{"id":2116,"date":"2026-05-12T06:50:19","date_gmt":"2026-05-12T06:50:19","guid":{"rendered":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/?post_type=product&p=2116"},"modified":"2026-05-12T06:51:11","modified_gmt":"2026-05-12T06:51:11","slug":"custom-sic-ceramic-fork-arm-for-wafer-handling-optical-precision-equipment","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/product\/custom-sic-ceramic-fork-arm-for-wafer-handling-optical-precision-equipment\/","title":{"rendered":"Mukautettu SiC-keraaminen haarukkavarsi kiekkojen k\u00e4sittelyyn ja optisiin tarkkuuslaitteisiin"},"content":{"rendered":"

\"\"SiC-keraaminen haarukkavarsi on eritt\u00e4in tarkka rakenneosa, joka on valmistettu kehittyneest\u00e4 sintratusta piikarbidista (SSiC). Se on suunniteltu puolijohde-, optiseen, ilmailu- ja avaruusteollisuuteen sek\u00e4 automaatioteollisuuteen, ja siin\u00e4 yhdistyv\u00e4t eritt\u00e4in suuri j\u00e4ykkyys, erinomainen l\u00e4mp\u00f6stabiilisuus, kevyt rakenne ja erinomainen kulutuskest\u00e4vyys.<\/p>\n

N\u00e4it\u00e4 r\u00e4\u00e4t\u00e4l\u00f6ityj\u00e4 haarukkavarsia k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n laajalti kiekkojen k\u00e4sittelyss\u00e4, optisessa paikannuksessa, robottiautomaatiossa ja tarkkuustukij\u00e4rjestelmiss\u00e4, joissa kontaminaation hallinta, mittojen vakaus ja pitk\u00e4aikainen luotettavuus ovat kriittisi\u00e4.<\/p>\n

Tavanomaisiin metallikomponentteihin verrattuna SiC-keraamiset haarukkatukivarret tarjoavat huomattavasti alhaisemman l\u00e4mp\u00f6laajenemisen, erinomaisen korroosionkest\u00e4vyyden ja poikkeuksellisen j\u00e4ykkyyden ja painon suhteen, mik\u00e4 tekee niist\u00e4 ihanteelliset seuraavan sukupolven korkean tarkkuuden laitteisiin.<\/p>\n

\n

T\u00e4rkeimm\u00e4t ominaisuudet ja edut<\/span><\/h1>\n

1. Eritt\u00e4in suuri kovuus ja kulutuskest\u00e4vyys<\/span><\/h3>\n
    \n
  • Mohsin kovuus jopa 9,3<\/li>\n
  • Poikkeuksellinen kulutuksen ja hiukkasten muodostumisen kest\u00e4vyys<\/li>\n
  • Ihanteellinen puhdastiloihin ja korkean syklin automaatioymp\u00e4rist\u00f6ihin<\/li>\n<\/ul>\n

    2. Erinomainen l\u00e4mp\u00f6stabiilisuus<\/span><\/h3>\n
      \n
    • Alhainen l\u00e4mp\u00f6laajenemiskerroin: ~4,0 \u00d7 10-\u2076 \/K<\/li>\n
    • S\u00e4ilytt\u00e4\u00e4 mittatarkkuuden l\u00e4mp\u00f6tilan vaihteluissa<\/li>\n
    • Soveltuu puolijohde- ja optisiin j\u00e4rjestelmiin, jotka edellytt\u00e4v\u00e4t vakaata kohdistusta.<\/li>\n<\/ul>\n

      3. Erinomainen l\u00e4mm\u00f6njohtavuus<\/span><\/h3>\n
        \n
      • L\u00e4mm\u00f6njohtavuus: 120-180 W\/(m-K)<\/li>\n
      • Tehokas l\u00e4mm\u00f6ntuotto v\u00e4hent\u00e4\u00e4 l\u00e4mp\u00f6rasituksen kertymist\u00e4<\/li>\n
      • Parantaa j\u00e4rjestelm\u00e4n luotettavuutta jatkuvan k\u00e4yt\u00f6n aikana<\/li>\n<\/ul>\n

        4. Kevyt ja j\u00e4ykk\u00e4<\/span><\/h3>\n
          \n
        • Tiheys noin 3,1 g\/cm\u00b3.<\/li>\n
        • Youngin moduuli 450 GPa:iin asti<\/li>\n
        • Tarjoaa erinomaisen j\u00e4ykkyyden ja minimoi samalla liikkuvan massan.<\/li>\n<\/ul>\n

          5. Kemiallinen ja korroosionkest\u00e4vyys<\/span><\/h3>\n
            \n
          • Kest\u00e4\u00e4 happoja, em\u00e4ksi\u00e4, liuottimia ja prosessikemikaaleja.<\/li>\n
          • Yhteensopiva vaativiin puolijohdevalmistusymp\u00e4rist\u00f6ihin.<\/li>\n<\/ul>\n

            6. Puhdastilojen kanssa yhteensopiva pinta<\/span><\/h3>\n
              \n
            • V\u00e4h\u00e4inen hiukkasten muodostuminen<\/li>\n
            • Valinnainen eritt\u00e4in kiillotettu pinta (<0,02 \u03bcm Ra).<\/li>\n
            • Soveltuu luokan 10-1000 puhdastilasovelluksiin<\/li>\n<\/ul>\n
              \n

              Tekniset tiedot<\/span><\/h1>\n
              \n
              \n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
              Kiinteist\u00f6<\/th>\nTyypillinen arvo<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
              Materiaali<\/td>\nSintrattu piikarbidi (SSiC)<\/td>\n<\/tr>\n
              Tiheys<\/td>\n3,10 - 3,15 g\/cm\u00b3.<\/td>\n<\/tr>\n
              Kovuus<\/td>\n\u22652200 HV0.5<\/td>\n<\/tr>\n
              Taivutuslujuus<\/td>\n\u2265400 MPa<\/td>\n<\/tr>\n
              Puristuslujuus<\/td>\n\u22652000 MPa<\/td>\n<\/tr>\n
              Youngin moduuli<\/td>\n400 - 450 GPa<\/td>\n<\/tr>\n
              L\u00e4mm\u00f6njohtavuus<\/td>\n120 - 180 W\/(m-K)<\/td>\n<\/tr>\n
              L\u00e4mp\u00f6laajenemiskerroin<\/td>\n~4.0 \u00d7 10-\u2076 \/K<\/td>\n<\/tr>\n
              Maksimi k\u00e4ytt\u00f6l\u00e4mp\u00f6tila<\/td>\n1400 - 1600\u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n
              S\u00e4hk\u00f6inen resistiivisyys<\/td>\n>10\u00b9\u2074 \u03a9-cm<\/td>\n<\/tr>\n
              Pinnan karheus<\/td>\n<0,02 \u03bcm Ra (valinnainen)<\/td>\n<\/tr>\n
              Puhdastilojen yhteensopivuus<\/td>\nLuokka 10 - 1000<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n
              \n

              Tyypilliset sovellukset<\/span><\/h1>\n

              Puolijohdekiekkojen k\u00e4sittely<\/span><\/h2>\n

              SiC-keraamisia haarukkavarsia k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n laajalti puolijohdeautomaatioj\u00e4rjestelmiss\u00e4:<\/p>\n

                \n
              • Kiekkojen siirtorobotit<\/li>\n
              • EFEM- ja FOUP-kuormitusportit<\/li>\n
              • Tyhji\u00f6poiminta- ja -paikannusj\u00e4rjestelm\u00e4t<\/li>\n
              • 6\u2033, 8\u2033 ja 12\u2033 kiekkojen k\u00e4sittelytoiminnot<\/li>\n<\/ul>\n

                Niiden v\u00e4h\u00e4inen hiukkasten muodostuminen ja kemiallinen kest\u00e4vyys auttavat yll\u00e4pit\u00e4m\u00e4\u00e4n prosessin korkeaa puhtautta ja kiekkojen tuottoa.<\/p>\n

                \n

                \"\"Optiset ja fotoniikan laitteet<\/span><\/h2>\n

                Tarkkuusoptisissa j\u00e4rjestelmiss\u00e4 SiC-haarukkavarret tarjoavat:<\/p>\n

                  \n
                • Vakaa tuki peileille ja linsseille<\/li>\n
                • L\u00e4mp\u00f6muodonmuutoksen hallinta<\/li>\n
                • Kevyet ja j\u00e4yk\u00e4t rakenteet<\/li>\n<\/ul>\n

                  Tyypillisi\u00e4 sovelluksia ovat:<\/p>\n

                    \n
                  • Interferometrit<\/li>\n
                  • Laserkeilausj\u00e4rjestelm\u00e4t<\/li>\n
                  • Optiset tarkkuuskohdistuslaitteet<\/li>\n
                  • Avaruusteleskooppien rakenteet<\/li>\n<\/ul>\n
                    \n

                    Robotiikka ja automaatio<\/span><\/h2>\n

                    K\u00e4ytet\u00e4\u00e4n robottien p\u00e4\u00e4tehostimina ja tarkkuusasennusvarret:<\/p>\n

                      \n
                    • Puhdastilan automaatio<\/li>\n
                    • Tyhji\u00f6k\u00e4sittelyj\u00e4rjestelm\u00e4t<\/li>\n
                    • Nopeat tarkkuuskokoonpanolaitteet<\/li>\n<\/ul>\n

                      Etuihin kuuluvat pitk\u00e4 k\u00e4ytt\u00f6ik\u00e4, v\u00e4h\u00e4inen kaasunmuodostus ja s\u00e4hk\u00f6eristys.<\/p>\n

                      \n

                      Ilmailu ja puolustus<\/span><\/h2>\n

                      SiC-keraamiset haarukkarakenteet ovat ihanteellisia ilmailu- ja avaruussovelluksiin, koska:<\/p>\n

                        \n
                      • Korkea j\u00e4ykkyys-painosuhde<\/li>\n
                      • L\u00e4mp\u00f6shokin kest\u00e4vyys<\/li>\n
                      • Mittapysyvyys t\u00e4rin\u00e4n ja s\u00e4teilyn vaikutuksesta<\/li>\n<\/ul>\n

                        K\u00e4ytt\u00f6kohteita ovat optiset kiinnikkeet, hy\u00f6tykuorman tukirakenteet ja tarkkuusliikej\u00e4rjestelm\u00e4t.<\/p>\n

                        \n

                        \"\"Valmistusprosessi<\/span><\/h1>\n

                        SiC-keraamisten haarukkavarsien valmistuksessa k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n kehittyneit\u00e4 keraamisia k\u00e4sittelytekniikoita:<\/p>\n

                          \n
                        1. Eritt\u00e4in puhtaan jauheen valmistus<\/li>\n
                        2. Tarkkuusmuovaus (isostaattinen puristus \/ valu \/ kuivapuristus)<\/li>\n
                        3. Korkean l\u00e4mp\u00f6tilan sintraus<\/li>\n
                        4. CNC-hionta ja laserty\u00f6st\u00f6<\/li>\n
                        5. Pinnan kiillotus ja tarkkuusviimeistely<\/li>\n
                        6. Mittatarkastus ja puhdastilapakkaukset<\/li>\n<\/ol>\n

                          T\u00e4m\u00e4 prosessi takaa erinomaisen mittasuhteiden johdonmukaisuuden ja eritt\u00e4in korkean rakenteellisen luotettavuuden.<\/p>\n

                          \n

                          Mukauttamisvaihtoehdot<\/span><\/h1>\n

                          Koska SiC-haarukkavarsi on ep\u00e4tarkka ei-standardi keraaminen komponentti, se voidaan t\u00e4ysin r\u00e4\u00e4t\u00e4l\u00f6id\u00e4 asiakkaan piirustusten ja sovellusvaatimusten mukaan.<\/p>\n

                          Mukautettavia vaihtoehtoja ovat mm:<\/p>\n

                            \n
                          • Kokonaismitat ja paksuus<\/li>\n
                          • Haarukan aukon geometria<\/li>\n
                          • Asennusrei\u00e4t ja -aukot<\/li>\n
                          • Pinnan karheus ja kiillotusaste<\/li>\n
                          • Kiekkokokojen yhteensopivuus (6\u2033, 8\u2033, 12\u2033)<\/li>\n
                          • Erikoispinnoitteet tai lasermerkint\u00e4<\/li>\n<\/ul>\n

                            Tekniikan tukipalveluihin kuuluvat:<\/p>\n

                              \n
                            • Piirustusten tarkastelu<\/li>\n
                            • FEM-rakenneanalyysi<\/li>\n
                            • Prototyyppien kehitt\u00e4minen<\/li>\n
                            • Sovelluksen optimointi<\/li>\n<\/ul>\n
                              \n

                              Miksi valita SiC-keraamiset haarukkavarret?<\/span><\/h1>\n

                              Alumiiniin, ruostumattomaan ter\u00e4kseen tai perinteiseen keramiikkaan verrattuna SiC-keraamiset haarukkavarret tarjoavat:<\/p>\n

                                \n
                              • Suurempi j\u00e4ykkyys<\/li>\n
                              • Pienempi l\u00e4mp\u00f6muodonmuutos<\/li>\n
                              • Parempi kulutuskest\u00e4vyys<\/li>\n
                              • Ylivoimainen puhdastilan suorituskyky<\/li>\n
                              • Pidempi k\u00e4ytt\u00f6ik\u00e4<\/li>\n<\/ul>\n

                                Ne ovat ihanteellinen ratkaisu kehittyneelle puolijohde-, optiselle ja tarkkuusautomaatioteollisuudelle, joka vaatii eritt\u00e4in korkeaa luotettavuutta ja vakautta.<\/p>\n

                                \n

                                FAQ<\/span><\/h1>\n

                                Q1: Miksi SiC-keraamisia haarukkavarret ovat suositeltavimpia kiekkojen k\u00e4sittelyj\u00e4rjestelmiss\u00e4?<\/span><\/h3>\n

                                SiC-keraamiset haarukkavarret tuottavat eritt\u00e4in v\u00e4h\u00e4n hiukkasia, tarjoavat erinomaisen l\u00e4mm\u00f6nkest\u00e4vyyden ja kest\u00e4v\u00e4t kemiallista korroosiota, joten ne ovat ihanteellisia puhdastiloissa k\u00e4ytett\u00e4viin puolijohdekiekkojen siirtosovelluksiin.<\/p>\n

                                \n

                                Q2: Voidaanko SiC-haarukkavarsia r\u00e4\u00e4t\u00e4l\u00f6id\u00e4 eri kiekkokokoja varten?<\/span><\/h3>\n

                                Kyll\u00e4. Haarukkavarsi voidaan r\u00e4\u00e4t\u00e4l\u00f6id\u00e4 6 tuuman, 8 tuuman ja 12 tuuman kiekkoja varten, mukaan lukien mitat, aukkomuotoilu, kiinnitysrakenteet ja pintak\u00e4sittely.<\/p>\n

                                \n

                                Kysymys 3: Mit\u00e4 etuja SiC-keraaminen tarjoaa metallisiin haarukkavarsiin verrattuna?<\/span><\/h3>\n

                                Metallimateriaaleihin verrattuna SiC-keraami tarjoaa suuremman j\u00e4ykkyyden, pienemm\u00e4n l\u00e4mp\u00f6laajenemisen, paremman korroosionkest\u00e4vyyden, kevyemm\u00e4n painon ja paremman mittapysyvyyden \u00e4\u00e4rimm\u00e4isiss\u00e4 k\u00e4ytt\u00f6olosuhteissa.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

                                SiC-keraaminen haarukkavarsi on eritt\u00e4in tarkka rakenneosa, joka on valmistettu kehittyneest\u00e4 sintratusta piikarbidista (SSiC). Se on suunniteltu puolijohde-, optiseen, ilmailu- ja avaruusteollisuuteen sek\u00e4 automaatioteollisuuteen, ja siin\u00e4 yhdistyv\u00e4t eritt\u00e4in suuri j\u00e4ykkyys, erinomainen l\u00e4mp\u00f6stabiilisuus, kevyt rakenne ja erinomainen kulutuskest\u00e4vyys.<\/p>","protected":false},"featured_media":2117,"comment_status":"open","ping_status":"closed","template":"","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"default","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}}},"product_brand":[],"product_cat":[23],"product_tag":[246,242,234,231,237,233,243,238,236,244,240,105,228,241,232,229,235,239,245,230],"class_list":["post-2116","product","type-product","status-publish","has-post-thumbnail","product_cat-silicon-carbide-sic","product_tag-advanced-engineering-ceramics","product_tag-ceramic-handling-arm","product_tag-ceramic-robotic-arm","product_tag-ceramic-wafer-handler","product_tag-cleanroom-ceramic-fork","product_tag-custom-sic-ceramic-parts","product_tag-high-purity-silicon-carbide-parts","product_tag-high-stiffness-ceramic-arm","product_tag-optical-precision-ceramic-parts","product_tag-precision-ceramic-fork-arm","product_tag-semiconductor-automation-components","product_tag-semiconductor-wafer-handling","product_tag-sic-ceramic-fork-arm","product_tag-sic-end-effector","product_tag-sic-precision-structural-component","product_tag-silicon-carbide-ceramic-fork","product_tag-ssic-ceramic-component","product_tag-thermal-stable-ceramic-structure","product_tag-vacuum-wafer-transfer-arm","product_tag-wafer-handling-fork","desktop-align-left","tablet-align-left","mobile-align-left","first","instock","shipping-taxable","product-type-simple"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2116","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/product"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/types\/product"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2116"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2117"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2116"}],"wp:term":[{"taxonomy":"product_brand","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/product_brand?post=2116"},{"taxonomy":"product_cat","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/product_cat?post=2116"},{"taxonomy":"product_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/product_tag?post=2116"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}