{"id":2036,"date":"2026-05-08T05:18:41","date_gmt":"2026-05-08T05:18:41","guid":{"rendered":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/?p=2036"},"modified":"2026-05-08T05:19:21","modified_gmt":"2026-05-08T05:19:21","slug":"advanced-ceramic-components-in-semiconductor-manufacturing-electrostatic-chuck-principles-and-trends","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/advanced-ceramic-components-in-semiconductor-manufacturing-electrostatic-chuck-principles-and-trends\/","title":{"rendered":"Kehittyneet keraamiset komponentit puolijohdevalmistuksessa: S\u00e4hk\u00f6staattisen kiinnittimen periaatteet ja suuntaukset: S\u00e4hk\u00f6staattisen kiinnittimen periaatteet ja suuntaukset"},"content":{"rendered":"<h2 class=\"wp-block-heading\">1. Johdanto: Kehittyneen keramiikan rooli puolijohdelaitteissa.<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Nykyaikaisessa puolijohteiden valmistuksessa laitteet toimivat \u00e4\u00e4rimm\u00e4isiss\u00e4 olosuhteissa, kuten tyhji\u00f6olosuhteissa, korkeissa l\u00e4mp\u00f6tiloissa, plasma-altistuksessa ja eritt\u00e4in tarkassa liikkeenohjauksessa. Perinteiset metallimateriaalit eiv\u00e4t useinkaan t\u00e4yt\u00e4 vakauden, puhtauden, s\u00e4hk\u00f6isen eristyksen ja l\u00e4mm\u00f6nhallinnan yhdistettyj\u00e4 vaatimuksia.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Kehittyneist\u00e4 teknisist\u00e4 keraameista - kuten alumiinioksidista (Al\u2082O\u2083), alumiininitridist\u00e4 (AlN) ja piikarbidista (SiC) - on siksi tullut kriittisten puolijohdekomponenttien keskeisi\u00e4 materiaaleja. Tarkan muotoilun ja eritt\u00e4in tarkan ty\u00f6st\u00f6n j\u00e4lkeen n\u00e4it\u00e4 keraamisia k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n laajalti keskeisiss\u00e4 prosessilaitteissa, kuten litografiassa, etsauksessa, ohutkalvop\u00e4\u00e4llystyksess\u00e4, ioni-implantoinnissa ja kemiallisessa mekaanisessa planarisaatiossa (CMP).<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">N\u00e4ist\u00e4 komponenteista s\u00e4hk\u00f6staattinen kiinnitin (ESC) on yksi t\u00e4rkeimmist\u00e4 toiminnallisista keraamisista laitteista.<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image aligncenter size-full\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"426\" height=\"238\" src=\"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Electrostatic-Chuck-Principles-and-Trends-1.png\" alt=\"\" class=\"wp-image-2038\" srcset=\"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Electrostatic-Chuck-Principles-and-Trends-1.png 426w, https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Electrostatic-Chuck-Principles-and-Trends-1-300x168.png 300w, https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Electrostatic-Chuck-Principles-and-Trends-1-18x10.png 18w\" sizes=\"(max-width: 426px) 100vw, 426px\" \/><\/figure>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">2. S\u00e4hk\u00f6staattisten ruuvipuristimien toiminta ja soveltaminen<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">An <a href=\"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/tuotteet\/\" data-type=\"page\" data-id=\"1921\">s\u00e4hk\u00f6staattinen kiinnitin<\/a> on tyhji\u00f6- tai plasmaymp\u00e4rist\u00f6ihin suunniteltu kiekkojen k\u00e4sittely- ja pitolaite. Se mahdollistaa eritt\u00e4in ohuiden puolijohdekiekkojen vakaan ja tasaisen kiinnitt\u00e4misen ilman mekaanista kosketusta.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Sit\u00e4 k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n laajalti kehittyneiss\u00e4 puolijohdeprosesseissa, kuten:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Plasmaetsaus (ETCH)<\/li>\n\n\n\n<li>Fysikaalinen kaasufaasipinnoitus (PVD)<\/li>\n\n\n\n<li>Plasma-avusteinen kemiallinen kaasufaasipinnoitus (PECVD)<\/li>\n\n\n\n<li>\u00c4\u00e4rimm\u00e4inen ultraviolettilitografia (EUVL)<\/li>\n\n\n\n<li>Ioni-implantointi<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">N\u00e4iss\u00e4 prosesseissa kiekot altistuvat energeettisille hiukkasille ja l\u00e4mp\u00f6kuormitukselle. T\u00e4m\u00e4n vuoksi s\u00e4hk\u00f6staattisen kiinnittimen on varmistettava sek\u00e4 mekaaninen vakaus ett\u00e4 tarkka l\u00e4mm\u00f6ns\u00e4\u00e4t\u00f6.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3. Toimintaperiaate: s\u00e4hk\u00f6staattinen voima ja l\u00e4mm\u00f6nhallinta<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">S\u00e4hk\u00f6staattinen kiinnitin toimii s\u00e4hk\u00f6kent\u00e4n synnytt\u00e4m\u00e4n s\u00e4hk\u00f6staattisen vetovoiman avulla. Vastakkaisesti varautuneet pinnat luovat vetovoiman, joka pit\u00e4\u00e4 kiekon turvallisesti paikallaan.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">S\u00e4hk\u00f6staattinen perusvuorovaikutus voidaan kuvata seuraavasti:<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><math xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1998\/Math\/MathML\"><semantics><mrow><mi>F<\/mi><mo>=<\/mo><mi>k<\/mi><mfrac><mrow><msub><mi>q<\/mi><mn>1<\/mn><\/msub><msub><mi>q<\/mi><mn>2<\/mn><\/msub><\/mrow><msup><mi>r<\/mi><mn>2<\/mn><\/msup><\/mfrac><\/mrow><annotation encoding=\"application\/x-tex\">F = k \\frac{q_1 q_2}{r^2}<\/annotation><\/semantics><\/math>F=kr2q1q2<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><math xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1998\/Math\/MathML\"><semantics><mrow><msub><mi>q<\/mi><mn>1<\/mn><\/msub><\/mrow><annotation encoding=\"application\/x-tex\">q_1<\/annotation><\/semantics><\/math>q1<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><math xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1998\/Math\/MathML\"><semantics><mrow><msub><mi>q<\/mi><mn>2<\/mn><\/msub><\/mrow><annotation encoding=\"application\/x-tex\">q_2<\/annotation><\/semantics><\/math>q2<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><math xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1998\/Math\/MathML\"><semantics><mrow><mi>r<\/mi><\/mrow><annotation encoding=\"application\/x-tex\">r<\/annotation><\/semantics><\/math>r<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><math xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1998\/Math\/MathML\"><semantics><mrow><mi>F<\/mi><mo>=<\/mo><mi>k<\/mi><mfrac><mrow><msub><mi>q<\/mi><mn>1<\/mn><\/msub><msub><mi>q<\/mi><mn>2<\/mn><\/msub><\/mrow><msup><mi>r<\/mi><mn>2<\/mn><\/msup><\/mfrac><mo>\u2248<\/mo><mo>\u2212<\/mo><mn>5.06<\/mn><\/mrow><annotation encoding=\"application\/x-tex\">F = k\\frac{q_1 q_2}{r^2} \\approx -5.06<\/annotation><\/semantics><\/math>F=kr2q1q2\u2248-5.06+-<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Miss\u00e4:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><math xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1998\/Math\/MathML\"><semantics><mrow><mi>F<\/mi><\/mrow><annotation encoding=\"application\/x-tex\">F<\/annotation><\/semantics><\/math>F: s\u00e4hk\u00f6staattinen voima<\/li>\n\n\n\n<li><math xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1998\/Math\/MathML\"><semantics><mrow><msub><mi>q<\/mi><mn>1<\/mn><\/msub><mo separator=\"true\">,<\/mo><msub><mi>q<\/mi><mn>2<\/mn><\/msub><\/mrow><annotation encoding=\"application\/x-tex\">q_1, q_2<\/annotation><\/semantics><\/math>q1,q2: s\u00e4hk\u00f6varaukset<\/li>\n\n\n\n<li><math xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1998\/Math\/MathML\"><semantics><mrow><mi>r<\/mi><\/mrow><annotation encoding=\"application\/x-tex\">r<\/annotation><\/semantics><\/math>r: latausten v\u00e4linen et\u00e4isyys<\/li>\n\n\n\n<li><math xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/1998\/Math\/MathML\"><semantics><mrow><mi>k<\/mi><\/mrow><annotation encoding=\"application\/x-tex\">k<\/annotation><\/semantics><\/math>k: Coulombin vakio<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Rakenteellisesti s\u00e4hk\u00f6staattinen kotelo koostuu yleens\u00e4 kolmesta kerroksesta:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>Dielektrinen kerros<\/strong>: m\u00e4\u00e4rittelee eristyksen ja s\u00e4hk\u00f6kent\u00e4n jakautumisen<\/li>\n\n\n\n<li><strong>Elektrodikerros<\/strong>: tuottaa s\u00e4hk\u00f6staattisen kent\u00e4n<\/li>\n\n\n\n<li><strong>Pohjakerros<\/strong>: tarjoaa mekaanista tukea ja l\u00e4mm\u00f6n johtumista<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">L\u00e4mp\u00f6kuormituksen hallitsemiseksi prosessoinnin aikana k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n yleisesti heliumin takapuolen j\u00e4\u00e4hdytyst\u00e4, joka parantaa l\u00e4mm\u00f6nsiirtoa kiekon ja juuttimen pinnan v\u00e4lill\u00e4.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">4. Luokitus: Coulomb-tyyppinen ja Johnsen-Rahbek-tyyppinen ESC<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">S\u00e4hk\u00f6staattiset kiinnittimet luokitellaan yleens\u00e4 kahteen tyyppiin niiden dielektrisen k\u00e4ytt\u00e4ytymisen perusteella:<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">(1) Coulomb-tyyppinen ESC<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">T\u00e4m\u00e4ntyyppinen kiinnitys perustuu pelk\u00e4st\u00e4\u00e4n s\u00e4hk\u00f6staattiseen voimaan. Se on rakenteeltaan yksinkertaisempi, mutta sen puristusvoima on suhteellisesti pienempi.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">(2) Johnsen-Rahbek (J-R) -tyyppinen ohjaustehostin.<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">T\u00e4m\u00e4 tyyppi lis\u00e4\u00e4 hieman s\u00e4hk\u00f6njohtavuutta dielektriseen kerrokseen, mik\u00e4 parantaa polarisaatiovaikutuksia ja lis\u00e4\u00e4 puristusvoimaa.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">T\u00e4rkeimpi\u00e4 etuja ovat:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Suurempi puristusvoima pienemm\u00e4ll\u00e4 j\u00e4nnitteell\u00e4<\/li>\n\n\n\n<li>Kiekkokontaktin vakauden parantaminen<\/li>\n\n\n\n<li>Parempi suorituskyky kehittyneiss\u00e4 puolijohdesolmuissa<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Se edellytt\u00e4\u00e4 kuitenkin suurempaa materiaalin tasalaatuisuutta ja monimutkaisempia valmistusprosesseja.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">5. Toimialan kehitys ja markkinoiden ominaispiirteet<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Puolijohteiden valmistuskapasiteetin nopean laajentumisen ja kehittyneiden solmujen kasvavan kysynn\u00e4n ansiosta s\u00e4hk\u00f6staattisten kiinnittimien markkinat kasvavat edelleen tasaisesti.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Toimialan keskeisi\u00e4 piirteit\u00e4 ovat:<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">(1) Korkeat teknologiset esteet<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Teknologia yhdist\u00e4\u00e4 materiaalitiedett\u00e4, s\u00e4hk\u00f6tekniikkaa, l\u00e4mm\u00f6nhallintaa ja ultratarkkaa koneistusta.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">(2) Markkinoiden voimakas keskittyminen<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Maailmanlaajuisia markkinoita hallitsee pieni m\u00e4\u00e4r\u00e4 kehittyneit\u00e4 valmistajia, joilla on vahvat integraatiovalmiudet.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">(3) Alueellinen erikoistuminen<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Korkeatasoinen suunnittelu ja j\u00e4rjestelm\u00e4integraatio keskittyv\u00e4t teknologisesti kehittyneille alueille, kun taas tarkkuuskeramiikan valmistus siirtyy yh\u00e4 enemm\u00e4n Aasiaan.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">(4) Kasvava lokalisointisuuntaus<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Kotimaisten puolijohde-ekosysteemien laajentuessa on alkanut synty\u00e4 s\u00e4hk\u00f6staattisten kiinnittimien paikallistuotantoa, vaikka pitk\u00e4aikaiseen luotettavuuteen ja huippuluokan prosessien yhteensopivuuteen liittyy edelleen haasteita.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">6. T\u00e4rkeimm\u00e4t materiaalit ja tulevaisuuden kehityssuuntaukset<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Tulevaisuudessa s\u00e4hk\u00f6staattisten kiinnittimien ja keraamisten komponenttien kehitt\u00e4misess\u00e4 keskityt\u00e4\u00e4n seuraaviin aiheisiin:<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">(1) Korkean l\u00e4mm\u00f6njohtavuuden keramiikka<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">L\u00e4mp\u00f6tilan tasaisuuden parantaminen optimoitujen AlN- ja SiC-materiaalien avulla.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">(2) Eritt\u00e4in korkea puhtaus ja alhainen vikatiheys<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Ep\u00e4puhtauksien ja mikrovirheiden v\u00e4hent\u00e4minen plasmakest\u00e4vyyden ja vakauden parantamiseksi.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">(3) Monikerroksiset komposiittirakenteet<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">S\u00e4hk\u00f6eristyksen, mekaanisen lujuuden ja l\u00e4mp\u00f6tehokkuuden tasapainottaminen.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">(4) Pidennetty k\u00e4ytt\u00f6ik\u00e4<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Parannetaan l\u00e4mm\u00f6nkest\u00e4vyytt\u00e4 ja plasmakorroosiota, jotta vaihtov\u00e4li\u00e4 voidaan v\u00e4hent\u00e4\u00e4.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">7. P\u00e4\u00e4telm\u00e4t<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">S\u00e4hk\u00f6staattisissa kiinnittimiss\u00e4, jotka ovat puolijohdelaitteiden keskeisi\u00e4 keraamisia toiminnallisia komponentteja, yhdistyv\u00e4t pitk\u00e4lle kehitetty materiaalitiede, s\u00e4hk\u00f6statiikka ja l\u00e4mp\u00f6tekniikka. Niiden suorituskyky vaikuttaa suoraan kiekkojen k\u00e4sittelyn tarkkuuteen ja valmistustulokseen.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Kun puolijohdeprosessit kehittyv\u00e4t edelleen kohti suurempaa tarkkuutta ja pienempi\u00e4 solmuja, suorituskykyisten keraamisten komponenttien kysynt\u00e4 kasvaa edelleen, mik\u00e4 edist\u00e4\u00e4 jatkuvaa innovointia materiaaleissa ja valmistustekniikoissa.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>1. Introduction: Role of Advanced Ceramics in Semiconductor Equipment In modern semiconductor manufacturing, equipment operates under extreme conditions such as vacuum environments, high temperatures, plasma exposure, and ultra-precision motion control. Traditional metallic materials often fail to meet the combined requirements of stability, cleanliness, electrical insulation, and thermal management. Advanced engineering ceramics\u2014such as alumina (Al\u2082O\u2083), aluminum [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":2038,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[3],"tags":[46,37,102,96,91,68,103,93,92,101,95,89,98,55,90,78,94,100,97,99],"class_list":["post-2036","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-industry-news","tag-advanced-ceramics","tag-alumina-ceramics","tag-aluminum-nitride","tag-coulomb-force","tag-dielectric-materials","tag-electrostatic-chuck","tag-esc","tag-etching-process","tag-helium-cooling","tag-ion-implantation","tag-johnsen-rahbek","tag-plasma-process","tag-precision-machining","tag-semiconductor","tag-semiconductor-equipment","tag-silicon-carbide","tag-thermal-management","tag-thin-film-deposition","tag-vacuum-environment","tag-wafer-handling"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2036","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2036"}],"version-history":[{"count":2,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2036\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2040,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2036\/revisions\/2040"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2038"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2036"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2036"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2036"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}