{"id":2041,"date":"2026-05-08T05:45:52","date_gmt":"2026-05-08T05:45:52","guid":{"rendered":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/?post_type=product&p=2041"},"modified":"2026-05-08T05:45:52","modified_gmt":"2026-05-08T05:45:52","slug":"sic-ceramic-end-effector-for-precision-wafer-handling-in-semiconductor-equipment","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/product\/sic-ceramic-end-effector-for-precision-wafer-handling-in-semiconductor-equipment\/","title":{"rendered":"SiC-keraaminen p\u00e4\u00e4tehahmo kiekkojen tarkkaan k\u00e4sittelyyn puolijohdelaitteissa"},"content":{"rendered":"

\"\"The SiC-keraaminen p\u00e4\u00e4tepiste<\/strong> on suorituskykyinen kiekkojen k\u00e4sittelykomponentti, joka on suunniteltu puolijohdeautomaatio- ja tarkkuusrobottij\u00e4rjestelmiin. Se on valmistettu eritt\u00e4in puhtaasta piikarbidikeramiikasta (SiC), joka tarjoaa erinomaisen mekaanisen lujuuden, l\u00e4mp\u00f6stabiilisuuden ja kemiallisen kest\u00e4vyyden \u00e4\u00e4rimm\u00e4isiss\u00e4 prosessiymp\u00e4rist\u00f6iss\u00e4.<\/p>\n

Verrattuna tavanomaisiin alumiini-, ruostumattomasta ter\u00e4ksest\u00e4 tai kvartsista valmistettuihin p\u00e4\u00e4tepistokkeisiin on SiC-keraaminen p\u00e4\u00e4tepiste<\/strong> tuottaa huomattavasti v\u00e4hemm\u00e4n hiukkasia, on ylivoimaisen mittatarkka ja kest\u00e4\u00e4 erinomaisesti l\u00e4mp\u00f6muodonmuutoksia. Sit\u00e4 k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n laajalti kiekonsiirtoj\u00e4rjestelmiss\u00e4, joissa tarkkuus, puhtaus ja luotettavuus ovat kriittisi\u00e4.<\/p>\n

T\u00e4m\u00e4 tuote soveltuu kehittyneisiin puolijohteiden valmistusymp\u00e4rist\u00f6ihin, kuten tyhji\u00f6kammioihin, plasmaprosesseihin ja korkean l\u00e4mp\u00f6tilan laitteisiin.<\/p>\n

\n

Tekniset tiedot<\/h2>\n
\n
\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
Kiinteist\u00f6<\/th>\nYksikk\u00f6<\/th>\nArvo<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
Kiderakenne<\/td>\n-<\/td>\nFCC \u03b2 vaihe<\/td>\n<\/tr>\n
Tiheys<\/td>\ng\/cm\u00b3<\/td>\n3.21<\/td>\n<\/tr>\n
Kemiallinen puhtaus<\/td>\n%<\/td>\n99.99995<\/td>\n<\/tr>\n
Kovuus<\/td>\nHV<\/td>\n2500<\/td>\n<\/tr>\n
Taivutuslujuus<\/td>\nMPa<\/td>\n415<\/td>\n<\/tr>\n
Youngin moduuli<\/td>\nGPa<\/td>\n430<\/td>\n<\/tr>\n
L\u00e4mm\u00f6njohtavuus<\/td>\nW\/m-K<\/td>\n300<\/td>\n<\/tr>\n
L\u00e4mp\u00f6laajenemiskerroin<\/td>\n10-\u2076\/K<\/td>\n4.5<\/td>\n<\/tr>\n
Suurin k\u00e4ytt\u00f6l\u00e4mp\u00f6tila<\/td>\n\u00b0C<\/td>\n2700<\/td>\n<\/tr>\n
L\u00e4mp\u00f6kapasiteetti<\/td>\nJ-kg-\u00b9-K-\u00b9<\/td>\n640<\/td>\n<\/tr>\n
Raekoko<\/td>\n\u03bcm<\/td>\n2-10<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n
\n

\"\"T\u00e4rkeimm\u00e4t ominaisuudet<\/h2>\n

Eritt\u00e4in eritt\u00e4in puhdas materiaali<\/strong>
Varmistaa minimaalisen hiukkaskontaminaation puhdastilaymp\u00e4rist\u00f6iss\u00e4.<\/p>\n

Erinomainen l\u00e4mm\u00f6nkest\u00e4vyys<\/strong>
S\u00e4ilytt\u00e4\u00e4 rakenteellisen eheyden toistuvissa l\u00e4mp\u00f6kierroissa ja korkean l\u00e4mp\u00f6tilan k\u00e4sittelyss\u00e4.<\/p>\n

Alhainen l\u00e4mp\u00f6laajeneminen<\/strong>
Tarjoaa suuren mittatarkkuuden kiekonsiirtotoimien aikana.<\/p>\n

Korkea mekaaninen lujuus<\/strong>
Kest\u00e4\u00e4 murtumista, kulumista ja pitk\u00e4aikaista v\u00e4symist\u00e4 jatkuvissa tuotantoj\u00e4rjestelmiss\u00e4.<\/p>\n

Kemiallinen kest\u00e4vyys<\/strong>
Vakaa plasmassa, sy\u00f6vytt\u00e4viss\u00e4 kaasuissa ja tyhji\u00f6ymp\u00e4rist\u00f6iss\u00e4.<\/p>\n

Eritt\u00e4in sile\u00e4 pintak\u00e4sittely<\/strong>
V\u00e4hent\u00e4\u00e4 kiekkojen naarmuuntumista ja parantaa k\u00e4sittelyn turvallisuutta.<\/p>\n

Pitk\u00e4 k\u00e4ytt\u00f6ik\u00e4<\/strong>
Suunniteltu suuritehoisiin puolijohteiden valmistusj\u00e4rjestelmiin.<\/p>\n

\n

Valmistusprosessi<\/h2>\n

The SiC-keraaminen p\u00e4\u00e4tepiste<\/strong> valmistetaan k\u00e4ytt\u00e4en kehittyneit\u00e4 keraamisia tekniikoita.<\/p>\n

Eritt\u00e4in puhdas piikarbidijauhe valitaan ja sit\u00e4 valvotaan tiukasti materiaalin yhdenmukaisuuden varmistamiseksi.<\/p>\n

Tarkkuusmuovauksessa k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n kylm\u00e4\u00e4 isostaattista puristusta tai ruiskuvalua monimutkaisten geometrioiden saavuttamiseksi.<\/p>\n

Korkeassa l\u00e4mp\u00f6tilassa yli 2000 \u00b0C:ssa tapahtuva sintraus takaa t\u00e4ydellisen tiivistymisen ja rakenteellisen vakauden.<\/p>\n

CNC-timanttikoneistuksella saavutetaan mikrotason tarkkuus ja kiekkoluokan tasaisuus.<\/p>\n

Loppukiillotus ja tarkastus varmistavat puolijohdelaatua koskevien standardien noudattamisen.<\/p>\n

Jokaiselle tuotteelle tehd\u00e4\u00e4n ennen toimitusta tiukka mittatarkastus, pinnanlaadun testaus ja rikkomaton arviointi.<\/p>\n

\n

Sovellukset<\/h2>\n

The SiC-keraaminen p\u00e4\u00e4tepiste<\/strong> k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n laajalti puolijohde- ja korkean tarkkuuden automaatioj\u00e4rjestelmiss\u00e4.<\/p>\n

Kiekonsiirtoj\u00e4rjestelm\u00e4t 6, 8 ja 12 tuuman kiekkoille.<\/p>\n

Robotisoidut kiekkojen k\u00e4sittelyj\u00e4rjestelm\u00e4t tyhji\u00f6kammioissa<\/p>\n

CVD-, ALD-, sy\u00f6vytys- ja laskeutuslaitteistot<\/p>\n

FOUP- ja FOSB-automaattiset lastaus- ja purkuj\u00e4rjestelm\u00e4t<\/p>\n

Puhdastilan kiekkojen automatisointi tuotantolinjat<\/p>\n

Laserty\u00f6st\u00f6- ja l\u00e4mp\u00f6hehkutusj\u00e4rjestelm\u00e4t<\/p>\n

\"\"<\/p>\n

\n

Edut verrattuna perinteisiin materiaaleihin<\/h2>\n

Alumiinisiin p\u00e4\u00e4tehostimiin verrattuna SiC-keramiikka tarjoaa paremman l\u00e4mp\u00f6stabiilisuuden ja eliminoi metallien kontaminaatioriskin.<\/p>\n

Kvartsiin verrattuna sen mekaaninen lujuus on suurempi ja hiukkasten muodostuminen v\u00e4h\u00e4isemp\u00e4\u00e4.<\/p>\n

Ruostumattomaan ter\u00e4kseen verrattuna se toimii luotettavammin plasma- ja korkean l\u00e4mp\u00f6tilan ymp\u00e4rist\u00f6iss\u00e4.<\/p>\n

\n

FAQ<\/h2>\n

Miksi valita SiC-keraaminen p\u00e4\u00e4tehoseula metallin tai kvartsin sijaan?<\/strong>
SiC-keraaminen materiaali tarjoaa erinomaisen l\u00e4mp\u00f6stabiilisuuden, kemiallisen kest\u00e4vyyden ja eritt\u00e4in alhaisen hiukkastuotannon, joten se on ihanteellinen kehittyneisiin puolijohdeprosesseihin.<\/p>\n

Voiko sit\u00e4 mukauttaa?<\/strong>
Kyll\u00e4, tuemme t\u00e4ydellist\u00e4 r\u00e4\u00e4t\u00e4l\u00f6inti\u00e4, mukaan lukien geometria, varren pituus, asennusliit\u00e4nt\u00e4 ja kiekkokoon yhteensopivuus.<\/p>\n

Soveltuuko se tyhji\u00f6- ja plasmaj\u00e4rjestelmiin?<\/strong>
Kyll\u00e4, SiC-keraamiikka on kemiallisesti inertti\u00e4 ja toimii luotettavasti eritt\u00e4in korkeassa tyhji\u00f6ss\u00e4 ja plasmaymp\u00e4rist\u00f6iss\u00e4.<\/p>\n

Mik\u00e4 on k\u00e4ytt\u00f6ik\u00e4?<\/strong>
Se tarjoaa huomattavasti pidemm\u00e4n k\u00e4ytt\u00f6i\u00e4n verrattuna tavanomaisiin metalli- tai kvartsip\u00e4\u00e4tteisiin tavanomaisissa k\u00e4ytt\u00f6olosuhteissa.<\/p>\n

Toimitatteko tarkastusraportteja?<\/strong>
Kyll\u00e4, toimitamme pyydett\u00e4ess\u00e4 mittaraportteja, materiaalitodistuksia ja laatutarkastusasiakirjoja.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

The SiC-keraaminen p\u00e4\u00e4tepiste<\/strong> on suorituskykyinen kiekkojen k\u00e4sittelykomponentti, joka on suunniteltu puolijohdeautomaatio- ja tarkkuusrobottij\u00e4rjestelmiin. Se on valmistettu eritt\u00e4in puhtaasta piikarbidikeramiikasta (SiC), joka tarjoaa erinomaisen mekaanisen lujuuden, l\u00e4mp\u00f6stabiilisuuden ja kemiallisen kest\u00e4vyyden \u00e4\u00e4rimm\u00e4isiss\u00e4 prosessiymp\u00e4rist\u00f6iss\u00e4.<\/p>","protected":false},"featured_media":2045,"comment_status":"open","ping_status":"closed","template":"","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"default","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}}},"product_brand":[],"product_cat":[23],"product_tag":[114,116,117,115,113,119,112,108,107,110,105,104,109,118,111,106],"class_list":["post-2041","product","type-product","status-publish","has-post-thumbnail","product_cat-silicon-carbide-sic","product_tag-cleanroom-automation","product_tag-cvd-ald-equipment-parts","product_tag-etching-equipment-components","product_tag-foup-fosb-handling","product_tag-high-temperature-ceramic","product_tag-industrial-ceramic-components","product_tag-plasma-resistant-materials","product_tag-precision-ceramic-components","product_tag-robotic-end-effector","product_tag-semiconductor-equipment-parts","product_tag-semiconductor-wafer-handling","product_tag-sic-ceramic-end-effector","product_tag-silicon-carbide-ceramic","product_tag-ultra-high-purity-ceramics","product_tag-vacuum-compatible-components","product_tag-wafer-transfer-system","desktop-align-left","tablet-align-left","mobile-align-left","first","instock","shipping-taxable","product-type-simple"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/product\/2041","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/product"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/types\/product"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2041"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2045"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2041"}],"wp:term":[{"taxonomy":"product_brand","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/product_brand?post=2041"},{"taxonomy":"product_cat","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/product_cat?post=2041"},{"taxonomy":"product_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/product_tag?post=2041"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}