{"id":2322,"date":"2026-05-29T02:28:31","date_gmt":"2026-05-29T02:28:31","guid":{"rendered":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/?post_type=product&p=2322"},"modified":"2026-05-29T02:44:45","modified_gmt":"2026-05-29T02:44:45","slug":"silicon-carbide-cantilever-paddle-for-semiconductor-photovoltaic-high-temperature-furnace-systems","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/product\/silicon-carbide-cantilever-paddle-for-semiconductor-photovoltaic-high-temperature-furnace-systems\/","title":{"rendered":"Piikarbidi Cantilever Paddle puolijohde- ja aurinkos\u00e4hk\u00f6alan korkean l\u00e4mp\u00f6tilan uunij\u00e4rjestelmiin"},"content":{"rendered":"

\"\"Piikarbidikannatin (SiC-kannatin) on korkean suorituskyvyn rakenneosa, joka on valmistettu reaktiosidotusta piikarbidista (RB-SiC). Se on suunniteltu erityisesti korkean l\u00e4mp\u00f6tilan puolijohde- ja aurinkos\u00e4hk\u00f6tekniikan k\u00e4sittelylaitteisiin, ja se tarjoaa erinomaisen l\u00e4mp\u00f6stabiilisuuden, mekaanisen lujuuden, korroosionkest\u00e4vyyden ja mittatarkkuuden \u00e4\u00e4rimm\u00e4isiss\u00e4 k\u00e4ytt\u00f6olosuhteissa.<\/p>\n

Kannattavan rakenteensa ansiosta mela voi tukea ja kuljettaa useita kiekkoja turvallisesti diffuusiouunien, hapetusuunien, LPCVD-j\u00e4rjestelmien ja pinnoituslaitteiden sis\u00e4ll\u00e4. Verrattuna tavanomaisiin kvartsi- tai metallisiin kantajaj\u00e4rjestelmiin SiC-kannattimet tarjoavat huomattavasti pidemm\u00e4n k\u00e4ytt\u00f6i\u00e4n, pienemm\u00e4n kontaminaatioriskin ja paremman l\u00e4mp\u00f6muodonmuutosten kest\u00e4vyyden.<\/p>\n

Alhaisen l\u00e4mp\u00f6laajenemiskertoimen ja korkean l\u00e4mm\u00f6njohtavuuden ansiosta mela s\u00e4ilytt\u00e4\u00e4 erinomaisen rakenteellisen eheyden toistuvien l\u00e4mmitys- ja j\u00e4\u00e4hdytyssyklien aikana, mik\u00e4 tekee siit\u00e4 ihanteellisen jatkuviin korkean l\u00e4mp\u00f6tilan teolliseen tuotantoymp\u00e4rist\u00f6\u00f6n.<\/p>\n

\n
\n<\/div>\n

SiC Cantilever -melan t\u00e4rkeimm\u00e4t ominaisuudet<\/h2>\n

Erinomainen korkean l\u00e4mp\u00f6tilan kest\u00e4vyys<\/h3>\n

SiC-kannattajamela voi toimia jatkuvasti jopa 1380 \u00b0C:n l\u00e4mp\u00f6tiloissa ilman muodonmuutoksia tai rakenteellisia vikoja. T\u00e4m\u00e4n vuoksi se soveltuu erinomaisesti puolijohteiden diffuusio-, hapetus-, nitridointi-, hehkutus- ja LPCVD-prosesseihin, jotka toimivat 1000-1300 \u00b0C:n l\u00e4mp\u00f6tiloissa.<\/p>\n

Erinomainen mekaaninen lujuus<\/h3>\n

RB-SiC-materiaali tarjoaa poikkeuksellisen taivutuslujuuden ja j\u00e4ykkyyden my\u00f6s korkeissa l\u00e4mp\u00f6tiloissa. Vakaa poikkileikkausrakenne takaa luotettavan tuen halkaisijaltaan suurille kiekoille ja minimoi samalla t\u00e4rin\u00e4n ja notkahduksen uunin k\u00e4yt\u00f6n aikana.<\/p>\n

Eritt\u00e4in v\u00e4h\u00e4inen saastuminen<\/h3>\n

Toisin kuin metallikantajat, piikarbidi ei vapauta metalli-ioneja tai -hiukkasia korkean l\u00e4mp\u00f6tilan k\u00e4sittelyn aikana. T\u00e4m\u00e4 auttaa s\u00e4ilytt\u00e4m\u00e4\u00e4n kiekon puhtauden ja parantaa puolijohdevalmistuksen tuottoa.<\/p>\n

Erinomainen l\u00e4mp\u00f6shokkien kest\u00e4vyys<\/h3>\n

Mela kest\u00e4\u00e4 nopeita l\u00e4mmitys- ja j\u00e4\u00e4hdytysjaksoja halkeilematta tai v\u00e4\u00e4ntym\u00e4tt\u00e4. Sen korkea l\u00e4mp\u00f6shokkien kest\u00e4vyys pident\u00e4\u00e4 k\u00e4ytt\u00f6ik\u00e4\u00e4 huomattavasti ja v\u00e4hent\u00e4\u00e4 huoltotiheytt\u00e4.<\/p>\n

Erinomainen korroosionkest\u00e4vyys<\/h3>\n

SiC-materiaali kest\u00e4\u00e4 erinomaisesti happoja, em\u00e4ksi\u00e4, hapettumista ja sy\u00f6vytt\u00e4vi\u00e4 prosessikaasuja, joten se soveltuu vaativiin kemiallisiin k\u00e4sittely-ymp\u00e4rist\u00f6ihin.<\/p>\n

LPCVD-prosessin yhteensopivuus<\/h3>\n

Piikarbidin l\u00e4mp\u00f6laajenemiskerroin vastaa l\u00e4heisesti tavallisia LPCVD-pinnoitemateriaaleja, mik\u00e4 v\u00e4hent\u00e4\u00e4 tehokkaasti l\u00e4mp\u00f6j\u00e4nnityst\u00e4, pinnoitteen irtoamista ja hiukkasten aiheuttamaa saastumista.<\/p>\n

Pitk\u00e4 k\u00e4ytt\u00f6ik\u00e4<\/h3>\n

Kvartsi- ja metallilapoihin verrattuna SiC-kannattajalapojen kest\u00e4vyys on huomattavasti parempi ja vaihtotiheys pienempi, mik\u00e4 alentaa pitk\u00e4n aikav\u00e4lin k\u00e4ytt\u00f6kustannuksia.<\/p>\n

\n
\n<\/div>\n

Tekniset tiedot<\/h2>\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
Kohde<\/th>\nYksikk\u00f6<\/th>\nTiedot<\/th>\n<\/tr>\n
Suurin k\u00e4ytt\u00f6l\u00e4mp\u00f6tila<\/td>\n\u2103<\/td>\n1380<\/td>\n<\/tr>\n
Tiheys<\/td>\ng\/cm\u00b3<\/td>\n3.04\u20133.08<\/td>\n<\/tr>\n
Avoin huokoisuus<\/td>\n%<\/td>\n<0.1<\/td>\n<\/tr>\n
Taivutuslujuus<\/td>\nMPa<\/td>\n250 (20\u2103) \/ 280 (1200\u2103)<\/td>\n<\/tr>\n
Kimmomoduuli<\/td>\nGPa<\/td>\n330 (20\u2103) \/ 300 (1200\u2103)<\/td>\n<\/tr>\n
L\u00e4mm\u00f6njohtavuus<\/td>\nW\/m-K<\/td>\n45 (1200\u2103)<\/td>\n<\/tr>\n
L\u00e4mp\u00f6laajenemiskerroin<\/td>\nK-\u00b9\u00d710-\u2076<\/td>\n4.5<\/td>\n<\/tr>\n
Kovuus (Vickers)<\/td>\nHV2<\/td>\n\u22652100<\/td>\n<\/tr>\n
Happo\/em\u00e4ksinen kest\u00e4vyys<\/td>\n\u2014<\/td>\nErinomainen<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n
\n
\n<\/div>\n

Vakiomitat<\/h2>\n

Saatavilla olevat vakiopituudet ovat:<\/p>\n

    \n
  • 2378 mm<\/li>\n
  • 2550 mm<\/li>\n
  • 2660 mm<\/li>\n<\/ul>\n

    Asiakaskohtaisia kokoja, aukkorakenteita, kiekkokapasiteettia ja asennuskokoonpanoja on saatavana asiakkaan uunimallien ja prosessivaatimusten mukaisesti.<\/p>\n

    \n
    \n<\/div>\n

    Tyypilliset sovellukset<\/h2>\n

    \"\"Puolijohdeteollisuus<\/h3>\n

    SiC-kannattajalevyj\u00e4 k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n laajalti puolijohteiden valmistusprosesseissa, mukaan lukien:<\/p>\n

      \n
    • Kiekon diffuusio<\/li>\n
    • Hapettuminen<\/li>\n
    • LPCVD-pinnoitus<\/li>\n
    • Nitridointi<\/li>\n
    • Hehkutus<\/li>\n
    • Kiekkojen kuljetus ja lastaus<\/li>\n<\/ul>\n

      Niiden korkea puhtaus ja mittapysyvyys auttavat v\u00e4hent\u00e4m\u00e4\u00e4n kontaminaatioriski\u00e4 ja parantamaan prosessin johdonmukaisuutta.<\/p>\n

      \"\"Aurinkos\u00e4hk\u00f6teollisuus<\/h3>\n

      Aurinkokennojen valmistuksessa mela toimii korkean l\u00e4mp\u00f6tilan kiekon kantajana:<\/p>\n

        \n
      • Monikiteiset piikiekot<\/li>\n
      • Yksikiteiset piikiekot<\/li>\n
      • Diffuusiouunit<\/li>\n
      • PECVD- ja pinnoitusj\u00e4rjestelm\u00e4t<\/li>\n<\/ul>\n

        Materiaali s\u00e4ilyy vakaana toistuvissa l\u00e4mp\u00f6sykliolosuhteissa, joita esiintyy yleisesti aurinkos\u00e4hk\u00f6jen tuotantolinjoilla.<\/p>\n

        Kemialliset ja teolliset sovellukset<\/h3>\n

        Erinomaisen korroosionkest\u00e4vyytens\u00e4 ansiosta SiC-kannattajamela voidaan k\u00e4ytt\u00e4\u00e4 my\u00f6s:<\/p>\n

          \n
        • Sy\u00f6vytt\u00e4v\u00e4t kemialliset reaktorit<\/li>\n
        • Korkean l\u00e4mp\u00f6tilan kiertoj\u00e4rjestelm\u00e4t<\/li>\n
        • Teolliset l\u00e4mp\u00f6k\u00e4sittelylaitteet<\/li>\n
        • Aggressiiviset kaasuymp\u00e4rist\u00f6t<\/li>\n<\/ul>\n
          \n
          \n<\/div>\n

          Edut verrattuna metalli- tai kvartsilapoihin<\/h2>\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
          Kiinteist\u00f6<\/td>\nSiC-mela<\/td>\nKvartsi meloa<\/td>\nMetallinen mela<\/td>\n<\/tr>\n
          Korkean l\u00e4mp\u00f6tilan kest\u00e4vyys<\/td>\nErinomainen<\/td>\nKohtalainen<\/td>\nKohtalainen<\/td>\n<\/tr>\n
          L\u00e4mp\u00f6shokin kest\u00e4vyys<\/td>\nErinomainen<\/td>\nHuono<\/td>\nKohtalainen<\/td>\n<\/tr>\n
          Korroosionkest\u00e4vyys<\/td>\nErinomainen<\/td>\nHyv\u00e4<\/td>\nHuono<\/td>\n<\/tr>\n
          Mekaaninen lujuus<\/td>\nEritt\u00e4in korkea<\/td>\nMatala<\/td>\nKorkea<\/td>\n<\/tr>\n
          Hiukkasten aiheuttama saastuminen<\/td>\nEritt\u00e4in alhainen<\/td>\nKohtalainen<\/td>\nKorkea<\/td>\n<\/tr>\n
          K\u00e4ytt\u00f6ik\u00e4<\/td>\nPitk\u00e4<\/td>\nLyhyt<\/td>\nKohtalainen<\/td>\n<\/tr>\n
          Suuri kiekkotuki<\/td>\nErinomainen<\/td>\nRajoitettu<\/td>\nKohtalainen<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n
          \n
          \n<\/div>\n

          Usein kysytyt kysymykset - Piikarbidi Cantilever -mela<\/h2>\n

          1. Mik\u00e4 on suurin k\u00e4ytt\u00f6l\u00e4mp\u00f6tila?<\/h3>\n

          Suurin k\u00e4ytt\u00f6l\u00e4mp\u00f6tila on 1380 \u00b0C. Se toimii luotettavasti korkean l\u00e4mp\u00f6tilan puolijohde- ja aurinkos\u00e4hk\u00f6prosesseissa 1000-1300 \u00b0C:n l\u00e4mp\u00f6tiloissa.<\/p>\n

          2. Miksi valita piikarbidi metallilapojen sijaan?<\/h3>\n

          Metallilavat voivat hapettua, deformoitua tai vapauttaa metallisia ep\u00e4puhtauksia korkeissa l\u00e4mp\u00f6tiloissa. Piikarbidi tarjoaa ylivoimaisen kovuuden, l\u00e4mp\u00f6stabiilisuuden, korroosionkest\u00e4vyyden ja eritt\u00e4in v\u00e4h\u00e4iset ep\u00e4puhtaudet.<\/p>\n

          3. Soveltuuko mela suurille kiekoille, kuten 12 tuuman kiekoille?<\/h3>\n

          Kyll\u00e4. Kannattavan rakenteen ja suuren mekaanisen lujuuden ansiosta halkaisijaltaan suurten kiekkojen tukeminen on vakaata ja mittatarkkuus s\u00e4ilyy.<\/p>\n

          4. Voiko sit\u00e4 r\u00e4\u00e4t\u00e4l\u00f6id\u00e4?<\/h3>\n

          Kyll\u00e4. Asiakaskohtaiset mitat, paksuudet, kiekkokapasiteetit, aukkomallit ja kiinnitysrakenteet ovat saatavissa asiakkaan vaatimusten mukaisesti.<\/p>\n

           <\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

          Piikarbidi Cantilever Paddle on edistyksellinen korkean l\u00e4mp\u00f6tilan kantoratkaisu puolijohde-, aurinkos\u00e4hk\u00f6- ja teollisuusuunisovelluksiin. Yhdist\u00e4m\u00e4ll\u00e4 poikkeuksellisen l\u00e4mm\u00f6nkest\u00e4vyyden, suuren mekaanisen lujuuden, korroosionkest\u00e4vyyden ja eritt\u00e4in alhaiset kontaminaatio-ominaisuudet se tarjoaa luotettavan kiekonk\u00e4sittelyn vaativissa k\u00e4sittely-ymp\u00e4rist\u00f6iss\u00e4.<\/p>\n

          SiC-kannattajalevyist\u00e4 on tulossa olennainen osa seuraavan sukupolven korkean l\u00e4mp\u00f6tilan valmistusprosesseja, sill\u00e4 niiden mitat ovat mukautettavissa ja ne ovat yhteensopivia nykyaikaisten diffuusio- ja LPCVD-j\u00e4rjestelmien kanssa.<\/p>","protected":false},"featured_media":2323,"comment_status":"open","ping_status":"closed","template":"","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"default","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}}},"product_brand":[],"product_cat":[23],"product_tag":[595,589,584,392,582,587,591,597,583,596,357,594,581,585,592,578,579,352,580,408,593,577,576,586,590,588,353,406],"class_list":["post-2322","product","type-product","status-publish","has-post-thumbnail","product_cat-silicon-carbide-sic","product_tag-annealing","product_tag-corrosion-resistance","product_tag-diffusion-furnace","product_tag-high-purity-sic","product_tag-high-temperature-furnace","product_tag-high-temperature-resistance","product_tag-industrial-furnace","product_tag-industrial-thermal-processing","product_tag-lpcvd","product_tag-nitridation","product_tag-oxidation-furnace","product_tag-pecvd","product_tag-photovoltaic-furnace","product_tag-photovoltaic-processing","product_tag-quartz-paddle-alternative","product_tag-rb-sic","product_tag-reaction-bonded-silicon-carbide","product_tag-semiconductor-equipment","product_tag-semiconductor-furnace","product_tag-semiconductor-processing","product_tag-semiconductor-wafer-carrier","product_tag-sic-cantilever-paddle","product_tag-silicon-carbide-cantilever-paddle","product_tag-silicon-carbide-paddle","product_tag-solar-cell-manufacturing","product_tag-thermal-shock-resistance","product_tag-wafer-carrier","product_tag-wafer-handling","desktop-align-left","tablet-align-left","mobile-align-left","first","instock","shipping-taxable","product-type-simple"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2322","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/product"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/types\/product"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2322"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2323"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2322"}],"wp:term":[{"taxonomy":"product_brand","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/product_brand?post=2322"},{"taxonomy":"product_cat","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/product_cat?post=2322"},{"taxonomy":"product_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/product_tag?post=2322"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}