{"id":2322,"date":"2026-05-29T02:28:31","date_gmt":"2026-05-29T02:28:31","guid":{"rendered":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/?post_type=product&p=2322"},"modified":"2026-05-29T02:44:45","modified_gmt":"2026-05-29T02:44:45","slug":"silicon-carbide-cantilever-paddle-for-semiconductor-photovoltaic-high-temperature-furnace-systems","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/nl\/product\/silicon-carbide-cantilever-paddle-for-semiconductor-photovoltaic-high-temperature-furnace-systems\/","title":{"rendered":"Siliciumcarbide Cantilever Stootkussen voor Halfgeleider & Fotovolta\u00efsche Ovensystemen op hoge temperatuur"},"content":{"rendered":"

\"\"De Silicon Carbide Cantilever Paddle (SiC Cantilever Paddle) is een hoogwaardige structurele component vervaardigd uit reactiegebonden siliciumcarbide (RB-SiC). Het is speciaal ontworpen voor verwerkingsapparatuur voor halfgeleiders en fotovolta\u00efsche toepassingen bij hoge temperaturen en biedt uitstekende thermische stabiliteit, mechanische sterkte, corrosiebestendigheid en maatnauwkeurigheid onder extreme bedrijfsomstandigheden.<\/p>\n

Met zijn cantileverstructuur kan de paddle meerdere wafers veilig ondersteunen en transporteren in diffusieovens, oxidatieovens, LPCVD-systemen en coatingapparatuur. Vergeleken met conventionele kwarts of metalen draagsystemen bieden cantilever-paddles van SiC een aanzienlijk langere levensduur, een lager vervuilingsrisico en een superieure weerstand tegen thermische vervorming.<\/p>\n

Dankzij de lage thermische uitzettingsco\u00ebffici\u00ebnt en hoge thermische geleidbaarheid behoudt de paddle een uitstekende structurele integriteit tijdens herhaalde verwarmings- en koelcycli, waardoor hij ideaal is voor continue industri\u00eble productieomgevingen met hoge temperaturen.<\/p>\n

\n
\n<\/div>\n

Belangrijkste kenmerken van SiC Cantilever Paddle<\/h2>\n

Uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen<\/h3>\n

De SiC cantilever schoep kan continu werken bij temperaturen tot 1380 \u00b0C zonder vervorming of structurele defecten. Dit maakt hem zeer geschikt voor halfgeleiderdiffusie-, oxidatie-, nitridatie-, gloei- en LPCVD-processen tussen 1000-1300 \u00b0C.<\/p>\n

Uitstekende mechanische sterkte<\/h3>\n

Het RB-SiC materiaal biedt een uitzonderlijke buigsterkte en stijfheid, zelfs bij hoge temperaturen. De stabiele dwarsdoorsnede zorgt voor een betrouwbare ondersteuning van wafers met een grote diameter en minimaliseert trillingen en doorzakken tijdens het gebruik van de oven.<\/p>\n

Ultralage vervuiling<\/h3>\n

In tegenstelling tot metaaldragers laat siliciumcarbide geen metaalionen of -deeltjes los tijdens verwerking bij hoge temperatuur. Dit helpt om de wafer schoon te houden en verbetert de opbrengst van halfgeleiderfabricage.<\/p>\n

Uitstekende weerstand tegen thermische schokken<\/h3>\n

De peddel is bestand tegen snelle verwarmings- en koelcycli zonder te barsten of krom te trekken. De hoge weerstand tegen thermische schokken verlengt de operationele levensduur aanzienlijk en verlaagt de onderhoudsfrequentie.<\/p>\n

Superieure corrosiebestendigheid<\/h3>\n

SiC-materiaal is uitstekend bestand tegen zuren, alkali\u00ebn, oxidatie en corrosieve procesgassen, waardoor het geschikt is voor ruwe chemische verwerkingsomgevingen.<\/p>\n

Compatibiliteit met LPCVD-proces<\/h3>\n

De thermische uitzettingsco\u00ebffici\u00ebnt van siliciumcarbide komt dicht in de buurt van de gebruikelijke LPCVD-coatingmaterialen, waardoor thermische spanning, coating delaminatie en deeltjesvervuiling effectief worden verminderd.<\/p>\n

Lange levensduur<\/h3>\n

In vergelijking met kwarts- en metalen schoepen bieden SiC cantilever schoepen een aanzienlijk langere levensduur en een lagere vervangingsfrequentie, waardoor de bedrijfskosten op lange termijn dalen.<\/p>\n

\n
\n<\/div>\n

Technische specificaties<\/h2>\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
Item<\/th>\nEenheid<\/th>\nGegevens<\/th>\n<\/tr>\n
Maximale bedrijfstemperatuur<\/td>\n\u2103<\/td>\n1380<\/td>\n<\/tr>\n
Dichtheid<\/td>\ng\/cm\u00b3<\/td>\n3.04\u20133.08<\/td>\n<\/tr>\n
Open porositeit<\/td>\n%<\/td>\n<0.1<\/td>\n<\/tr>\n
Buigsterkte<\/td>\nMPa<\/td>\n250 (20\u2103) \/ 280 (1200\u2103)<\/td>\n<\/tr>\n
Elasticiteitsmodulus<\/td>\nGPa<\/td>\n330 (20\u2103) \/ 300 (1200\u2103)<\/td>\n<\/tr>\n
Thermische geleidbaarheid<\/td>\nW\/m-K<\/td>\n45 (1200\u2103)<\/td>\n<\/tr>\n
Thermische uitzettingsco\u00ebffici\u00ebnt<\/td>\nK-\u00b9\u00d710-\u2076<\/td>\n4.5<\/td>\n<\/tr>\n
Hardheid (Vickers)<\/td>\nHV2<\/td>\n\u22652100<\/td>\n<\/tr>\n
Zuur\/alkalische weerstand<\/td>\n\u2014<\/td>\nUitstekend<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n
\n
\n<\/div>\n

Standaardafmetingen<\/h2>\n

Beschikbare standaardlengtes zijn onder andere:<\/p>\n

    \n
  • 2378 mm<\/li>\n
  • 2550 mm<\/li>\n
  • 2660 mm<\/li>\n<\/ul>\n

    Aangepaste afmetingen, groefstructuren, wafercapaciteiten en montageconfiguraties zijn beschikbaar volgens het ovenontwerp en de procesvereisten van de klant.<\/p>\n

    \n
    \n<\/div>\n

    Typische toepassingen<\/h2>\n

    \"\"Halfgeleiderindustrie<\/h3>\n

    SiC cantilever paddles worden veel gebruikt in halfgeleiderproductieprocessen, waaronder:<\/p>\n

      \n
    • Wafer verspreiding<\/li>\n
    • Oxidatie<\/li>\n
    • LPCVD-depositie<\/li>\n
    • Nitridatie<\/li>\n
    • Gloeien<\/li>\n
    • Transport en laden van wafers<\/li>\n<\/ul>\n

      Hun hoge zuiverheid en dimensionale stabiliteit helpen contaminatierisico's te verminderen en de procesconsistentie te verbeteren.<\/p>\n

      \"\"Fotovolta\u00efsche industrie<\/h3>\n

      Bij de productie van zonnecellen dient de paddle als drager voor wafers bij hoge temperatuur:<\/p>\n

        \n
      • Polykristallijn silicium wafers<\/li>\n
      • Monokristallijn silicium wafers<\/li>\n
      • Diffusieovens<\/li>\n
      • PECVD en coatingsystemen<\/li>\n<\/ul>\n

        Het materiaal blijft stabiel onder herhaalde thermische cyclische omstandigheden die vaak voorkomen in fotovolta\u00efsche productielijnen.<\/p>\n

        Chemische en industri\u00eble toepassingen<\/h3>\n

        Dankzij de uitstekende corrosiebestendigheid kan de SiC cantilever schoep ook worden gebruikt in:<\/p>\n

          \n
        • Corrosieve chemische reactoren<\/li>\n
        • Circulatiesystemen voor hoge temperaturen<\/li>\n
        • Industri\u00eble thermische verwerkingsapparatuur<\/li>\n
        • Agressieve gasomgevingen<\/li>\n<\/ul>\n
          \n
          \n<\/div>\n

          Voordelen vergeleken met metalen of kwarts peddels<\/h2>\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
          Eigendom<\/td>\nSiC peddel<\/td>\nKwarts peddel<\/td>\nMetalen peddel<\/td>\n<\/tr>\n
          Weerstand tegen hoge temperaturen<\/td>\nUitstekend<\/td>\nMatig<\/td>\nMatig<\/td>\n<\/tr>\n
          Weerstand tegen thermische schokken<\/td>\nUitstekend<\/td>\nSlecht<\/td>\nMatig<\/td>\n<\/tr>\n
          Corrosiebestendigheid<\/td>\nUitstekend<\/td>\nGoed<\/td>\nSlecht<\/td>\n<\/tr>\n
          Mechanische sterkte<\/td>\nZeer hoog<\/td>\nLaag<\/td>\nHoog<\/td>\n<\/tr>\n
          Deeltjesverontreiniging<\/td>\nZeer laag<\/td>\nMatig<\/td>\nHoog<\/td>\n<\/tr>\n
          Levensduur<\/td>\nLang<\/td>\nKort<\/td>\nMatig<\/td>\n<\/tr>\n
          Grote wafersteun<\/td>\nUitstekend<\/td>\nBeperkt<\/td>\nMatig<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n
          \n
          \n<\/div>\n

          FAQ - Siliciumcarbide cantilever schoep<\/h2>\n

          1. Wat is de maximale bedrijfstemperatuur?<\/h3>\n

          De maximale bedrijfstemperatuur is 1380 \u00b0C. Hij presteert betrouwbaar in halfgeleider- en fotovolta\u00efsche processen bij hoge temperaturen tussen 1000-1300 \u00b0C.<\/p>\n

          2. Waarom kiezen voor siliciumcarbide in plaats van metalen schoepen?<\/h3>\n

          Metalen schoepen kunnen bij hoge temperaturen oxideren, vervormen of metaalverontreinigingen afgeven. Siliciumcarbide biedt superieure hardheid, thermische stabiliteit, corrosiebestendigheid en ultralage vervuilingskenmerken.<\/p>\n

          3. Is de peddel geschikt voor grote wafels zoals wafels van 12 inch?<\/h3>\n

          Ja. De cantileverstructuur en hoge mechanische sterkte zorgen voor een stabiele ondersteuning van wafers met een grote diameter, terwijl de maatnauwkeurigheid behouden blijft.<\/p>\n

          4. Kan het worden aangepast?<\/h3>\n

          Ja. Aangepaste afmetingen, diktes, wafercapaciteiten, sleufontwerpen en montagestructuren zijn beschikbaar op basis van de vereisten van de klant.<\/p>\n

           <\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

          De Cantilever Paddle van siliciumcarbide is een geavanceerde drageroplossing voor hoge temperaturen voor halfgeleider-, fotovolta\u00efsche en industri\u00eble oventoepassingen. De combinatie van uitzonderlijke thermische stabiliteit, hoge mechanische sterkte, corrosiebestendigheid en ultralage vervuilingskenmerken zorgt voor een betrouwbare verwerking van wafers in veeleisende procesomgevingen.<\/p>\n

          Met aanpasbare afmetingen en compatibiliteit met moderne diffusie- en LPCVD-systemen worden SiC cantilever-paddles een essentieel onderdeel voor de volgende generatie fabricageprocessen bij hoge temperaturen.<\/p>","protected":false},"featured_media":2323,"comment_status":"open","ping_status":"closed","template":"","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"default","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}}},"product_brand":[],"product_cat":[23],"product_tag":[595,589,584,392,582,587,591,597,583,596,357,594,581,585,592,578,579,352,580,408,593,577,576,586,590,588,353,406],"class_list":["post-2322","product","type-product","status-publish","has-post-thumbnail","product_cat-silicon-carbide-sic","product_tag-annealing","product_tag-corrosion-resistance","product_tag-diffusion-furnace","product_tag-high-purity-sic","product_tag-high-temperature-furnace","product_tag-high-temperature-resistance","product_tag-industrial-furnace","product_tag-industrial-thermal-processing","product_tag-lpcvd","product_tag-nitridation","product_tag-oxidation-furnace","product_tag-pecvd","product_tag-photovoltaic-furnace","product_tag-photovoltaic-processing","product_tag-quartz-paddle-alternative","product_tag-rb-sic","product_tag-reaction-bonded-silicon-carbide","product_tag-semiconductor-equipment","product_tag-semiconductor-furnace","product_tag-semiconductor-processing","product_tag-semiconductor-wafer-carrier","product_tag-sic-cantilever-paddle","product_tag-silicon-carbide-cantilever-paddle","product_tag-silicon-carbide-paddle","product_tag-solar-cell-manufacturing","product_tag-thermal-shock-resistance","product_tag-wafer-carrier","product_tag-wafer-handling","desktop-align-left","tablet-align-left","mobile-align-left","first","instock","shipping-taxable","product-type-simple"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2322","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/product"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/types\/product"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2322"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2323"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2322"}],"wp:term":[{"taxonomy":"product_brand","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/product_brand?post=2322"},{"taxonomy":"product_cat","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/product_cat?post=2322"},{"taxonomy":"product_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/product_tag?post=2322"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}