{"id":2322,"date":"2026-05-29T02:28:31","date_gmt":"2026-05-29T02:28:31","guid":{"rendered":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/?post_type=product&p=2322"},"modified":"2026-05-29T02:44:45","modified_gmt":"2026-05-29T02:44:45","slug":"silicon-carbide-cantilever-paddle-for-semiconductor-photovoltaic-high-temperature-furnace-systems","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fr\/product\/silicon-carbide-cantilever-paddle-for-semiconductor-photovoltaic-high-temperature-furnace-systems\/","title":{"rendered":"Palettes en carbure de silicium en porte-\u00e0-faux pour les syst\u00e8mes de fours \u00e0 haute temp\u00e9rature pour semi-conducteurs et photovolta\u00efques"},"content":{"rendered":"

\"\"La palette en porte-\u00e0-faux en carbure de silicium (palette en porte-\u00e0-faux en SiC) est un composant structurel de haute performance fabriqu\u00e9 \u00e0 partir de carbure de silicium li\u00e9 par r\u00e9action (RB-SiC). Con\u00e7ue sp\u00e9cifiquement pour les \u00e9quipements de traitement des semi-conducteurs et des cellules photovolta\u00efques \u00e0 haute temp\u00e9rature, elle offre une excellente stabilit\u00e9 thermique, une r\u00e9sistance m\u00e9canique, une r\u00e9sistance \u00e0 la corrosion et une pr\u00e9cision dimensionnelle dans des conditions de fonctionnement extr\u00eames.<\/p>\n

Gr\u00e2ce \u00e0 sa structure en porte-\u00e0-faux, la palette peut supporter et transporter plusieurs plaquettes en toute s\u00e9curit\u00e9 \u00e0 l'int\u00e9rieur des fours de diffusion, des fours d'oxydation, des syst\u00e8mes LPCVD et des \u00e9quipements de rev\u00eatement. Par rapport aux syst\u00e8mes de support conventionnels en quartz ou en m\u00e9tal, les palettes en porte-\u00e0-faux en SiC offrent une dur\u00e9e de vie nettement plus longue, un risque de contamination plus faible et une r\u00e9sistance sup\u00e9rieure \u00e0 la d\u00e9formation thermique.<\/p>\n

Gr\u00e2ce \u00e0 son faible coefficient de dilatation thermique et \u00e0 sa conductivit\u00e9 thermique \u00e9lev\u00e9e, la palette conserve une excellente int\u00e9grit\u00e9 structurelle pendant les cycles r\u00e9p\u00e9t\u00e9s de chauffage et de refroidissement, ce qui la rend id\u00e9ale pour les environnements de production industrielle continue \u00e0 haute temp\u00e9rature.<\/p>\n

\n
\n<\/div>\n

Principales caract\u00e9ristiques de la pagaie SiC Cantilever<\/h2>\n

Excellente r\u00e9sistance aux hautes temp\u00e9ratures<\/h3>\n

La palette cantilever en SiC peut fonctionner en continu \u00e0 des temp\u00e9ratures allant jusqu'\u00e0 1380 \u00b0C sans d\u00e9formation ni d\u00e9faillance structurelle. Elle convient donc parfaitement aux processus de diffusion, d'oxydation, de nitruration, de recuit et de LPCVD des semi-conducteurs fonctionnant entre 1 000 et 1 300 \u00b0C.<\/p>\n

R\u00e9sistance m\u00e9canique exceptionnelle<\/h3>\n

Le mat\u00e9riau RB-SiC offre une r\u00e9sistance \u00e0 la flexion et une rigidit\u00e9 exceptionnelles, m\u00eame \u00e0 des temp\u00e9ratures \u00e9lev\u00e9es. La conception stable de la section transversale garantit un support fiable pour les plaquettes de grand diam\u00e8tre tout en minimisant les vibrations et l'affaissement pendant le fonctionnement du four.<\/p>\n

Tr\u00e8s faible contamination<\/h3>\n

Contrairement aux supports m\u00e9talliques, le carbure de silicium ne lib\u00e8re pas d'ions ou de particules m\u00e9talliques pendant le traitement \u00e0 haute temp\u00e9rature. Cela permet de maintenir la propret\u00e9 des plaquettes et d'am\u00e9liorer le rendement de la fabrication des semi-conducteurs.<\/p>\n

Excellente r\u00e9sistance aux chocs thermiques<\/h3>\n

La palette r\u00e9siste \u00e0 des cycles de chauffage et de refroidissement rapides sans se fissurer ni se d\u00e9former. Sa grande r\u00e9sistance aux chocs thermiques prolonge consid\u00e9rablement sa dur\u00e9e de vie et r\u00e9duit la fr\u00e9quence des op\u00e9rations de maintenance.<\/p>\n

R\u00e9sistance sup\u00e9rieure \u00e0 la corrosion<\/h3>\n

Le mat\u00e9riau SiC pr\u00e9sente une excellente r\u00e9sistance aux acides, aux alcalis, \u00e0 l'oxydation et aux gaz de traitement corrosifs, ce qui le rend adapt\u00e9 aux environnements de traitement chimique difficiles.<\/p>\n

Compatibilit\u00e9 des proc\u00e9d\u00e9s LPCVD<\/h3>\n

Le coefficient de dilatation thermique du carbure de silicium correspond \u00e9troitement aux mat\u00e9riaux de rev\u00eatement LPCVD courants, ce qui r\u00e9duit efficacement les contraintes thermiques, le d\u00e9collement du rev\u00eatement et la contamination par les particules.<\/p>\n

Longue dur\u00e9e de vie<\/h3>\n

Par rapport aux palettes en quartz et en m\u00e9tal, les palettes en porte-\u00e0-faux en SiC offrent une durabilit\u00e9 nettement am\u00e9lior\u00e9e et une fr\u00e9quence de remplacement r\u00e9duite, ce qui diminue les co\u00fbts d'exploitation \u00e0 long terme.<\/p>\n

\n
\n<\/div>\n

Sp\u00e9cifications techniques<\/h2>\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
Objet<\/th>\nUnit\u00e9<\/th>\nDonn\u00e9es<\/th>\n<\/tr>\n
Temp\u00e9rature de fonctionnement maximale<\/td>\n\u2103<\/td>\n1380<\/td>\n<\/tr>\n
Densit\u00e9<\/td>\ng\/cm\u00b3<\/td>\n3.04\u20133.08<\/td>\n<\/tr>\n
Porosit\u00e9 ouverte<\/td>\n%<\/td>\n<0.1<\/td>\n<\/tr>\n
R\u00e9sistance \u00e0 la flexion<\/td>\nMPa<\/td>\n250 (20\u2103) \/ 280 (1200\u2103)<\/td>\n<\/tr>\n
Module d'\u00e9lasticit\u00e9<\/td>\nGPa<\/td>\n330 (20\u2103) \/ 300 (1200\u2103)<\/td>\n<\/tr>\n
Conductivit\u00e9 thermique<\/td>\nW\/m-K<\/td>\n45 (1200\u2103)<\/td>\n<\/tr>\n
Coefficient de dilatation thermique<\/td>\nK-\u00b9\u00d710-\u2076<\/td>\n4.5<\/td>\n<\/tr>\n
Duret\u00e9 (Vickers)<\/td>\nHV2<\/td>\n\u22652100<\/td>\n<\/tr>\n
R\u00e9sistance aux acides et aux alcalins<\/td>\n\u2014<\/td>\nExcellent<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n
\n
\n<\/div>\n

Dimensions standard<\/h2>\n

Les longueurs standard disponibles sont les suivantes<\/p>\n

    \n
  • 2378 mm<\/li>\n
  • 2550 mm<\/li>\n
  • 2660 mm<\/li>\n<\/ul>\n

    Des tailles, des structures de fentes, des capacit\u00e9s de gaufrettes et des configurations de montage personnalis\u00e9es sont disponibles en fonction des conceptions de fours et des exigences de processus des clients.<\/p>\n

    \n
    \n<\/div>\n

    Applications typiques<\/h2>\n

    \"\"Industrie des semi-conducteurs<\/h3>\n

    Les palettes en porte-\u00e0-faux en SiC sont largement utilis\u00e9es dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, notamment :<\/p>\n

      \n
    • Diffusion de la plaquette<\/li>\n
    • Oxydation<\/li>\n
    • D\u00e9p\u00f4t LPCVD<\/li>\n
    • Nitridation<\/li>\n
    • Recuit<\/li>\n
    • Transport et chargement des plaquettes<\/li>\n<\/ul>\n

      Leur grande puret\u00e9 et leur stabilit\u00e9 dimensionnelle permettent de r\u00e9duire les risques de contamination et d'am\u00e9liorer la coh\u00e9rence des processus.<\/p>\n

      \"\"Industrie photovolta\u00efque<\/h3>\n

      Dans la fabrication des cellules solaires, la palette sert de support \u00e0 haute temp\u00e9rature pour les plaquettes :<\/p>\n

        \n
      • Plaques de silicium polycristallin<\/li>\n
      • Plaquettes de silicium monocristallin<\/li>\n
      • Fours de diffusion<\/li>\n
      • PECVD et syst\u00e8mes de rev\u00eatement<\/li>\n<\/ul>\n

        Le mat\u00e9riau reste stable dans les conditions de cycles thermiques r\u00e9p\u00e9t\u00e9s que l'on trouve couramment dans les lignes de production photovolta\u00efques.<\/p>\n

        Applications chimiques et industrielles<\/h3>\n

        En raison de son excellente r\u00e9sistance \u00e0 la corrosion, la palette cantilever en SiC peut \u00e9galement \u00eatre utilis\u00e9e dans.. :<\/p>\n

          \n
        • R\u00e9acteurs chimiques corrosifs<\/li>\n
        • Syst\u00e8mes de circulation \u00e0 haute temp\u00e9rature<\/li>\n
        • \u00c9quipement de traitement thermique industriel<\/li>\n
        • Environnements gazeux agressifs<\/li>\n<\/ul>\n
          \n
          \n<\/div>\n

          Avantages par rapport aux pagaies en m\u00e9tal ou en quartz<\/h2>\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
          Propri\u00e9t\u00e9<\/td>\nPagaie SiC<\/td>\nPalette \u00e0 quartz<\/td>\nPagaie en m\u00e9tal<\/td>\n<\/tr>\n
          R\u00e9sistance aux hautes temp\u00e9ratures<\/td>\nExcellent<\/td>\nMod\u00e9r\u00e9<\/td>\nMod\u00e9r\u00e9<\/td>\n<\/tr>\n
          R\u00e9sistance aux chocs thermiques<\/td>\nExcellent<\/td>\nPauvre<\/td>\nMod\u00e9r\u00e9<\/td>\n<\/tr>\n
          R\u00e9sistance \u00e0 la corrosion<\/td>\nExcellent<\/td>\nBon<\/td>\nPauvre<\/td>\n<\/tr>\n
          R\u00e9sistance m\u00e9canique<\/td>\nTr\u00e8s \u00e9lev\u00e9<\/td>\nFaible<\/td>\nHaut<\/td>\n<\/tr>\n
          Contamination par les particules<\/td>\nTr\u00e8s faible<\/td>\nMod\u00e9r\u00e9<\/td>\nHaut<\/td>\n<\/tr>\n
          Dur\u00e9e de vie<\/td>\nLongues<\/td>\nCourt<\/td>\nMod\u00e9r\u00e9<\/td>\n<\/tr>\n
          Support pour grandes tranches de silicium<\/td>\nExcellent<\/td>\nLimit\u00e9e<\/td>\nMod\u00e9r\u00e9<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n
          \n
          \n<\/div>\n

          FAQ - Palette cantilever en carbure de silicium<\/h2>\n

          1. Quelle est la temp\u00e9rature maximale de fonctionnement ?<\/h3>\n

          La temp\u00e9rature maximale de fonctionnement est de 1380 \u00b0C. Il fonctionne de mani\u00e8re fiable dans les processus de semi-conducteurs et photovolta\u00efques \u00e0 haute temp\u00e9rature entre 1 000 et 1 300 \u00b0C.<\/p>\n

          2. Pourquoi choisir le carbure de silicium plut\u00f4t que des palettes m\u00e9talliques ?<\/h3>\n

          Les palettes m\u00e9talliques peuvent s'oxyder, se d\u00e9former ou lib\u00e9rer des contaminants m\u00e9talliques \u00e0 des temp\u00e9ratures \u00e9lev\u00e9es. Le carbure de silicium offre une duret\u00e9 sup\u00e9rieure, une stabilit\u00e9 thermique, une r\u00e9sistance \u00e0 la corrosion et des caract\u00e9ristiques de contamination tr\u00e8s faibles.<\/p>\n

          3. La palette convient-elle pour des gaufrettes de grande taille, par exemple des gaufrettes de 12 pouces ?<\/h3>\n

          Oui. La structure en porte-\u00e0-faux et la r\u00e9sistance m\u00e9canique \u00e9lev\u00e9e permettent de soutenir de mani\u00e8re stable des plaquettes de grand diam\u00e8tre tout en maintenant la pr\u00e9cision dimensionnelle.<\/p>\n

          4. Peut-il \u00eatre personnalis\u00e9 ?<\/h3>\n

          Oui. Des dimensions, des \u00e9paisseurs, des capacit\u00e9s de plaquettes, des conceptions de fentes et des structures de montage personnalis\u00e9es sont disponibles en fonction des besoins du client.<\/p>\n

           <\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

          La palette cantilever en carbure de silicium est une solution avanc\u00e9e de support \u00e0 haute temp\u00e9rature pour les semi-conducteurs, les photovolta\u00efques et les applications de fours industriels. Combinant une stabilit\u00e9 thermique exceptionnelle, une r\u00e9sistance m\u00e9canique \u00e9lev\u00e9e, une r\u00e9sistance \u00e0 la corrosion et des caract\u00e9ristiques de contamination ultra-faibles, il offre des performances fiables en mati\u00e8re de manipulation des plaquettes dans des environnements de traitement exigeants.<\/p>\n

          Gr\u00e2ce \u00e0 leurs dimensions personnalisables et \u00e0 leur compatibilit\u00e9 avec les syst\u00e8mes modernes de diffusion et de LPCVD, les palettes en porte-\u00e0-faux en SiC deviennent un composant essentiel des processus de fabrication \u00e0 haute temp\u00e9rature de la prochaine g\u00e9n\u00e9ration.<\/p>","protected":false},"featured_media":2323,"comment_status":"open","ping_status":"closed","template":"","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"default","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}}},"product_brand":[],"product_cat":[23],"product_tag":[595,589,584,392,582,587,591,597,583,596,357,594,581,585,592,578,579,352,580,408,593,577,576,586,590,588,353,406],"class_list":["post-2322","product","type-product","status-publish","has-post-thumbnail","product_cat-silicon-carbide-sic","product_tag-annealing","product_tag-corrosion-resistance","product_tag-diffusion-furnace","product_tag-high-purity-sic","product_tag-high-temperature-furnace","product_tag-high-temperature-resistance","product_tag-industrial-furnace","product_tag-industrial-thermal-processing","product_tag-lpcvd","product_tag-nitridation","product_tag-oxidation-furnace","product_tag-pecvd","product_tag-photovoltaic-furnace","product_tag-photovoltaic-processing","product_tag-quartz-paddle-alternative","product_tag-rb-sic","product_tag-reaction-bonded-silicon-carbide","product_tag-semiconductor-equipment","product_tag-semiconductor-furnace","product_tag-semiconductor-processing","product_tag-semiconductor-wafer-carrier","product_tag-sic-cantilever-paddle","product_tag-silicon-carbide-cantilever-paddle","product_tag-silicon-carbide-paddle","product_tag-solar-cell-manufacturing","product_tag-thermal-shock-resistance","product_tag-wafer-carrier","product_tag-wafer-handling","desktop-align-left","tablet-align-left","mobile-align-left","first","instock","shipping-taxable","product-type-simple"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2322","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/product"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/types\/product"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2322"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2323"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2322"}],"wp:term":[{"taxonomy":"product_brand","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/product_brand?post=2322"},{"taxonomy":"product_cat","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/product_cat?post=2322"},{"taxonomy":"product_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/product_tag?post=2322"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}