![\"Alumina](\"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Precision-Machined-Alumina-Ceramic-Gas-Shower-Disc-for-Semiconductor-and-Industrial-Gas-Distribution-Systems-1-300x300.png\")
De 99% aluminiumoxide keramische gasdistributiezitting is een hoogwaardig keramisch precisiecomponent ontworpen voor ultrastabiele gasstroomregeling in geavanceerde industri\u00eble systemen. Hij is gemaakt van hoogzuiver 99% aluminiumoxide (Al\u2082O\u2083) en biedt uitstekende mechanische sterkte, chemische stabiliteit en elektrische isolatie.<\/p>\n
Dit onderdeel wordt veel gebruikt in apparatuur voor de productie van halfgeleiders, vacu\u00fcm coatingsystemen, plasma-etskamers, CVD- en PECVD-systemen en hoogzuivere gasdistributiemodules.<\/p>\n
De belangrijkste functie is zorgen voor een uniforme en stabiele gasdiffusie in de proceskamers, waardoor procesvariatie wordt verminderd, de opbrengst constanter wordt en het risico op vervuiling wordt geminimaliseerd. Vergeleken met metaal, kwarts of keramiek van lagere kwaliteit biedt 99% aluminiumoxide een aanzienlijk betere slijtvastheid, maatvastheid en betrouwbaarheid op de lange termijn.<\/p>\n
Dit product is gemaakt van 99% aluminiumoxide keramiek met een hoge dichtheid, dat wordt beschouwd als een van de meest stabiele en meest gebruikte geavanceerde technische keramiek in industri\u00eble precisieomgevingen.<\/p>\n
![\"Alumina](\"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Precision-Machined-Alumina-Ceramic-Gas-Shower-Disc-for-Semiconductor-and-Industrial-Gas-Distribution-Systems-2-300x300.png\")
Belangrijkste materiaaleigenschappen:<\/h3>\nVergeleken met aluminiumoxide 95% biedt aluminiumoxide 99% een hogere hardheid, betere slijtvastheid en verbeterde structurele stabiliteit, waardoor het geschikter is voor hoogwaardige halfgeleider- en precisiecoatingsystemen.<\/p>\n
De keramische gasdistributiezitting is ontworpen met een nauwkeurig gecontroleerde poreuze structuur of microkanaalsysteem. Deze structuur zorgt voor een gecontroleerde diffusie van procesgassen in vacu\u00fcm- of reactiekamers.<\/p>\n
De poriestructuur kan worden aangepast aan specifieke stroomsnelheden, gassoorten en kamerconfiguraties.<\/p>\n
![\"Alumina](\"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Precision-Machined-Alumina-Ceramic-Gas-Shower-Disc-for-Semiconductor-and-Industrial-Gas-Distribution-Systems-3-300x300.png\")
Belangrijkste prestatievoordelen van 99% aluminiumoxide<\/h2>\n| Eigendom<\/th>\n | 99% aluminiumoxide (Al\u2082O\u2083 \u2265 99%)<\/th>\n | 95% Aluminiumoxide<\/th>\n | Zirkonia<\/th>\n | Steatiet<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Dichtheid (g\/cm\u00b3)<\/td>\n | 3.85<\/td>\n | 3.65<\/td>\n | 5.9<\/td>\n | 2.8<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Waterabsorptie (%)<\/td>\n | 0<\/td>\n | 0<\/td>\n | 0<\/td>\n | 0<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Sintertemperatuur (\u2103)<\/td>\n | 1690<\/td>\n | 1670<\/td>\n | 1650<\/td>\n | 1350<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Hardheid (HV)<\/td>\n | 1700<\/td>\n | 1600<\/td>\n | 1400<\/td>\n | 800<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Buigsterkte (MPa)<\/td>\n | >350<\/td>\n | >290<\/td>\n | >1100<\/td>\n | 90<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Druksterkte (Kgf\/cm\u00b2)<\/td>\n | 30000<\/td>\n | 25000<\/td>\n | 25000<\/td>\n | 4000<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Maximale bedrijfstemperatuur (\u2103)<\/td>\n | 1500<\/td>\n | 1400<\/td>\n | 1600<\/td>\n | 1100<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Thermische uitzetting (\u00d710-\u2076\/\u2103)<\/td>\n | 8<\/td>\n | 7.8<\/td>\n | 10<\/td>\n | 6<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Weerstand tegen thermische schokken (\u0394T \u2103)<\/td>\n | 200<\/td>\n | 220<\/td>\n | 350<\/td>\n | 200<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Warmtegeleidingsvermogen (W\/m-K)<\/td>\n | 3<\/td>\n | 2<\/td>\n | 3<\/td>\n | 2.5<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Volumeweerstandsvermogen (\u03a9-cm)<\/td>\n | >10\u00b9\u00b2<\/td>\n | >10\u00b9\u00b2<\/td>\n | >10\u00b9\u00b2<\/td>\n | 10\u00b9\u00b2<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Di\u00eblektrische sterkte (KV\/mm)<\/td>\n | 18<\/td>\n | 16<\/td>\n | 15<\/td>\n | 10<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Di\u00eblektrische constante (1MHz)<\/td>\n | 9.2-10.5<\/td>\n | 9.0-10<\/td>\n | 12<\/td>\n | 5.8<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n \n Technische parameters<\/h2>\n\n
|