonomy":"product_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/product_tag?post=2041"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}