{"id":2018,"date":"2026-05-08T03:14:11","date_gmt":"2026-05-08T03:14:11","guid":{"rendered":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/?p=2018"},"modified":"2026-05-08T03:14:11","modified_gmt":"2026-05-08T03:14:11","slug":"precision-ceramics-in-semiconductor-equipment-core-roles-and-industry-development-trends","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/precision-ceramics-in-semiconductor-equipment-core-roles-and-industry-development-trends\/","title":{"rendered":"Tarkkuuskeramiikka puolijohdelaitteissa: Ydinroolit ja teollisuuden kehityssuuntaukset"},"content":{"rendered":"

1. Johdanto<\/h2>\n\n\n\n

Tarkkuuskeramiikalla tarkoitetaan korkean suorituskyvyn omaavia kehittyneet keraamiset komponentit<\/a> joita k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n puolijohteiden valmistuslaitteissa. N\u00e4iss\u00e4 komponenteissa on tyypillisesti monimutkaisia rakenteita, eritt\u00e4in korkea puhtaus ja eritt\u00e4in tiukat mittatoleranssit. Niill\u00e4 on ratkaiseva merkitys puolijohteiden valmistusprosessien vakauden, tarkkuuden ja luotettavuuden varmistamisessa.<\/p>\n\n\n\n

Maailmanlaajuisen puolijohdeteollisuuden nopean laajentumisen ja jatkuvan pyrkimyksen kohti pienempi\u00e4 prosessisolmuja, korkeampaa integraatiota ja monimutkaisempia valmistusymp\u00e4rist\u00f6j\u00e4 my\u00f6t\u00e4 puolijohdelaitteet ovat kehittyneet kohti suurempaa tarkkuutta ja kovempia k\u00e4ytt\u00f6olosuhteita. T\u00e4m\u00e4n seurauksena tarkkuuskeraamisista komponenteista on tullut nykyaikaisten puolijohdelaitteiden v\u00e4ltt\u00e4m\u00e4tt\u00f6mi\u00e4 \u201cpiilotettuja ydinosia\u201d.<\/p>\n\n\n\n

Nyky\u00e4\u00e4n tarkkuuskeramiikan osuus puolijohdelaitej\u00e4rjestelmien arvosta on noin 16%, mik\u00e4 korostaa sen strategista merkityst\u00e4 toimitusketjussa.<\/p>\n\n\n\n

\"\"<\/figure>\n\n\n\n

2. Miksi tarkkuuskeramiikka on v\u00e4ltt\u00e4m\u00e4t\u00f6nt\u00e4 puolijohdelaitteissa?<\/h2>\n\n\n\n

Puolijohteiden valmistukseen liittyy eritt\u00e4in vaativia ymp\u00e4rist\u00f6j\u00e4, kuten korkeat l\u00e4mp\u00f6tilat, plasmakorroosio, eritt\u00e4in puhtaat tyhji\u00f6olosuhteet ja eritt\u00e4in tarkat mekaaniset liikkeet.<\/p>\n\n\n\n

Perinteiset materiaalit, kuten metallit ja polymeerit, ep\u00e4onnistuvat usein n\u00e4iss\u00e4 olosuhteissa, koska:<\/p>\n\n\n\n

    \n
  • L\u00e4mp\u00f6muodonmuutos<\/li>\n\n\n\n
  • Kemiallinen korroosio<\/li>\n\n\n\n
  • Hiukkasten aiheuttama saastuminen<\/li>\n\n\n\n
  • S\u00e4hk\u00f6njohtavuuteen liittyv\u00e4t kysymykset<\/li>\n\n\n\n
  • Kuluminen ja v\u00e4syminen<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

    Tarkkuuskeramiikka tarjoaa kuitenkin ainutlaatuisen yhdistelm\u00e4n ominaisuuksia:<\/p>\n\n\n\n

      \n
    • Korkea kovuus ja kulutuskest\u00e4vyys<\/li>\n\n\n\n
    • Erinomainen s\u00e4hk\u00f6inen eristys<\/li>\n\n\n\n
    • Erinomainen l\u00e4mm\u00f6nkest\u00e4vyys<\/li>\n\n\n\n
    • Alhainen l\u00e4mp\u00f6laajenemiskerroin<\/li>\n\n\n\n
    • Vahva kemiallinen ja plasmakorroosionkest\u00e4vyys<\/li>\n\n\n\n
    • Suuri rakenteellinen j\u00e4ykkyys ja mittatarkkuus<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

      N\u00e4iden ominaisuuksien ansiosta keramiikka sopii erinomaisesti kriittisiin puolijohdeprosesseihin, kuten litografiaan, etsaukseen, laskeutumiseen, ioni-implantointiin ja l\u00e4mp\u00f6k\u00e4sittelyyn.<\/p>\n\n\n\n

      3. T\u00e4rkeimm\u00e4t puolijohdeteollisuudessa k\u00e4ytett\u00e4v\u00e4t tarkkuuskeraamiset materiaalit<\/h2>\n\n\n\n

      3.1 Alumiinioksidi (Al\u2082O\u2083) Keramiikka<\/h3>\n\n\n\n

      Alumiinikeraamit ovat yleisimmin k\u00e4ytettyj\u00e4 materiaaleja puolijohdelaitteissa niiden vakauden, kustannustehokkuuden ja kehittyneen prosessointitekniikan ansiosta.<\/p>\n\n\n\n

      Tyypillisi\u00e4 sovelluksia ovat:<\/p>\n\n\n\n

        \n
      • Sy\u00f6vytyskammion vuoraukset ja suojaosat<\/li>\n\n\n\n
      • Kaasunjakelulevyt<\/li>\n\n\n\n
      • Kiekkoj\u00e4nnittimet ja tyhji\u00f6komponentit<\/li>\n\n\n\n
      • Kiillotuslevyt ja CMP-j\u00e4rjestelm\u00e4t<\/li>\n\n\n\n
      • Eristysrenkaat ja rakenteelliset tuet<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

        Eritt\u00e4in puhdasta alumiinioksidia (jopa 99,9%) tarvitaan kehittyneiss\u00e4 puolijohdeymp\u00e4rist\u00f6iss\u00e4, joissa kontaminaation hallinta on kriittist\u00e4.<\/p>\n\n\n\n

        3.2 Piikarbidi (SiC) keramiikka<\/h3>\n\n\n\n

        Piikarbidia pidet\u00e4\u00e4n yhten\u00e4 edistyneimmist\u00e4 puolijohdelaitteissa k\u00e4ytett\u00e4vist\u00e4 keraamisista rakennemateriaaleista.<\/p>\n\n\n\n

        T\u00e4rkeimpi\u00e4 ominaisuuksia ovat:<\/p>\n\n\n\n

          \n
        • Eritt\u00e4in suuri j\u00e4ykkyys (kimmomoduuli)<\/li>\n\n\n\n
        • Erinomainen l\u00e4mm\u00f6njohtavuus<\/li>\n\n\n\n
        • Eritt\u00e4in alhainen l\u00e4mp\u00f6laajeneminen<\/li>\n\n\n\n
        • Erinomainen ty\u00f6stett\u00e4vyys optisen luokan pintoja varten<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

          SiC:t\u00e4 k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n laajalti:<\/p>\n\n\n\n

            \n
          • Litografiakoneen vaiheet<\/li>\n\n\n\n
          • Tarkkuusliikealustat<\/li>\n\n\n\n
          • Kiekkojen k\u00e4sittelykomponentit<\/li>\n\n\n\n
          • Tarkennusrenkaat ja rakenneosat plasmaj\u00e4rjestelmiss\u00e4<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

            Huippuluokan litografiaj\u00e4rjestelmiss\u00e4 SiC-pohjaiset komponentit ovat kriittisi\u00e4 nanometrin tason paikannustarkkuuden yll\u00e4pit\u00e4miseksi.<\/p>\n\n\n\n

            3.3 Piidinitridikeraamiikka (Si\u2083N\u2084)<\/h3>\n\n\n\n

            Piidinitridi tunnetaan poikkeuksellisesta lujuuden, sitkeyden ja l\u00e4mp\u00f6shokkien kest\u00e4vyyden yhdistelm\u00e4st\u00e4.<\/p>\n\n\n\n

            Sen suorituskyky pysyy vakaana jopa yli 1200 \u00b0C:n l\u00e4mp\u00f6tiloissa, joten se soveltuu vaativiin l\u00e4mp\u00f6ymp\u00e4rist\u00f6ihin.<\/p>\n\n\n\n

            Sovelluksia ovat mm:<\/p>\n\n\n\n

              \n
            • Nopeat keraamiset laakerit<\/li>\n\n\n\n
            • Ohjauskiskot ja liikej\u00e4rjestelm\u00e4t<\/li>\n\n\n\n
            • Puolijohdekiekkojen k\u00e4sittelykomponentit<\/li>\n\n\n\n
            • Lujat rakenneosat<\/li>\n\n\n\n
            • Tehomoduulien alustat<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

              Sit\u00e4 pidet\u00e4\u00e4n laajalti yhten\u00e4 parhaista monik\u00e4ytt\u00f6isist\u00e4 teknisist\u00e4 keraamisista materiaaleista.<\/p>\n\n\n\n

              3.4 Alumiininitridikeraamiikka (AlN)<\/h3>\n\n\n\n

              Alumiininitridi\u00e4 arvostetaan p\u00e4\u00e4asiassa sen:<\/p>\n\n\n\n

                \n
              • Eritt\u00e4in korkea l\u00e4mm\u00f6njohtavuus<\/li>\n\n\n\n
              • Erinomainen s\u00e4hk\u00f6inen eristys<\/li>\n\n\n\n
              • Hyv\u00e4 l\u00e4mp\u00f6laajenemisen yhteensopivuus piin kanssa<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                Puolijohdelaitteissa AlN:\u00e4\u00e4 k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n yh\u00e4 useammin:<\/p>\n\n\n\n

                  \n
                • S\u00e4hk\u00f6staattiset kiinnittimet (ESC)<\/li>\n\n\n\n
                • Tehoelektroniikan substraatit<\/li>\n\n\n\n
                • Suorituskykyiset l\u00e4mm\u00f6nhallintakomponentit<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                  Alan merkitt\u00e4v\u00e4 suuntaus on alumiinioksidipohjaisten ESC-komponenttien asteittainen korvaaminen alumiininitridill\u00e4 korkeampien l\u00e4mm\u00f6ntuottovaatimusten vuoksi.<\/p>\n\n\n\n

                  4. Tarkkuuskeramiikasta valmistetut keskeiset puolijohdekomponentit<\/h2>\n\n\n\n

                  Tarkkuuskeramiikkaa k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n laajalti l\u00e4hes kaikissa t\u00e4rkeimmiss\u00e4 puolijohdety\u00f6kaluissa.<\/p>\n\n\n\n

                  4.1 Litografialaitteet<\/h3>\n\n\n\n
                    \n
                  • S\u00e4hk\u00f6staattiset kiinnittimet (E-chucks)<\/li>\n\n\n\n
                  • Tyhji\u00f6ruuvit<\/li>\n\n\n\n
                  • Tarkkuusvaiheet<\/li>\n\n\n\n
                  • Peili ja optiset tukirakenteet<\/li>\n\n\n\n
                  • Vesij\u00e4\u00e4hdytteiset keraamiset alustat<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                    N\u00e4m\u00e4 komponentit edellytt\u00e4v\u00e4t eritt\u00e4in pient\u00e4 l\u00e4mp\u00f6muodonmuutosta ja eritt\u00e4in suurta asennon vakautta.<\/p>\n\n\n\n

                    4.2 Sy\u00f6vytyslaitteet<\/h3>\n\n\n\n
                      \n
                    • Tarkennusrenkaat<\/li>\n\n\n\n
                    • Kaasunjakelulevyt<\/li>\n\n\n\n
                    • Suuttimet ja injektorit<\/li>\n\n\n\n
                    • Kammion vuoraukset<\/li>\n\n\n\n
                    • Plasmankest\u00e4v\u00e4t ikkunat<\/li>\n\n\n\n
                    • Eristysrenkaat<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                      T\u00e4ss\u00e4 k\u00e4ytetyn keramiikan on kestett\u00e4v\u00e4 aggressiivisia plasmaymp\u00e4rist\u00f6j\u00e4 ja kemiallista korroosiota.<\/p>\n\n\n\n

                      4.3 Kiekkojen k\u00e4sittelyj\u00e4rjestelm\u00e4t<\/h3>\n\n\n\n
                        \n
                      • CMP-kiillotuslevyt<\/li>\n\n\n\n
                      • Keraamiset kiekkokannattimet<\/li>\n\n\n\n
                      • Robottik\u00e4sivarret<\/li>\n\n\n\n
                      • Kohdistuslaitteet<\/li>\n\n\n\n
                      • Tyhji\u00f6adsorptiokomponentit<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                        N\u00e4m\u00e4 osat vaativat sek\u00e4 mekaanista tarkkuutta ett\u00e4 eritt\u00e4in puhtaita pintoja.<\/p>\n\n\n\n

                        5. Maailmanlaajuinen teollisuusmaisema<\/h2>\n\n\n\n

                        Tarkkuuskeramiikkateollisuus on eritt\u00e4in keskittynytt\u00e4 ja teknologiaintensiivist\u00e4.<\/p>\n\n\n\n

                        T\u00e4ll\u00e4 hetkell\u00e4 maailmanmarkkinoita hallitsevat seuraavat yritykset:<\/p>\n\n\n\n

                          \n
                        • Japani<\/li>\n\n\n\n
                        • Yhdysvallat<\/li>\n\n\n\n
                        • Eurooppa<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                          Johtaviin yrityksiin kuuluu vakiintuneita keramiikkavalmistajia, joilla on vahvat valmiudet jauheen synteesiin, sintraukseen, tarkkuuskoneistukseen ja puolijohteiden puhtaudenvalvontaan.<\/p>\n\n\n\n

                          Japani on edelleen maailman johtava tarkkuuskeramiikan, erityisesti elektroniikka- ja rakennekeramiikan, valmistaja, kun taas Yhdysvallat keskittyy korkean l\u00e4mp\u00f6tilan ja rakennesovelluksiin. Euroopassa (erityisesti Saksassa ja Ranskassa) painotetaan energia- ja ilmailu- ja avaruusj\u00e4rjestelmien kehittynytt\u00e4 rakennekeramiikkaa.<\/p>\n\n\n\n

                          6. Kehityksen tila Kiinassa<\/h2>\n\n\n\n

                          Kiina on edistynyt merkitt\u00e4v\u00e4sti tarkkuuskeramiikkateknologian alalla pitk\u00e4aikaisten kansallisten tutkimusohjelmien ja teollisuuden kehitt\u00e4misaloitteiden avulla.<\/p>\n\n\n\n

                          T\u00e4rkeimpi\u00e4 saavutuksia ovat:<\/p>\n\n\n\n

                            \n
                          • Kehittyneiden jauhevalmistusmenetelmien kehitt\u00e4minen (kiinte\u00e4n tilan, nestefaasin ja h\u00f6yryfaasin synteesi).<\/li>\n\n\n\n
                          • L\u00e4hes verkon muotoilutekniikoiden, kuten ruiskuvalun ja teippivalun, soveltaminen.<\/li>\n\n\n\n
                          • sintraustekniikoiden, kuten kuumapuristuksen (HP) ja kaasupaine-sintrauksen (GPS), kehittyminen<\/li>\n\n\n\n
                          • L\u00e4pimurto suurikokoisen piinitridin sintrauksessa<\/li>\n\n\n\n
                          • Tarkkuuskoneistusmenetelmien, kuten EDM-, laser- ja ultra\u00e4\u00e4nikoneistuksen, yleistyminen.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                            N\u00e4ist\u00e4 edistysaskeleista huolimatta huippuluokan puolijohdekeramiikkaan kohdistuu edelleen haasteita massatuotannon vakauden ja johdonmukaisuuden suhteen.<\/p>\n\n\n\n

                            7. Alan suurimmat haasteet<\/h2>\n\n\n\n

                            Vaikka Kiina on kehitt\u00e4nyt vahvat valmiudet keskitason ja matalan hintaluokan keramiikan alalla, useita pullonkauloja on edelleen olemassa:<\/p>\n\n\n\n

                            7.1 Riippuvuus tuoduista huippuluokan jauheista<\/h3>\n\n\n\n

                            Korkean suorituskyvyn jauheet, kuten:<\/p>\n\n\n\n

                              \n
                            • Piidinitridi (Si\u2083N\u2084)<\/li>\n\n\n\n
                            • Alumiininitridi (AlN)<\/li>\n\n\n\n
                            • Eritt\u00e4in eritt\u00e4in puhdas alumiinioksidi<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                              tuodaan edelleen suurelta osin erityisesti Japanista ja Euroopasta.<\/p>\n\n\n\n

                              7.2 Vaikeudet huippuluokan k\u00e4sittelyss\u00e4<\/h3>\n\n\n\n

                              Puolijohdekeramiikka vaatii:<\/p>\n\n\n\n

                                \n
                              • Sub-mikronin tarkkuuskoneistus<\/li>\n\n\n\n
                              • Eritt\u00e4in alhainen pinnankarheus<\/li>\n\n\n\n
                              • Virheett\u00f6m\u00e4t pinnat<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                                T\u00e4m\u00e4 on teknisesti haastavaa ja kallista.<\/p>\n\n\n\n

                                7.3 Pitk\u00e4t p\u00e4tev\u00f6itymisjaksot<\/h3>\n\n\n\n

                                Vaikka materiaalit t\u00e4ytt\u00e4isiv\u00e4tkin vaatimukset, puolijohdeasiakkaat vaativat pitk\u00e4aikaista validointia, mukaan lukien:<\/p>\n\n\n\n

                                  \n
                                • Plasman resistenssin testaus<\/li>\n\n\n\n
                                • L\u00e4mp\u00f6kierron luotettavuus<\/li>\n\n\n\n
                                • Puhtauden sertifiointi<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                                  T\u00e4m\u00e4 hidastaa merkitt\u00e4v\u00e4sti kaupallistamista.<\/p>\n\n\n\n

                                  8. Toimialan suuntaukset ja tulevaisuuden n\u00e4kym\u00e4t<\/h2>\n\n\n\n

                                  8.1 Piikarbidin ja kolmannen sukupolven puolijohteiden nopea kasvu<\/h3>\n\n\n\n

                                  S\u00e4hk\u00f6ajoneuvojen, uusiutuvan energian ja suuritehoisen elektroniikan yleistyminen lis\u00e4\u00e4 SiC-pohjaisten materiaalien ja komponenttien kysynt\u00e4\u00e4.<\/p>\n\n\n\n

                                  8.2 Puolijohdelaitteiden toimitusketjun lokalisointi<\/h3>\n\n\n\n

                                  Kotimaisten puolijohdelaitteiden valmistajien kasvaessa paikallistettujen tarkkojen keraamisten komponenttien kysynt\u00e4 kiihtyy, erityisesti seuraavien osalta:<\/p>\n\n\n\n

                                    \n
                                  • S\u00e4hk\u00f6staattiset ruuvipuristimet<\/li>\n\n\n\n
                                  • Tarkennusrenkaat<\/li>\n\n\n\n
                                  • Keraamiset robottik\u00e4sivarret<\/li>\n\n\n\n
                                  • Korkealuokkaiset SiC-rakenteet<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                                    8.3 Siirtyminen kohti suurempia ja tarkempia komponentteja<\/h3>\n\n\n\n

                                    Tulevaisuuden puolijohdesolmut edellytt\u00e4v\u00e4t:<\/p>\n\n\n\n

                                      \n
                                    • Suuremmat keraamiset rakenteet<\/li>\n\n\n\n
                                    • Korkeamman ulottuvuuden vakaus<\/li>\n\n\n\n
                                    • Pienempi l\u00e4mp\u00f6laajeneminen<\/li>\n\n\n\n
                                    • Korkeammat puhtausvaatimukset<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                                      T\u00e4m\u00e4 ajaa keramiikan valmistusta kohti kehittyneemp\u00e4\u00e4 teknologiaa.<\/p>\n\n\n\n

                                      9. P\u00e4\u00e4telm\u00e4t<\/h2>\n\n\n\n

                                      Tarkkuuskeramiikka ei ole en\u00e4\u00e4 pelkk\u00e4 apumateriaali puolijohdelaitteissa - se on peruskomponentti, joka m\u00e4\u00e4ritt\u00e4\u00e4 suoraan laitteiden suorituskyvyn ja sirujen valmistuksen laadun.<\/p>\n\n\n\n

                                      Tarkkuuskeramiikalla on hiljainen mutta kriittinen rooli koko puolijohdeteollisuuden mahdollistajana aina litografiaj\u00e4rjestelmist\u00e4 plasmasy\u00f6vytysty\u00f6kaluihin.<\/p>\n\n\n\n

                                      Maailmanlaajuisen puolijohdevalmistuksen kehittyess\u00e4 tarkkuuskeramiikka on jatkossakin yksi strategisesti t\u00e4rkeimmist\u00e4 kehittyneist\u00e4 materiaaleista, jolla on kasvavia mahdollisuuksia sek\u00e4 teknologisessa innovoinnissa ett\u00e4 toimitusketjun lokalisoinnissa.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

                                      1. Introduction Precision ceramics refer to high-performance advanced ceramic components used in semiconductor manufacturing equipment. These components are typically designed with complex structures, ultra-high purity, and extremely tight dimensional tolerances. They play a critical role in ensuring the stability, accuracy, and reliability of semiconductor fabrication processes. With the rapid expansion of the global semiconductor industry […]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":2019,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[6],"tags":[53,52,51,68,56,66,67,60,69,65,57,61,63,55,64,58,62,54,59],"class_list":["post-2018","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-applications-cases","tag-advanced-materials","tag-automation","tag-cleanroom","tag-electrostatic-chuck","tag-high-tech-factory","tag-industrial-equipment","tag-laboratory","tag-lithography-equipment","tag-metal-machinery","tag-microfabrication","tag-precision-engineering","tag-precision-manufacturing","tag-robotics","tag-semiconductor","tag-semiconductor-fabrication","tag-silicon-wafer","tag-sterile-environment","tag-vacuum-chuck","tag-wafer"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2018","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2018"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2018\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2020,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2018\/revisions\/2020"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2019"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2018"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2018"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2018"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}