{"id":2147,"date":"2026-05-13T06:33:09","date_gmt":"2026-05-13T06:33:09","guid":{"rendered":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/?p=2147"},"modified":"2026-05-13T06:33:09","modified_gmt":"2026-05-13T06:33:09","slug":"alumina-ceramic-components-in-semiconductor-equipment-functions-structures-and-advanced-applications","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/alumina-ceramic-components-in-semiconductor-equipment-functions-structures-and-advanced-applications\/","title":{"rendered":"Alumiinikeraamiset komponentit puolijohdelaitteissa: Alumiinioksidit: toiminnot, rakenteet ja kehittyneet sovellukset"},"content":{"rendered":"

Koska puolijohdekomponentit kehittyv\u00e4t jatkuvasti kohti pienempi\u00e4 solmuja, suurempaa integrointitiheytt\u00e4 ja suurempaa prosessointitarkkuutta, eritt\u00e4in puhtaiden, l\u00e4mm\u00f6nkest\u00e4vien ja plasmankest\u00e4vien materiaalien kysynt\u00e4 puolijohdekomponenttilaitteissa on kasvanut merkitt\u00e4v\u00e4sti. Kehittyneist\u00e4 teknisist\u00e4 keraameista eritt\u00e4in puhdas alumiinioksidikeramiikka (Al\u2082O\u2083) on edelleen yksi yleisimmin k\u00e4ytetyist\u00e4 materiaaleista puolijohteiden valmistusj\u00e4rjestelmiss\u00e4.<\/p>\n\n\n\n

Alumiinikeraamiset komponentit tarjoavat erinomaisen s\u00e4hk\u00f6isen eristyksen, mekaanisen vakauden, kulumiskest\u00e4vyyden ja korroosiosuojauksen ankarissa k\u00e4ytt\u00f6olosuhteissa, kuten plasmasy\u00f6vytyskammioissa, kiekkojen k\u00e4sittelyj\u00e4rjestelmiss\u00e4 ja l\u00e4mp\u00f6k\u00e4sittelylaitteissa.<\/p>\n\n\n\n

T\u00e4n\u00e4\u00e4n, eritt\u00e4in puhdasta alumiinioksidikeramiikkaa<\/a> k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n laajalti puolijohdevalmistuslaitteissa, kuten sy\u00f6vytysj\u00e4rjestelmiss\u00e4, pinnoitusty\u00f6kaluissa, CMP-alustoissa, ioni-implantointij\u00e4rjestelmiss\u00e4, diffuusiouunissa ja kiekonsiirtomoduuleissa.<\/p>\n\n\n\n

\"\"<\/figure>\n\n\n\n

Miksi alumiinioksidikeramiikka on t\u00e4rke\u00e4\u00e4 puolijohdevalmistuksessa<\/h1>\n\n\n\n

Puolijohteiden valmistukseen kuuluu useita eritt\u00e4in tarkasti valvottuja prosesseja, kuten:<\/p>\n\n\n\n

    \n
  • Plasmaetsaus<\/li>\n\n\n\n
  • Ohutkalvopinnoitus<\/li>\n\n\n\n
  • Fotolitografia<\/li>\n\n\n\n
  • Kemiallinen mekaaninen kiillotus (CMP)<\/li>\n\n\n\n
  • Ioni-implantointi<\/li>\n\n\n\n
  • Terminen hehkutus<\/li>\n\n\n\n
  • Hapettuminen ja diffuusio<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

    N\u00e4m\u00e4 prosessit altistavat laitteiden sis\u00e4iset komponentit:<\/p>\n\n\n\n

      \n
    • Suurenerginen plasma<\/li>\n\n\n\n
    • Tyhji\u00f6ymp\u00e4rist\u00f6t<\/li>\n\n\n\n
    • Sy\u00f6vytt\u00e4v\u00e4t kaasut ja kemikaalit<\/li>\n\n\n\n
    • Korkeat l\u00e4mp\u00f6tilat<\/li>\n\n\n\n
    • Mekaaninen kuluminen ja t\u00e4rin\u00e4<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

      Perinteiset metallimateriaalit ovat usein vaikeuksissa t\u00e4llaisissa ymp\u00e4rist\u00f6iss\u00e4 saastumisriskien, l\u00e4mp\u00f6laajenemisen tai kemiallisen ep\u00e4vakauden vuoksi. Eritt\u00e4in puhdas alumiinioksidikeramiikka ratkaisee monet n\u00e4ist\u00e4 haasteista ainutlaatuisella ominaisuusyhdistelm\u00e4ll\u00e4\u00e4n.<\/p>\n\n\n\n

      Eritt\u00e4in puhtaan alumiinioksidikeramiikan t\u00e4rkeimm\u00e4t ominaisuudet<\/h1>\n\n\n\n

      Puolijohdelaitteissa k\u00e4ytett\u00e4v\u00e4 eritt\u00e4in puhdas alumiinioksidi ylitt\u00e4\u00e4 yleens\u00e4 99,5%-puhtauden ja tarjoaa:<\/p>\n\n\n\n

      Erinomainen s\u00e4hk\u00f6eristys<\/h2>\n\n\n\n

      Alumiinioksidi s\u00e4ilytt\u00e4\u00e4 korkean s\u00e4hk\u00f6vastuksen my\u00f6s korkeissa l\u00e4mp\u00f6tiloissa, mink\u00e4 vuoksi se on ihanteellinen plasmakammioissa ja s\u00e4hk\u00f6staattisissa j\u00e4rjestelmiss\u00e4.<\/p>\n\n\n\n

      Erinomainen plasman kest\u00e4vyys<\/h2>\n\n\n\n

      Materiaali kest\u00e4\u00e4 hyvin plasmaeroosiota ja kemiallisia hy\u00f6kk\u00e4yksi\u00e4 fluori- ja klooripohjaisissa ymp\u00e4rist\u00f6iss\u00e4.<\/p>\n\n\n\n

      Korkea mekaaninen lujuus<\/h2>\n\n\n\n

      Alumiinikeraamiikka tarjoaa erinomaisen j\u00e4ykkyyden, kovuuden ja rakenteellisen vakauden vaativissa k\u00e4ytt\u00f6olosuhteissa.<\/p>\n\n\n\n

      Ylivoimainen kulutuskest\u00e4vyys<\/h2>\n\n\n\n

      Alhainen kuluminen tekee alumiinioksidista sopivan liikkuvien mekaanisten kokoonpanojen ja kiekkokontaktikomponenttien valmistukseen.<\/p>\n\n\n\n

      Korkean l\u00e4mp\u00f6tilan stabiilisuus<\/h2>\n\n\n\n

      Alumiinioksidi toimii luotettavasti tyhji\u00f6- ja korkean l\u00e4mp\u00f6tilan k\u00e4sittely-ymp\u00e4rist\u00f6iss\u00e4, joita esiintyy yleisesti puolijohdelaitteissa.<\/p>\n\n\n\n

      Alumiinikeraamien t\u00e4rkeimm\u00e4t sovellukset puolijohdeprosesseissa<\/h1>\n\n\n\n

      1. Plasmaetsausj\u00e4rjestelm\u00e4t<\/h2>\n\n\n\n

      Plasmasy\u00f6vytyslaitteissa k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n yleisesti alumiinioksidikeramiikkaa:<\/p>\n\n\n\n

        \n
      • Kammion vuoraukset<\/li>\n\n\n\n
      • Plasmasuojat<\/li>\n\n\n\n
      • Tarkennusrenkaat<\/li>\n\n\n\n
      • Reunasuojakomponentit<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

        N\u00e4m\u00e4 osat auttavat v\u00e4hent\u00e4m\u00e4\u00e4n kontaminaatiota ja suojaavat kammiorakenteita plasmaeroosiolta.<\/p>\n\n\n\n

        2. Ohutkalvop\u00e4\u00e4llystyslaitteet<\/h2>\n\n\n\n

        CVD-, PECVD- ja PVD-j\u00e4rjestelmiss\u00e4 alumiinioksidikeramiikkaa k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n laajalti:<\/p>\n\n\n\n

          \n
        • S\u00e4hk\u00f6staattiset kiinnittimet (ESC)<\/li>\n\n\n\n
        • Keraamiset l\u00e4mmittimet<\/li>\n\n\n\n
        • Kammion eristysrakenteet<\/li>\n\n\n\n
        • Kaasunjakelulaitteet<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

          Niiden l\u00e4mp\u00f6stabiilisuus ja eristyskyky auttavat yll\u00e4pit\u00e4m\u00e4\u00e4n tasaiset laskeutumisolosuhteet.<\/p>\n\n\n\n

          3. Kemiallinen mekaaninen kiillotus (CMP)<\/h2>\n\n\n\n

          CMP-prosessit edellytt\u00e4v\u00e4t komponentteja, joilla on:<\/p>\n\n\n\n

            \n
          • Alhainen kulumisaste<\/li>\n\n\n\n
          • Kemiallinen kest\u00e4vyys<\/li>\n\n\n\n
          • Mittavakavuus<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

            CMP-laitteissa k\u00e4ytett\u00e4vi\u00e4 alumiinioksidikeraamisia komponentteja ovat muun muassa:<\/p>\n\n\n\n

              \n
            • Kiillotuslevyt<\/li>\n\n\n\n
            • Tyhji\u00f6ruuvit<\/li>\n\n\n\n
            • Siirtovarret<\/li>\n\n\n\n
            • Opastavat rakenteet<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

              4. Ioni-implantointi ja l\u00e4mp\u00f6k\u00e4sittely<\/h2>\n\n\n\n

              Ioni-implantointi-, hehkutus-, hapetus- ja diffuusioj\u00e4rjestelmiss\u00e4 k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n alumiinioksidikeramiikkaa sen:<\/p>\n\n\n\n

                \n
              • L\u00e4mm\u00f6nkest\u00e4vyys<\/li>\n\n\n\n
              • S\u00e4hk\u00f6inen eristys<\/li>\n\n\n\n
              • Rakenteellinen luotettavuus<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                N\u00e4m\u00e4 ominaisuudet tukevat kiekkojen vakaata k\u00e4sittely\u00e4 korkeissa l\u00e4mp\u00f6tiloissa.<\/p>\n\n\n\n

                Puolijohdelaitteiden yleiset alumiinioksidikeraamiset komponentit<\/h1>\n\n\n\n

                Rengas- ja lieri\u00f6komponentit<\/h2>\n\n\n\n

                T\u00e4h\u00e4n luokkaan kuuluvat:<\/p>\n\n\n\n

                  \n
                • Tarkennusrenkaat<\/li>\n\n\n\n
                • Reunarenkaat<\/li>\n\n\n\n
                • Suojarenkaat<\/li>\n\n\n\n
                • Kammion vuoraukset<\/li>\n\n\n\n
                • Eristyssylinterit<\/li>\n\n\n\n
                • L\u00e4mp\u00f6suojaputket<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                  N\u00e4it\u00e4 komponentteja k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n p\u00e4\u00e4asiassa seuraaviin tarkoituksiin:<\/p>\n\n\n\n

                    \n
                  • Plasman jakauman s\u00e4\u00e4t\u00f6<\/li>\n\n\n\n
                  • Suojaa kammion rakenteet<\/li>\n\n\n\n
                  • Parantaa prosessin vakautta<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                    Kaasuvirtauksen hallinnan komponentit<\/h2>\n\n\n\n

                    Keraamiset suuttimet<\/h3>\n\n\n\n

                    K\u00e4ytet\u00e4\u00e4n prosessikaasun sy\u00f6tt\u00f6\u00f6n ja kaasun suuntaamiseen laskeutus- ja sy\u00f6vytyskammioissa.<\/p>\n\n\n\n

                    Kaasunjakelulevyt<\/h3>\n\n\n\n

                    Auttaa yll\u00e4pit\u00e4m\u00e4\u00e4n tasaisen kaasuvirtauksen ja vakaan plasmatiheyden koko kiekon pinnalla.<\/p>\n\n\n\n

                    Suuttimen suojukset<\/h3>\n\n\n\n

                    Tukevat kaasunruiskutusasennelmia ja v\u00e4hent\u00e4v\u00e4t samalla j\u00e4\u00e4mien kertymist\u00e4 kammion sis\u00e4lle.<\/p>\n\n\n\n

                    Rakenne- ja tukikomponentit<\/h2>\n\n\n\n

                    Kiekkojen tukialustat<\/h3>\n\n\n\n

                    K\u00e4ytet\u00e4\u00e4n kiekkojen kantorakenteina k\u00e4sittelyn aikana.<\/p>\n\n\n\n

                    Nostotapit<\/h3>\n\n\n\n

                    Mahdollistaa kiekkojen lastaamisen ja purkamisen puolijohdekammioissa.<\/p>\n\n\n\n

                    Keraamiset ohjainkiskot ja laakerit<\/h3>\n\n\n\n

                    Tukevat tarkkaa mekaanista liikett\u00e4 s\u00e4ilytt\u00e4en samalla kulutuskest\u00e4vyyden ja eristyksen.<\/p>\n\n\n\n

                    Keraamiset kiinnikkeet<\/h3>\n\n\n\n

                    Keraamiset ruuvit ja kiinnitysosat korvaavat metallit korkean l\u00e4mp\u00f6tilan tai s\u00e4hk\u00f6isesti eristetyill\u00e4 alueilla.<\/p>\n\n\n\n

                    Kiekkojen k\u00e4sittely- ja eristyskomponentit<\/h2>\n\n\n\n

                    Kiekkojen k\u00e4sittelyvarret<\/h3>\n\n\n\n

                    Lujia keraamisia robottivarret k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n kiekkojen siirtoon tyhji\u00f6olosuhteissa.<\/p>\n\n\n\n

                    Keraamiset eristyslevyt<\/h3>\n\n\n\n

                    Est\u00e4\u00e4 ei-toivotun s\u00e4hk\u00f6johtumisen kammiorakenteiden v\u00e4lill\u00e4.<\/p>\n\n\n\n

                    Keraamiset l\u00e4mm\u00f6ntuotto osat<\/h3>\n\n\n\n

                    Auttaa l\u00e4mm\u00f6nhallinnassa ja paikallisessa j\u00e4\u00e4hdytyksess\u00e4.<\/p>\n\n\n\n

                    Kehittyneet alumiinioksidikeraamiset moduulit<\/h1>\n\n\n\n

                    Tyhji\u00f6ruuvit<\/h2>\n\n\n\n

                    Tyhji\u00f6ruuvit pit\u00e4v\u00e4t kiekot littein\u00e4 tyhji\u00f6imun avulla:<\/p>\n\n\n\n

                      \n
                    • Etsaus<\/li>\n\n\n\n
                    • CMP<\/li>\n\n\n\n
                    • Tarkastusprosessit<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                      Integroidut j\u00e4\u00e4hdytyskanavat parantavat l\u00e4mm\u00f6ns\u00e4\u00e4t\u00f6\u00e4 ja prosessin tasaisuutta.<\/p>\n\n\n\n

                      S\u00e4hk\u00f6staattiset kiinnittimet (ESC)<\/h2>\n\n\n\n

                      S\u00e4hk\u00f6staattisissa kiinnittimiss\u00e4 k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n s\u00e4hk\u00f6staattista voimaa kiekkojen pit\u00e4miseen plasmak\u00e4sittelyn aikana.<\/p>\n\n\n\n

                      Alumiinikeraamiikkaa k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n laajalti, koska se tarjoaa:<\/p>\n\n\n\n

                        \n
                      • S\u00e4hk\u00f6inen eristys<\/li>\n\n\n\n
                      • Plasman vastus<\/li>\n\n\n\n
                      • L\u00e4mp\u00f6stabiilisuus<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                        ESC-j\u00e4rjestelm\u00e4t ovat v\u00e4ltt\u00e4m\u00e4tt\u00f6mi\u00e4 kehittyneiss\u00e4 etsaus- ja pinnoituslaitteissa.<\/p>\n\n\n\n

                        Keraamiset l\u00e4mmittimet<\/h2>\n\n\n\n

                        Keraamiset l\u00e4mmittimet tarjoavat vakaan ja tasaisen kiekonl\u00e4mmityksen:<\/p>\n\n\n\n

                          \n
                        • Laskeutusj\u00e4rjestelm\u00e4t<\/li>\n\n\n\n
                        • Hehkutuslaitteet<\/li>\n\n\n\n
                        • L\u00e4mp\u00f6k\u00e4sittelyty\u00f6kalut<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                          Vaikka alumiinioksidia k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n laajalti, alumiininitridin (AlN) l\u00e4mmittimet valitaan usein silloin, kun tarvitaan korkeampaa l\u00e4mm\u00f6njohtavuutta.<\/p>\n\n\n\n

                          CMP-kiillotuslevyt<\/h2>\n\n\n\n

                          Alumiinikiillotuskomponentit s\u00e4ilytt\u00e4v\u00e4t erinomaisen tasaisuuden ja kulutuskest\u00e4vyyden pitk\u00e4kestoisissa kiillotustoimissa.<\/p>\n\n\n\n

                          Miksi puolijohdelaitteissa k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n eritt\u00e4in puhdasta keramiikkaa?<\/h1>\n\n\n\n

                          Perinteisiin teknisiin materiaaleihin verrattuna kehittyneill\u00e4 keraamisilla on useita etuja:<\/p>\n\n\n\n

                          Kiinteist\u00f6<\/th>Alumiinikeraaminen etu<\/th><\/tr><\/thead>
                          S\u00e4hk\u00f6eristys<\/td>Erinomainen<\/td><\/tr>
                          Plasman vastus<\/td>Korkea<\/td><\/tr>
                          Kulutuskest\u00e4vyys<\/td>Erinomainen<\/td><\/tr>
                          L\u00e4mp\u00f6stabiilisuus<\/td>Vahva<\/td><\/tr>
                          Kemiallinen kest\u00e4vyys<\/td>Erinomainen<\/td><\/tr>
                          Hiukkasten hallinta<\/td>V\u00e4h\u00e4inen saastuminen<\/td><\/tr>
                          Tyhji\u00f6yhteensopivuus<\/td>Erinomainen<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n

                          N\u00e4iden etujen ansiosta alumiinioksidikeramiikka on korvaamaton osa nykyaikaisia puolijohdelaitteita.<\/p>\n\n\n\n

                          Markkinasuuntaukset ja alan n\u00e4kym\u00e4t<\/h1>\n\n\n\n

                          Kun puolijohdevalmistus jatkaa siirtymist\u00e4\u00e4n kohti:<\/p>\n\n\n\n

                            \n
                          • Kehittyneet prosessisolmut<\/li>\n\n\n\n
                          • Suurempi kiekon l\u00e4pimeno<\/li>\n\n\n\n
                          • Aggressiivisemmat plasmakemiat<\/li>\n\n\n\n
                          • Puhtaammat prosessiymp\u00e4rist\u00f6t<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                            Tarkkuuskeraamisten komponenttien kysynn\u00e4n odotetaan kasvavan tasaisesti.<\/p>\n\n\n\n

                            Puolijohdekomponenttien valmistaminen edellytt\u00e4\u00e4:<\/p>\n\n\n\n

                              \n
                            • Eritt\u00e4in puhtaat raaka-aineet<\/li>\n\n\n\n
                            • Tarkkuuskoneistusvalmiudet<\/li>\n\n\n\n
                            • Tiukka saastumisen valvonta<\/li>\n\n\n\n
                            • Kehittynyt keraaminen k\u00e4sittelytekniikka<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                              N\u00e4iden korkeiden teknisten esteiden vuoksi keraamiset puolijohdekomponentit ovat edelleen erikoistuneet ja teknologiaintensiiviset markkinat.<\/p>\n\n\n\n

                              P\u00e4\u00e4telm\u00e4<\/h1>\n\n\n\n

                              Eritt\u00e4in puhtaista alumiinioksidikeraamisista komponenteista on tullut v\u00e4ltt\u00e4m\u00e4tt\u00f6mi\u00e4 materiaaleja kaikissa puolijohteiden valmistuslaitteissa. Niiden erinomaisen eristyskyvyn, plasmankest\u00e4vyyden, kulutuskest\u00e4vyyden ja l\u00e4mp\u00f6stabiilisuuden ansiosta puolijohdety\u00f6kalut toimivat luotettavasti \u00e4\u00e4rimm\u00e4isiss\u00e4 k\u00e4sittelyolosuhteissa.<\/p>\n\n\n\n

                              Alumiinikeraamit ovat edelleen ratkaisevassa asemassa vakaassa, tarkassa ja kontaminaatioiden hallitsemassa puolijohdetuotannossa plasmasy\u00f6vytyskammioista ja s\u00e4hk\u00f6staattisista kiinnittimist\u00e4 kiekkojen k\u00e4sittelyvarsiin ja keraamisiin l\u00e4mmittimiin.<\/p>\n\n\n\n

                              Kun puolijohdeteknologia kehittyy jatkuvasti, kehittyneiden keraamisten materiaalien merkitys puolijohdelaitteissa vain kasvaa.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

                              As semiconductor devices continue evolving toward smaller nodes, higher integration density, and greater processing precision, the demand for ultra-clean, heat-resistant, and plasma-stable materials inside semiconductor equipment has increased significantly. Among advanced engineering ceramics, high-purity alumina ceramic (Al\u2082O\u2083) remains one of the most widely used materials across semiconductor manufacturing systems. From plasma etching chambers to wafer […]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":2148,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[3],"tags":[269,268,266,267,270,271,265],"class_list":["post-2147","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-industry-news","tag-and-wafer-handling-systems-learn-about-their-properties","tag-ceramic-heaters","tag-cmp","tag-deposition","tag-discover-how-high-purity-alumina-ceramic-components-are-used-in-semiconductor-manufacturing-equipment-including-plasma-etching","tag-electrostatic-chucks","tag-functions"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2147","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2147"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2147\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2149,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2147\/revisions\/2149"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2148"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2147"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2147"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2147"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}