![\"Aluminiumoxid-Keramik-Gasverteilersitz](\"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Precision-Machined-Alumina-Ceramic-Gas-Shower-Disc-for-Semiconductor-and-Industrial-Gas-Distribution-Systems-1-300x300.png\")
Der 99% Aluminiumoxid-Keramik-Gasverteilersitz ist ein hochleistungsf\u00e4higes Pr\u00e4zisionskeramikbauteil, das f\u00fcr die ultrastabile Gasflusskontrolle in modernen Industriesystemen entwickelt wurde. Er wird aus hochreinem 99% Aluminiumoxid (Al\u2082O\u2083) hergestellt und bietet hervorragende mechanische Festigkeit, chemische Stabilit\u00e4t und elektrische Isolationsleistung.<\/p>\n
Dieses Bauteil wird in Halbleiterfertigungsanlagen, Vakuumbeschichtungsanlagen, Plasma\u00e4tzkammern, CVD- und PECVD-Anlagen und Reinstgasverteilungsmodulen eingesetzt.<\/p>\n
Seine Hauptfunktion besteht darin, eine gleichm\u00e4\u00dfige und stabile Gasdiffusion in den Prozesskammern zu gew\u00e4hrleisten, wodurch Prozessschwankungen reduziert, die Ertragskonsistenz verbessert und Kontaminationsrisiken minimiert werden. Im Vergleich zu Metall, Quarz oder minderwertigen Keramiken bietet 99% Aluminiumoxid eine deutlich h\u00f6here Verschlei\u00dffestigkeit, Dimensionsstabilit\u00e4t und langfristige Zuverl\u00e4ssigkeit.<\/p>\n
Dieses Produkt besteht aus hochdichter 99%-Aluminiumoxidkeramik, die als eine der stabilsten und am h\u00e4ufigsten verwendeten Hochleistungskeramiken in der Pr\u00e4zisionsindustrie gilt.<\/p>\n
![\"Aluminiumoxid-Keramik-Gasverteilersitz](\"https:\/\/www.xkh-ceramics.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/Precision-Machined-Alumina-Ceramic-Gas-Shower-Disc-for-Semiconductor-and-Industrial-Gas-Distribution-Systems-2-300x300.png\")
Wichtige Materialeigenschaften:<\/h3>\nIm Vergleich zu 95%-Aluminiumoxid bietet 99%-Aluminiumoxid eine h\u00f6here H\u00e4rte, eine bessere Verschlei\u00dffestigkeit und eine verbesserte strukturelle Stabilit\u00e4t, wodurch es sich besser f\u00fcr High-End-Halbleiter- und Pr\u00e4zisionsbeschichtungssysteme eignet.<\/p>\n
Der keramische Gasverteilersitz ist mit einer pr\u00e4zise kontrollierten por\u00f6sen Struktur oder einem Mikrokanalsystem ausgestattet. Diese Struktur erm\u00f6glicht eine kontrollierte Diffusion von Prozessgasen in Vakuum- oder Reaktionskammern.<\/p>\n
Die Porenstruktur kann so gestaltet werden, dass sie spezifischen Durchflussraten, Gasarten und Kammerkonfigurationen entspricht.<\/p>\n
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Die wichtigsten Leistungsvorteile von 99% Aluminiumoxid<\/h2>\n| Eigentum<\/th>\n | 99% Tonerde (Al\u2082O\u2083 \u2265 99%)<\/th>\n | 95% Tonerde<\/th>\n | Zirkoniumdioxid<\/th>\n | Steatit<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Dichte (g\/cm\u00b3)<\/td>\n | 3.85<\/td>\n | 3.65<\/td>\n | 5.9<\/td>\n | 2.8<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Wasserabsorption (%)<\/td>\n | 0<\/td>\n | 0<\/td>\n | 0<\/td>\n | 0<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Sintertemperatur (\u2103)<\/td>\n | 1690<\/td>\n | 1670<\/td>\n | 1650<\/td>\n | 1350<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| H\u00e4rte (HV)<\/td>\n | 1700<\/td>\n | 1600<\/td>\n | 1400<\/td>\n | 800<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Biegefestigkeit (MPa)<\/td>\n | >350<\/td>\n | >290<\/td>\n | >1100<\/td>\n | 90<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Druckfestigkeit (Kgf\/cm\u00b2)<\/td>\n | 30000<\/td>\n | 25000<\/td>\n | 25000<\/td>\n | 4000<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Maximale Betriebstemperatur (\u2103)<\/td>\n | 1500<\/td>\n | 1400<\/td>\n | 1600<\/td>\n | 1100<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| W\u00e4rmeausdehnung (\u00d710-\u2076\/\u2103)<\/td>\n | 8<\/td>\n | 7.8<\/td>\n | 10<\/td>\n | 6<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Thermoschockbest\u00e4ndigkeit (\u0394T \u2103)<\/td>\n | 200<\/td>\n | 220<\/td>\n | 350<\/td>\n | 200<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| W\u00e4rmeleitf\u00e4higkeit (W\/m-K)<\/td>\n | 3<\/td>\n | 2<\/td>\n | 3<\/td>\n | 2.5<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Volumenwiderstand (\u03a9-cm)<\/td>\n | >10\u00b9\u00b2<\/td>\n | >10\u00b9\u00b2<\/td>\n | >10\u00b9\u00b2<\/td>\n | 10\u00b9\u00b2<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Durchschlagfestigkeit (KV\/mm)<\/td>\n | 18<\/td>\n | 16<\/td>\n | 15<\/td>\n | 10<\/td>\n<\/tr>\n | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Dielektrizit\u00e4tskonstante (1MHz)<\/td>\n | 9.2-10.5<\/td>\n | 9.0-10<\/td>\n | 12<\/td>\n | 5.8<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n \n Technische Parameter<\/h2>\n\n
|